[實用新型]一種微波等離子體化學氣相沉積裝置

有效

• 申請號: 201320838383.0
• 申請日: 2013-12-18
• 公開（公告）號: CN203653692U
• 公開（公告）日: 2014-06-18
• 發明（設計）人: 王宏興
• 申請（專利權）人: 王宏興
• 主分類號: C23C16/455
• 分類號: C23C16/455;C23C16/511
• 代理公司: 陜西增瑞律師事務所 61219
• 代理人: 張瑞琪

1.一種微波等離子體化學氣相沉積裝置，其特征在于，包括由反應腔上蓋（4）和反應臺（9）組成的反應腔，所述反應腔下方設置有相連接的矩形波導（1）和同軸波導（2）；所述同軸波導（2）的中心軸（10）伸入在所述反應腔內，所述中心軸（10）的上方同軸固定連接有用于放置襯底（13）的樣品臺（11）；所述反應腔上蓋（4）的中心開有氣體導入口（5），所述反應腔上蓋（4）的頸部還設置均勻開有多個進氣小孔（7）的水平隔板（6），所述水平隔板（6）和反應腔上蓋（4）的頂部之間形成氣體緩沖混合腔，所述樣品臺（11）上緊鄰襯底（13）的邊緣外側呈圓周分布均勻開有排氣通道。

2.根據權利要求1所述的一種微波等離子體化學氣相沉積裝置，其特征在于，所述氣體緩沖混合腔的中部具有一外凸式環狀結構。

3.根據權利要求1或2所述的一種微波等離子體化學氣相沉積裝置，其特征在于，所述排氣通道包括呈圓周均勻分布開設在樣品臺（11）上緊鄰襯底（13）的邊緣外側位置的多個豎直向排氣小孔（8），所述豎直向排氣小孔（8）的下方通過水平向排氣通道向中心匯聚后、與豎直向下貫穿中心軸（10）開設的主排氣通道（14）相連通。

4.根據權利要求1或2所述的一種微波等離子體化學氣相沉積裝置，其特征在于，所述排氣通道包括呈圓周均勻分布開設在樣品臺（11）上緊鄰襯底（13）的邊緣外側位置的多個豎直向排氣小孔（8），所述多個豎直向排氣小孔（8）均與位于其下方的環形氣體通道相連通，所述環形氣體通道通過均勻對稱設置的多個水平向排氣通道向中心匯聚后、與豎直向下貫穿中心軸（10）開設的主排氣通道（14）相連通。

5.根據權利要求4所述的一種微波等離子體化學氣相沉積裝置，其特征在于，所述水平向排氣通道的數量為四個且呈“十”字設置。

6.根據權利要求4所述的一種微波等離子體化學氣相沉積裝置，其特征在于，所述水平向排氣通道的數量為兩個且呈對稱設置。

7.根據權利要求1或2所述的一種微波等離子體化學氣相沉積裝置，其特征在于，所述排氣通道包括呈圓周均勻分布開設在樣品臺（11）上緊鄰襯底（13）的邊緣外側位置的多個豎直向排氣小孔（8），所述多個豎直向排氣小孔（8）均與位于其下方的環形氣體通道相連通，所述環形氣體通道通過徑向向外側開設的水平向排氣通道連接有石英管（15），所述各石英管（15）的另一端緊鄰樣品臺（11）的外側向下穿過反應臺（9）設置。

8.根據權利要求7所述的一種微波等離子體化學氣相沉積裝置，其特征在于，所述水平向排氣通道的數量為四個且呈“十”字設置。

9.根據權利要求1或2所述的一種微波等離子體化學氣相沉積裝置，其特征在于，所述進氣小孔（7）的直徑為1毫米。

10.根據權利要求1或2所述的一種微波等離子體化學氣相沉積裝置，其特征在于，所述排氣通道的寬度為1.5毫米。