[實用新型]一種化學(xué)機械研磨裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201320833842.6 | 申請日： | 2013-12-17 |
| 公開（公告）號： | CN203680027U | 公開（公告）日： | 2014-07-02 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 唐強;洪中山 | 申請（專利權(quán)）人： | 中芯國際集成電路制造（北京）有限公司 |
| 主分類號： | B24B37/20 | 分類號： | B24B37/20;B24B37/34 |
| 代理公司： | 上海光華專利事務(wù)所 31219 | 代理人： | 李儀萍 |
| 地址： | 100176 北京市大興區(qū)大*** | 國省代碼： | 北京;11 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 化學(xué) 機械 研磨 裝置 | ||
1.一種化學(xué)機械研磨裝置，其特征在于，所述化學(xué)機械研磨裝置至少包括：
用于承載晶圓的研磨平臺；
位于所述研磨平臺上的環(huán)形電磁鐵以及收容于所述環(huán)形電磁鐵內(nèi)并與之間隔的實心電磁鐵；所述環(huán)形電磁鐵和實心電磁鐵分別連接電源；
位于所述環(huán)形電磁鐵和實心電磁鐵上的彈性材料層；
位于所述彈性材料層上與所述環(huán)形電磁鐵和實心電磁鐵分別對應(yīng)的環(huán)形銜鐵和實心銜鐵；以及位于所述環(huán)形銜鐵和實心銜鐵上的研磨墊。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)機械研磨裝置，其特征在于：所述實心銜鐵和所述環(huán)形銜鐵粘貼在研磨墊的下表面。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)機械研磨裝置，其特征在于：所述實心電磁鐵和所述環(huán)形電磁鐵粘貼在研磨平臺的上表面。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)機械研磨裝置，其特征在于：所述彈性材料層為海綿、橡膠或軟質(zhì)泡沫塑料。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)機械研磨裝置，其特征在于：所述研磨墊上表面具有用于分布研磨液的溝槽。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)機械研磨裝置，其特征在于：所述彈性材料層在彈性限度內(nèi)的形變量為75微米～125微米。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)機械研磨裝置，其特征在于：所述環(huán)形銜鐵和環(huán)形電磁鐵形狀相同，實心銜鐵和實心電磁鐵形狀相同。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)機械研磨裝置，其特征在于：所述環(huán)形銜鐵和實心銜鐵厚度相同，環(huán)形電磁鐵和實心電磁鐵厚度相同。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)機械研磨裝置，其特征在于：所述環(huán)形銜鐵和實心銜鐵的材料為用軟磁材料。
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