[實用新型]激光鉆孔裝置

有效

• 申請號: 201320838895.7
• 申請日: 2013-12-19
• 公開（公告）號: CN203696234U
• 公開（公告）日: 2014-07-09
• 發明（設計）人: 趙裕興;姜堯;狄建科;張子國;李金澤
• 申請（專利權）人: 蘇州德龍激光股份有限公司
• 主分類號: B23K26/064
• 分類號: B23K26/064;B23K26/382
• 代理公司: 蘇州威世朋知識產權代理事務所(普通合伙) 32235
• 代理人: 楊林潔

1.一種激光鉆孔裝置，其特征在于，所述激光鉆孔裝置包括：激光器，在所述激光器發出光束的光路上依次設置有動態擴束鏡、折射型光束整形元件、第一聚焦鏡、光程調控組件、第二聚焦鏡，以及聚焦場鏡。

2.根據權利要求1所述的激光鉆孔裝置，其特征在于，所述激光鉆孔裝置還包括一固定倍率擴束鏡，所述固定倍率擴束鏡設置于所述第二聚焦鏡和所述聚焦場鏡之間。

3.根據權利要求2所述的激光鉆孔裝置，其特征在于，所述激光鉆孔裝置還包括一反射鏡，所述反射鏡設置于所述固定倍率擴束鏡和所述聚焦場鏡之間。

4.根據權利要求3所述的激光鉆孔裝置，其特征在于，所述激光鉆孔裝置還包括一第一運動平臺和一第二運動平臺，所述激光器、動態擴束鏡、折射型光束整形元件、第一聚焦鏡、光程調控組件、第二聚焦鏡、固定倍率擴束鏡、反射鏡，以及聚焦場鏡設置于所述第一運動平臺上；加工工件設置于所述第二運動平臺上；所述第一運動平臺與所述第二運動平臺可相對運動。

5.根據權利要求4所述的激光鉆孔裝置，其特征在于，所述第一運動平臺包括主運動平臺和在豎直方向上活動設置于所述主運動平臺上的分運動平臺；所述激光器、動態擴束鏡、折射型光束整形元件、第一聚焦鏡、光程調控組件、第二聚焦鏡、固定倍率擴束鏡，以及反射鏡設置于所述主運動平臺上；所述聚焦場鏡設置于所述分運動平臺上；所述加工工件設置于所述第二運動平臺上；所述主運動平臺、所述分運動平臺、所述第二運動平臺可相對運動。

6.根據權利要求4或5所述的激光鉆孔裝置，其特征在于，所述激光鉆孔裝置還包括一基板，所述基板設置于所述第二運動平臺上。

7.根據權利要求6所述的激光鉆孔裝置，其特征在于，所述基板為耐高溫大理石基板。

8.根據權利要求1至5任一項所述的激光鉆孔裝置，其特征在于，所述第一聚焦鏡與所述光束整形元件相貼合。

9.根據權利要求1至5任一項所述的激光鉆孔裝置，其特征在于，所述光程調控組件中包括多個相互配合的平面反射鏡，每個平面反射鏡可選擇地設置在所述光路中，以調整光束在所述光程調控組件內的光程。

10.根據權利要求1至5任一項所述的激光鉆孔裝置，其特征在于，所述激光器為波長為355nm的紫外光波段的激光器。