[實用新型]一種立式真空濺射鍍膜生產線

有效

• 申請號: 201320830793.0
• 申請日: 2013-12-16
• 公開（公告）號: CN203807548U
• 公開（公告）日: 2014-09-03
• 發明（設計）人: 黃國興;孫桂紅;祝海生;黃樂;梁紅;吳永光
• 申請（專利權）人: 湘潭宏大真空技術股份有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34;C23C14/35;C23C14/56
• 代理公司: 上海精晟知識產權代理有限公司 31253
• 代理人: 馮子玲

1.一種立式真空濺射鍍膜生產線，其特征在于，包括：一傳送流水線和一鍍膜流水線，鍍膜流水線與傳送流水線連接，傳送流水線傳送基片，鍍膜流水線包括進口腔室、進口過渡腔室、進口緩沖腔室、鍍膜腔室、出口緩沖腔室、出口過渡腔室和出口腔室，所述進口腔室、進口過渡腔室、進口緩沖腔室、鍍膜腔室、出口緩沖腔室、出口過渡腔室和出口腔室依次首尾連接，所述基片通過進口腔室從傳送流水線進入鍍膜流水線，通過出口腔室從鍍膜流水線移出。?

2.如權利要求1所述的立式真空濺射鍍膜生產線，其特征在于：所述傳送流水線與鍍膜流水線平行設置。?

3.如權利要求1所述的立式真空濺射鍍膜生產線，其特征在于：鍍膜腔室中設有一移動式陰極裝置，所述移動式的陰極裝置的靶材轟擊軌道非固定。?

4.如權利要求3所述的立式真空濺射鍍膜生產線，其特征在于：所述移動式陰極裝置包括陰極組件和平移組件，所述陰極組件與平移組件固定連接且隨平移組件的運動平動，其中陰極為平面磁控濺射陰極；所述陰極組件與平移組件通過一絕緣件連接。?

5.如權利要求4所述的立式真空濺射鍍膜生產線，其特征在于：陰極組件包括靶材、靶背板、磁鐵和軛鐵，靶背板四周圍有絕緣墊，靶材固定連接靶背板，磁鐵固定于軛鐵上，且軛鐵連接絕緣件。?

6.如權利要求5所述的立式真空濺射鍍膜生產線，其特征在于：陰極組件中的磁鐵可選用現有技術中的各種磁鐵陣，或多個磁鐵排布而成，或定制成型磁鐵而成。?

7.如權利要求6所述的立式真空濺射鍍膜生產線，其特征在于：靶背板與磁鐵相對面開有一凹槽，磁鐵位于所述凹槽內但不接觸所述靶背板。?

8.如權利要求7所述的立式真空濺射鍍膜生產線，其特征在于：所述磁鐵隨平移組件在凹槽內平動。?

9.如權利要求4所述的立式真空濺射鍍膜生產線，其特征在于：所述平移組件由外至內依次為移動件、滑軌件、安裝件和支撐件，其中移動件分別與絕緣件和滑軌件中的滑塊連接，安裝件與滑軌件中的滑軌連接，且安裝件與支撐件連接。?

10.如權利要求4所述的立式真空濺射鍍膜生產線，其特征在于：所述平移組件由外至內依次為移動件、滾珠絲杠件、安裝件和支撐件，其中移動件分別與絕緣件和滾珠絲杠件中的螺母連接，安裝件與滾珠絲杠件中的固定件連接，且安裝件與支撐件連接。?

11.如權利要求4所述的立式真空濺射鍍膜生產線，其特征在于：所述平移組件包括一移動件、一滑軌件、一滾珠絲杠件、安裝件和支撐件；滑軌件包括一滑塊和一滑軌，滑塊與滑軌配合，滑塊在滑軌上滑動；滾珠絲杠件包括一螺母、一螺桿和一安裝座，螺桿安裝在安裝座上，螺桿與螺母配合，螺桿轉動時，螺母沿螺桿平動；移動件上分別連接滑軌件中的滑塊和滾珠絲杠件的螺母，安裝件分別連接滑軌件中的滑軌和滾珠絲杠件的安裝座；此時移動件在滑軌件和滾珠絲杠件的共作用下平動。?

12.如權利要求10或11所述的立式真空濺射鍍膜生產線，其特征在于：滾珠絲杠件電連接一電機，由電機驅動滾珠絲杠件中的螺母平動。?

13.如權利要求12所述的立式真空濺射鍍膜生產線，其特征在于：電機為一伺服電機，通過一同步帶傳動滾珠絲杠件。?

14.如權利要求11所述的立式真空濺射鍍膜生產線，其特征在于：平移組件至少包括兩個滑軌件且分布于滾珠絲杠件的兩側，以更好的承重陰極組件，使該陰極裝置平動更為穩定均勻。?

15.如權利要求10或11所述的立式真空濺射鍍膜生產線，其特征在于：平移組件還包括一光電感應器，分設于滾珠絲杠件的螺桿的兩側。?

16.如權利要求4所述的立式真空濺射鍍膜生產線，其特征在于：所述陰極裝置還包括一連接件，該連接件與真空鍍膜生產線中的鍍膜腔室的箱體活動連接，且平移組件連接該連接件。?

17.如權利要求16所述的立式真空濺射鍍膜生產線，其特征在于：所述活動連接為鉸接。?

18.如權利要求16所述的立式真空濺射鍍膜生產線，其特征在于：當該陰極裝置為多個時，該連接件為同一連接件，此時，多個陰極裝置共連接于該連接件上。?