[實用新型]薄膜應力測試儀有效
| 申請號： | 201320839499.6 | 申請日： | 2013-12-18 |
| 公開（公告）號： | CN203688116U | 公開（公告）日： | 2014-07-02 |
| 發明（設計）人： | 趙升升;程毓 | 申請（專利權）人： | 深圳職業技術學院 |
| 主分類號： | G01L1/24 | 分類號： | G01L1/24 |
| 代理公司： | 深圳市順天達專利商標代理有限公司 44217 | 代理人： | 王小青 |
| 地址： | 518055 廣東省*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 薄膜 應力 測試儀 | ||
1.一種薄膜應力測試儀，用于測量鍍膜后的基片上的薄膜應力，其特征在于，包括：
用于放置基片的樣品臺；
用于發射激光束的激光發射器，設置于所述樣品臺上方；
激光探測儀，設置于所述樣品臺上方；
用于將所述激光束反射到所述樣品臺上的基片的反光鏡，設置于所述樣片臺上方，且相對于所述激光發射器發射的激光束的行進方向傾斜設置；以及
用于接收所述基片反射的激光束、并將其反射到所述激光探測儀的半透鏡，所述該半透鏡位于所述樣片臺上方、反光鏡下方且相對于所述激光束的行進方向傾斜設置；
其中所述激光探測儀是激光光斑位敏探測儀。
2.根據權利要求1所述的薄膜應力測試儀，其特征在于，所述薄膜應力測試儀還包括驅動所述樣品臺以預定步長移動的驅動裝置、以及與所述驅動裝置電連接的控制裝置。
3.根據權利要求2所述的薄膜應力測試儀，其特征在于，所述驅動裝置是步進電機。
4.根據權利要求1所述的薄膜應力測試儀，其特征在于，所述反光鏡與所述激光束的行進方向呈45°夾角。
5.根據權利要求2所述的薄膜應力測試儀，其特征在于，所述預定步長是0.1mm。
6.根據權利要求1所述的薄膜應力測試儀，其特征在于，所述激光探測儀是分辨率為30微米的激光光斑位敏探測儀。
7.根據權利要求1所述的薄膜應力測試儀，其特征在于，所述半透鏡是透射率與反射率比例為4：6的單面鍍膜的平面鏡。
8.根據權利要求1所述的薄膜應力測試儀，其特征在于，所述薄膜應力測試儀還包括工作臺，所述樣品臺設置在所述工作臺上，所述激光探測儀固定在所述工作臺上。
9.根據權利要求8所述的薄膜應力測試儀，其特征在于，所述工作臺上固定設置有支架，所述反光鏡和半透鏡均固定在所述支架上。
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