[實(shí)用新型]一種化學(xué)機(jī)械研磨裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201320833842.6
• 申請(qǐng)日: 2013-12-17
• 公開（公告）號(hào): CN203680027U
• 公開（公告）日: 2014-07-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 唐強(qiáng);洪中山
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中芯國(guó)際集成電路制造（北京）有限公司
• 主分類號(hào): B24B37/20
• 分類號(hào): B24B37/20;B24B37/34
• 代理公司: 上海光華專利事務(wù)所 31219
• 代理人: 李儀萍

1.一種化學(xué)機(jī)械研磨裝置，其特征在于，所述化學(xué)機(jī)械研磨裝置至少包括：

用于承載晶圓的研磨平臺(tái)；

位于所述研磨平臺(tái)上的環(huán)形電磁鐵以及收容于所述環(huán)形電磁鐵內(nèi)并與之間隔的實(shí)心電磁鐵；所述環(huán)形電磁鐵和實(shí)心電磁鐵分別連接電源；

位于所述環(huán)形電磁鐵和實(shí)心電磁鐵上的彈性材料層；

位于所述彈性材料層上與所述環(huán)形電磁鐵和實(shí)心電磁鐵分別對(duì)應(yīng)的環(huán)形銜鐵和實(shí)心銜鐵；以及位于所述環(huán)形銜鐵和實(shí)心銜鐵上的研磨墊。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)機(jī)械研磨裝置，其特征在于：所述實(shí)心銜鐵和所述環(huán)形銜鐵粘貼在研磨墊的下表面。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)機(jī)械研磨裝置，其特征在于：所述實(shí)心電磁鐵和所述環(huán)形電磁鐵粘貼在研磨平臺(tái)的上表面。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)機(jī)械研磨裝置，其特征在于：所述彈性材料層為海綿、橡膠或軟質(zhì)泡沫塑料。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)機(jī)械研磨裝置，其特征在于：所述研磨墊上表面具有用于分布研磨液的溝槽。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)機(jī)械研磨裝置，其特征在于：所述彈性材料層在彈性限度內(nèi)的形變量為75微米～125微米。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)機(jī)械研磨裝置，其特征在于：所述環(huán)形銜鐵和環(huán)形電磁鐵形狀相同，實(shí)心銜鐵和實(shí)心電磁鐵形狀相同。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)機(jī)械研磨裝置，其特征在于：所述環(huán)形銜鐵和實(shí)心銜鐵厚度相同，環(huán)形電磁鐵和實(shí)心電磁鐵厚度相同。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)機(jī)械研磨裝置，其特征在于：所述環(huán)形銜鐵和實(shí)心銜鐵的材料為用軟磁材料。