[實用新型]透射式電子背散射衍射實驗用樣品臺

有效

• 申請號: 201320842320.2
• 申請日: 2013-12-19
• 公開（公告）號: CN203824939U
• 公開（公告）日: 2014-09-10
• 發明（設計）人: 張珂;金傳偉;洪慧敏;牛亞慧
• 申請（專利權）人: 江蘇省沙鋼鋼鐵研究院有限公司
• 主分類號: G01N23/203
• 分類號: G01N23/203
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型涉及材料研究領域進行電子背散射衍射實驗所用的裝置，具體是一種在掃描電鏡上使用的透射式電子背散射衍射(以下簡稱T-EBSD)實驗用樣品臺。?

背景技術

電子背散射衍射(EBSD)技術已廣泛應用于鋼鐵材料、陶瓷復合材料、薄膜材料等領域的研究。利用此項技術可以對樣品進行微區相鑒定，織構和取向差分析，再結晶和應變分析，大小角度晶界分析，晶粒形狀及尺寸分布統計等工作。傳統的EBSD采集的是反射后的EBSD花樣，分辨率一般在100nm以上，對于納米量級的超細晶粒樣品或經過大應變量變形的樣品無法進行準確分析。而采用近兩年出現的T-EBSD技術，利用穿透樣品后的信號進行分析，分辨率可達十幾個nm，相比傳統的EBSD技術，分辨率有了極大的提高。目前，通常用于EBSD實驗的樣品臺有兩種，一種是普通的掃描電鏡樣品臺，另一種是角度為70°的掃描電鏡預傾臺，但兩者都僅能實現傳統的EBSD功能，無法進行T-EBSD實驗。另外，樣品的穩定性和實驗的安全性也是T-EBSD當前的技術難點。T-EBSD使用的樣品為透射電鏡樣品，直徑僅3mm，厚度一般在50～80μm。對于有磁性的樣品，如大多數鋼鐵材料等，樣品穩定性和安全性問題就顯得尤為重要，若樣品固定不當，將會對電鏡造成不同程度的損壞。?

對于傳統的EBSD實驗用樣品臺，專利“200920209791.3掃描電鏡電子背散射衍射試樣用樣品臺”、“201020239978.0用于電子背散射衍射測量的多功能樣品臺”、“201120465500.4掃描電鏡電子背散射衍射用樣品臺”等已在樣品固定方式及精確定位方面有所改進。但是，上述專利原理上均采用反射式電子信號進行EBSD分析，實驗分辨率受到較大限制，與透射式電子信號得到的EBSD結果相比，分辨率要低一個數量級，無法應用于納米晶材料、晶界/相界取向差等前沿熱門領域。?

實用新型內容

本實用新型所要解決的技術問題是，克服現有技術的缺點，提供一種結構簡單、使用安全、操作方便的透射式電子背散射衍射實驗用樣品臺。?

本實用新型的目的由以下技術方案來實現：?

一種透射式電子背散射衍射實驗用樣品臺，該樣品臺包括帶底座(1)的圓形臺面(2)、梯形臺面(3)和矩形樣品支架(4)；所述的梯形臺面(3)的斜面與水平圓形臺面(2)夾角為70°，梯形臺面(3)的斜面中部設有圓形孔(5)，兩側設有螺紋通孔(6)；矩形樣品支架(4)由帶底柱(4-1)的支撐片(4-2)、壓片(4-3)和固定片(4-4)組成，支撐片(4-2)前端設有上大下小的圓形托載孔(4-5)，其尺寸為大圓直徑3mm，小圓直徑略小于3mm，孔(4-5)兩側設有凹槽(4-6)，壓片(4-3)和固定片(4-4)大小與凹槽(4-6)相匹配，支撐片(4-2)底部的支柱(4-1)大小與梯形臺面(3)斜面中部的圓形孔(5)相匹配。?

本實用新型進一步限定的技術方案是：?

所述的壓片(4-3)中部設有圓孔，直徑略小于3mm，壓片厚度0.5mm左右；固定片(4-4)共有兩片，外形相同且均為矩形，一端設有U形開口，另一端設有圓形通孔，壓片(4-3)和固定片(4-4)大小與支撐片(4-2)上的凹槽(4-6)相匹配。?

所述的圓形臺面(2)和梯形臺面(3)、支撐片(4-2)及其底柱(4-1)所用材料以不銹鋼為宜，壓片(4-3)和固定片(4-4)所用材料以磷銅為宜。?

所述的矩形樣品支架(4)長度應在10～12.5mm之間。?

同現有技術相比，本實用新型的有益效果至少在于：?

(1)本實用新型的結構簡單，使用方便，操作安全；?

(2)能夠較容易實現T-EBSD技術，相比傳統EBSD技術，實驗分辨率能提高一個數量級；?

(3)樣品固定的穩定性高，不易滑移，能適用于各種類型的樣品，尤其是磁性樣品和脆性樣品；?

附圖說明

圖1是本實用新型的結構示意圖；?

圖2是本實用新型構件4的結構示意圖。?

具體實施方式

下面結合附圖和實施例對本實用新型作進一步的闡述，但該實施例不應理解為對本實用新型的限制。?