[實(shí)用新型]一種變方阻薄膜電阻網(wǎng)絡(luò)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201320833215.2
• 申請(qǐng)日: 2013-12-17
• 公開（公告）號(hào): CN203733542U
• 公開（公告）日: 2014-07-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉澤文;郭昕
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 清華大學(xué)
• 主分類號(hào): H01C1/16
• 分類號(hào): H01C1/16
• 代理公司: 西安智大知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 61215
• 代理人: 賈玉健

1.一種變方阻薄膜電阻網(wǎng)絡(luò)，其特征在于，包括：?

襯底；?

設(shè)置于襯底上的緩沖隔離層；?

設(shè)置于緩沖隔離層上的中心薄膜電阻和旁路薄膜電阻；?

以及設(shè)置于緩沖隔離層上的由信號(hào)傳輸線及地線組成的連接中心薄膜電阻和旁路薄膜電阻的信號(hào)通路；?

其中，所述中心薄膜電阻和旁路薄膜電阻具有不同的方塊電阻，通過信號(hào)傳輸線及地線相連形成完整的信號(hào)通路。?

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的變方阻薄膜電阻網(wǎng)絡(luò)，其特征在于，所述緩沖隔離層厚度為100-500nm，以阻擋制作中心薄膜電阻和旁路薄膜電阻過程中的雜質(zhì)元素?cái)U(kuò)散，防止漏電。?

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的變方阻薄膜電阻網(wǎng)絡(luò)，其特征在于，所述地線有兩條，分別設(shè)置在信號(hào)傳輸線兩側(cè)，和信號(hào)傳輸線共同組成共面波導(dǎo)傳輸線。?

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的變方阻薄膜電阻網(wǎng)絡(luò)，其特征在于，所述中心薄膜電阻和旁路薄膜電阻為多晶硅薄膜電阻。?

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的變方阻薄膜電阻網(wǎng)絡(luò)，其特征在于，所述方塊電阻大于10Ω/□，小于5000Ω/□。?

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的變方阻薄膜電阻網(wǎng)絡(luò)，其特征在于，所述中心薄膜電阻和旁路薄膜電阻的厚度一樣，是10^-7m量級(jí)，二者的圖形面積大小差別小于2倍。?

7.根據(jù)權(quán)利要求1-6任一權(quán)利要求所述的變方阻薄膜電阻網(wǎng)絡(luò)，其特征在于，所述信號(hào)傳輸線有三段，呈直線排列設(shè)置在兩條地線之間，中心薄膜電阻和旁路薄膜電阻均有兩個(gè)，兩個(gè)中心薄膜電阻分別設(shè)置在相鄰的兩段信號(hào)傳輸線之間，與信號(hào)傳輸線形成歐姆接觸；一個(gè)旁路薄膜電阻連接在中間?段信號(hào)傳輸線和一條地線之間，另一個(gè)旁路薄膜電阻連接在中間段信號(hào)傳輸線和另一條地線之間，旁路薄膜電阻與所連接的信號(hào)傳輸線和地線形成歐姆接觸，由此構(gòu)成T型電阻網(wǎng)絡(luò)。?

8.根據(jù)權(quán)利要求1-6任一權(quán)利要求所述的變方阻薄膜電阻網(wǎng)絡(luò)，其特征在于，所述信號(hào)傳輸線有兩段，呈直線排列設(shè)置在兩條地線之間，中心薄膜電阻有一個(gè)，旁路薄膜電阻有四個(gè)，所述中心薄膜電阻設(shè)置在兩段信號(hào)傳輸線之間，與信號(hào)傳輸線形成歐姆接觸；四個(gè)旁路薄膜電阻分別設(shè)置在一段信號(hào)傳輸線與一條地線之間、一段信號(hào)傳輸線與另一條地線之間、另一段信號(hào)傳輸線與一條地線之間以及另一段信號(hào)傳輸線與另一條地線之間，并與所連接的信號(hào)傳輸線和地線形成歐姆接觸，由此構(gòu)成π型電阻網(wǎng)絡(luò)。?