[實用新型]無引線球腳表貼式厚膜混合集成電路有效
| 申請號: | 201320842493.4 | 申請日: | 2013-12-19 |
| 公開(公告)號: | CN203690278U | 公開(公告)日: | 2014-07-02 |
| 發明(設計)人: | 楊成剛;黃曉山;蘇貴東;趙曉輝 | 申請(專利權)人: | 貴州振華風光半導體有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/70 | 分類號: | H01L21/70;H01L21/60 |
| 代理公司: | 貴陽中工知識產權代理事務所 52106 | 代理人: | 劉安寧 |
| 地址: | 550018 貴*** | 國省代碼: | 貴州;52 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 引線 球腳表貼式厚膜 混合 集成電路 | ||
技術領域
本實用新型涉及集成電路,進一步來說,涉及厚膜混合集成電路,尤其涉及表貼式厚膜混合集成電路。
背景技術
原有混合電路的集成技術中,在陶瓷基片上,將半導體芯片、片式元器件直接裝貼在厚膜基片上,再采用鍵合絲(金絲或硅鋁絲)進行芯片與基片的引線鍵合,基片和管腳的引線鍵合,完成整個電器連接,最后在特定的氣氛中將管基和管帽進行密封而成。原有混合電路的集成技術存在的主要問題是必須采用管基和管帽對內部電路進行封裝,由于管基和管帽體積大、管腳長、連接管腳的內引線多、而且較長,因此,封裝后厚膜混合集成電路的體積較大、高頻干擾大,在裝備小型化、高頻等應用領域受到一定的限制。?
經檢索,中國專利數據庫中涉及厚膜混合集成電路的申請件有11件,其中實用新型3件,即:200920125720.5號《高可靠厚膜混合集成電路鍵合系統》、201220532745.9號《高靈敏溫控厚膜混合集成電路》、201320216423.8號《一種汽車雨刮器控制厚膜混合集成電路》。目前還沒有無引線球腳表貼式厚膜混合集成電路的申請件。
發明內容
本實用新型旨在提供一種無引線球腳表貼式厚膜混合集成電路,通過取消封裝外殼(含管基、管帽)、取消管腳及其內引線,從而解決原有厚膜混合電路存在的問題。
為達到這一目的,設計人提供的無引線球腳表貼式厚膜混合集成電路,主要由陶瓷基片、厚膜導帶、厚膜阻帶、厚膜電容、厚膜電感、半導體裸芯片、片式元器件和封裝芯片組成,與原有厚膜混合集成電路不同的是:它不需要管基、管腳和連接管腳的引線,它的陶瓷基片上開有通孔,通孔內填充有金屬漿料,陶瓷基片的底面有金屬的引出端焊接球,用以進行表貼式安裝;在陶瓷基片的正面集成有厚膜導帶、厚膜阻帶、厚膜電容、厚膜電感,其上覆蓋有絕緣介質保護層;在陶瓷基片正面已鍵合的半導體裸芯片區域,覆蓋有絕緣介質涂封層;片式元器件和半導體裸芯片分別焊接在相應的陶瓷基片金屬焊接區上,封裝芯片焊接在球型焊接區之上。
上述陶瓷基片上通孔的孔徑精度≦0.1μm。
上述半導體裸芯片用鍵合絲與陶瓷基片上的金屬導帶連接。
上述絕緣介質保護層是用三氧化二鋁陶瓷漿料燒結而成的。
上述絕緣介質涂封層是用玻璃漿料進行涂封和固化形成的。
上述封裝芯片是芯片級封裝芯片。
本實用新型的無引線球腳表貼式厚膜混合集成電路有以下特點:①無封裝外殼,體積大幅縮小;②無引腳及相應的內引線,減小相應的高頻干擾;③采用底部球形引腳,減小正面導帶長度,可提升頻率特性和集成度;④實現表貼式安裝,縮小裝備體積,提升裝備的高頻性能;⑤提高裝備系統的可靠性。
本實用新型的集成電路廣泛應用于航天、航空、船舶、電子、通訊、醫療設備、工業控制等領域,特別適用于裝備系統小型化、高頻、高可靠的領域,具有廣闊的市場前景和應用空間。
附圖說明
圖1為本實用新型的無引線球腳表貼式厚膜混合集成電路結構示意圖。
圖中,1為陶瓷基片,2通孔,3為厚膜導帶/鍵合區,4為厚膜阻帶,5為絕緣介質保護層,6為引出端焊接球,7為球形焊接區,8為片式元器件,9為半導體裸芯片,10為鍵合絲,11為封裝芯片,12為絕緣介質涂封層,13為金屬通孔。
具體實施方式
實施例:
一種無引線球腳表貼式厚膜混合集成電路,如圖1所示,主要由陶瓷基片1、厚膜導帶3、厚膜阻帶4、厚膜電容、厚膜電感、半導體裸芯片9、片式元器件8和封裝芯片11組成,與原有厚膜混合集成電路不同的是:它的陶瓷基片1上開有通孔2,通孔2孔徑精度≦0.1μm,其內部填充有金屬漿料,形成金屬通孔13;陶瓷基1的底面有引出端焊接球6;陶瓷基片1的正面集成有厚膜導帶3、厚膜阻帶4、厚膜電容、厚膜電感,其上覆蓋有三氧化二鋁瓷絕緣介質保護層5;在陶瓷基片1已鍵合的半導體裸芯片區域,覆蓋有用絕緣介質玻璃漿料進行涂封和固化而形成絕緣的介質涂封層12;半導體裸芯片9用鍵合絲10與陶瓷基片1上的金屬導帶連接;片式元器件8和半導體裸芯片9分別焊接在相應的金屬焊接區上,芯片級封裝芯片11焊接在球型焊接區7之上。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
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H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





