[實(shí)用新型]一種掩模組件

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201320842785.8
• 申請(qǐng)日: 2013-12-20
• 公開（公告）號(hào): CN203728917U
• 公開（公告）日: 2014-07-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 魏志凌;高小平;魏志浩;莫松亭;劉學(xué)明
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 昆山允升吉光電科技有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/04
• 分類號(hào): C23C14/04
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種掩模組件，包括掩?？蚝脱谀０?，所述掩模板固定于所述掩?？蛏希鲅谀０迳显O(shè)有由蒸鍍孔陣列而成的掩模圖案區(qū)域，其特征在于：所述蒸鍍孔由多邊形開口及設(shè)置在所述多邊形開口邊角處的補(bǔ)償開口構(gòu)成，所述補(bǔ)償開口構(gòu)成所述多邊形開口的外延結(jié)構(gòu)，所述掩模板為一體成型結(jié)構(gòu)或由分立的掩模單元組成。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩模組件，其特征在于，所述補(bǔ)償開口為由一條弧線和兩條線段圍成的與所述多邊形開口連通的外延結(jié)構(gòu)，所述兩條線段的一端分別與所述多邊形開口相鄰的兩邊連接，所述兩條線段的另一端分別與所述弧線的兩個(gè)端點(diǎn)連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的掩模組件，其特征在于，所述兩條線段所在直線所成的夾角為0°～80°。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的掩模組件，其特征在于，所述兩條線段中的任意一條線段所在的直線與其連接的所述多邊形開口的相應(yīng)邊所在的直線呈0°～90°夾角。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩模組件，其特征在于，所述補(bǔ)償開口為由兩條線段圍成的與所述多邊形開口連通的外延結(jié)構(gòu)，所述兩條線段的一端分別與所述多邊形開口相鄰的兩邊連接，所述兩條線段的另一端相交于一點(diǎn)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的掩模組件，其特征在于，所述兩條線段所成的夾角為10°～80°，所述兩條線段中的任意一條線段所在的直線與其連接的所述多邊形開口的相應(yīng)邊所在的直線呈0°～90°夾角。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩模組件，其特征在于，所述補(bǔ)償開口為由弧線圍成的與所述多邊形開口連通的外延結(jié)構(gòu)，所述弧線的兩個(gè)端點(diǎn)分別與所述多邊形開口相鄰的兩邊連接。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩模組件，其特征在于，所述掩模板通過電鑄工藝制備或通過蝕刻工藝制備。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩模組件，其特征在于，所述蒸鍍孔的寬度為20～80μm。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩模組件，其特征在于，所述掩模板為鎳基合金材質(zhì)。