[實用新型]一種半導(dǎo)體P、N類型非接觸測試裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201320837729.5
• 申請日: 2013-12-19
• 公開（公告）號: CN203688741U
• 公開（公告）日: 2014-07-02
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 趙丹;顏友鈞;鄭鈺
• 申請（專利權(quán)）人: 江蘇瑞新科技股份有限公司
• 主分類號: G01R31/26
• 分類號: G01R31/26
• 代理公司: 蘇州華博知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 32232
• 代理人: 何蔚

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及半導(dǎo)體測試領(lǐng)域，尤其涉及一種半導(dǎo)體P、N類型非接觸測試裝置。

背景技術(shù)

由于半導(dǎo)體具有摻雜性可控導(dǎo)電特性的物理效應(yīng)，使其具有熱敏性、光敏性、磁敏性、及電子放大、突變能力等特點，因此在非電量電測信息電子技術(shù)、電子光學(xué)成像技術(shù)、通信、固體信息儲存器等具有很高的實用價值。

不同電學(xué)類型的半導(dǎo)體材料具有不同的載流子特性，在應(yīng)用中也有不同需求。現(xiàn)有檢測半導(dǎo)體材料的P、N類型大多使用接觸式冷熱探針法，極易損傷半導(dǎo)體材料以致造成隱性缺陷。

因此，亟需一種非接觸的測試半導(dǎo)體P、N類型的裝置。

實用新型內(nèi)容

本實用新型的目的是克服現(xiàn)有技術(shù)存在的缺陷，提供一種半導(dǎo)體P、N類型非接觸測試裝置。

實現(xiàn)本實用新型目的的技術(shù)方案是：一種半導(dǎo)體P、N類型非接觸測試裝置，包括：

紅外發(fā)射激勵脈沖驅(qū)動電路，其輸出端與下述傳感器連接，用于給下述傳感器傳送激發(fā)脈沖；

傳感器，其輸出端與下述電荷放大器連接，用于激發(fā)半導(dǎo)體表面生成光生電荷并收集生成電荷信號傳送給電荷放大器；

電荷放大器，其輸出端與下述整形放大器連接，用于將接收的電荷信號進行放大生成放大電荷信號傳送給整形放大器；

整形放大器，其輸出端與下述相位鉗位電路連接，用于將接收的放大電荷信號進行整形生成電平信號傳送給相位鉗位電路；

相位鉗位電路，用于將接收的電平信號進行鉗制以判斷半導(dǎo)體P、N類型。?

??進一步的，所述傳感器包括殼體、以及設(shè)置于所述殼體內(nèi)的紅外激發(fā)二極管和電荷感應(yīng)電極，所述紅外激發(fā)二極管輸入端與所述紅外發(fā)射激勵脈沖驅(qū)動電路輸出端連接，所述電荷感應(yīng)電極輸出端與所述電荷放大器輸入端連接。

?進一步的，還包括用于給所述紅外發(fā)射激勵脈沖驅(qū)動電路提供矩形波的矩形波激勵信號電路，所述矩形波激勵信號電路輸出端與所述紅外發(fā)射激勵脈沖驅(qū)動電路輸入端連接。

?進一步的，還包括第一LED燈和第二LED燈，所述第一LED燈和第二LED燈分別與所述相位鉗位電路輸出端連接。

本實用新型具有積極的效果：本實用新型紅外發(fā)射激勵脈沖驅(qū)動電路驅(qū)動傳感器激發(fā)半導(dǎo)體表面誘發(fā)產(chǎn)生微弱的光生電荷并生成相應(yīng)的電荷信號，根據(jù)N型半導(dǎo)體為電子型載流子，表面受光的誘激下產(chǎn)生相反電勢的表面本征態(tài)，因此電荷感應(yīng)電極生成一個脈動正電荷信號，而P型半導(dǎo)體為空穴型載流子，表面受光的誘激下產(chǎn)生相反電勢的表面本征態(tài)，因此電荷感應(yīng)電極生成一個脈動負電荷信號；電荷放大器接收上述電荷信號進行放大生成放大電荷信號傳送給整形放大器；整形放大器接收上述放大電荷信號進行整形生成電平信號傳送給相位鉗位電路由相位鉗位電路分別出半導(dǎo)體的P、N類型；本實用新型中采用紅外激發(fā)二極管在感應(yīng)距離不超過0.15mm也可達到較高的準確度，不需要直接與半導(dǎo)體接觸。

附圖說明

為了使本實用新型的內(nèi)容更容易被清楚地理解，下面根據(jù)具體實施例并結(jié)合附圖，對本實用新型作進一步詳細的說明，其中：圖1為本實用新型第一優(yōu)選實施例的結(jié)構(gòu)框圖；

圖2為本實用新型傳感器的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為本實用新型第二優(yōu)選實施例的結(jié)構(gòu)框圖。

其中：1、外殼，2、電荷感應(yīng)電極，3、紅外激發(fā)二極管。

具體實施方式

實施例1

如圖1至圖2所示，本實用新型第一優(yōu)選實施例提供一種半導(dǎo)體P、N類型非接觸測試裝置，包括：紅外發(fā)射激勵脈沖驅(qū)動電路，其輸出端與傳感器連接，用于給傳感器傳送激發(fā)脈沖；

傳感器，其輸出端與電荷放大器連接，用于激發(fā)半導(dǎo)體表面生成光生電荷并收集生成電荷信號傳送給電荷放大器；

電荷放大器，其輸出端與整形放大器連接，用于將接收的電荷信號進行放大生成放大電荷信號傳送給整形放大器；

整形放大器，其輸出端與相位鉗位電路連接，用于將接收的放大電荷信號進行整形生成電平信號傳送給相位鉗位電路；

相位鉗位電路，用于將接收的電平信號進行鉗制以判斷半導(dǎo)體P、N類型。?

上述實施例中傳感器包括殼體1、以及設(shè)置于殼體1內(nèi)的紅外激發(fā)二極管3和電荷感應(yīng)電極2，紅外激發(fā)二極管3輸入端與紅外發(fā)射激勵脈沖驅(qū)動電路輸出端連接，電荷感應(yīng)電極2輸出端與電荷放大器輸入端連接。

下面對本實施例的工作原理作進一步說明：1.紅外發(fā)射激勵脈沖驅(qū)動電路驅(qū)動紅外激發(fā)二極管3激發(fā)半導(dǎo)體表面誘發(fā)產(chǎn)生微弱的光生電荷；