[實用新型]一種提高硅烷氣體充裝效率的系統(tǒng)有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201320835564.8 | 申請日： | 2013-12-18 |
| 公開（公告）號： | CN203628252U | 公開（公告）日： | 2014-06-04 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 陳德偉;徐建勝;鄭安雄 | 申請（專利權(quán)）人： | 浙江中寧硅業(yè)有限公司 |
| 主分類號： | F17C5/00 | 分類號： | F17C5/00;F17C13/00;F17C13/02 |
| 代理公司： | 杭州求是專利事務(wù)所有限公司 33200 | 代理人： | 張法高 |
| 地址： | 324000 浙江*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 提高 硅烷 氣體 效率 系統(tǒng) | ||
【權(quán)利要求書】：
1.一種提高硅烷氣體充裝效率的系統(tǒng)，其特征在于包括硅烷充裝入口緩沖罐（1）、硅烷壓縮機（2）、粗過濾器（3）、精過濾器（4）、鋼瓶（5）、多個多接頭充裝面板（6）、出口緩沖罐（7）、多接頭分析面板（8）,硅烷充裝入口緩沖罐（1）、硅烷壓縮機（2）、粗過濾器（3）、精過濾器（4）、多接頭充裝面板（6）、出口緩沖罐（7）順次相連，多接頭充裝面板（6）經(jīng)閥門與鋼瓶（5）相連，鋼瓶（5）經(jīng)閥門與多接頭分析面板（8）相連。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種提高硅烷氣體充裝效率的系統(tǒng)，其特征在于所述的多個多接頭充裝面板（6）以并聯(lián)連接方式相連。
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