[實用新型]一種生產線用門體結構

有效

• 申請號: 201320829033.8
• 申請日: 2013-12-16
• 公開（公告）號: CN203807552U
• 公開（公告）日: 2014-09-03
• 發明（設計）人: 黃國興;孫桂紅;祝海生;黃樂;梁紅;吳永光
• 申請（專利權）人: 湘潭宏大真空技術股份有限公司
• 主分類號: C23C14/56
• 分類號: C23C14/56
• 代理公司: 上海精晟知識產權代理有限公司 31253
• 代理人: 馮子玲

技術領域

本實用新型涉及密合門的領域，特別涉及一種生產線用門體結構。?

背景技術

在真空鍍膜領域，一般的真空鍍膜生產線至少包括七個腔室，每個腔室根據不同的需要，一般匹配不同規格以及不同開合方向的腔室密封門。由于真空鍍膜領域技術發展更新快，半導體行業，電子行業的更新換代非常頻繁，而生產線不能順應技術的發展改變就會面臨快速淘汰的命運，匹配不同生產工藝而制造的真空鍍膜腔室密封門隨之也將淘汰，這必將造成資源的浪費，使得真空鍍膜工藝的成本居高不下。現有技術中在真空鍍膜生產線中并沒有一種可以在不同腔室之間具有普適性的互換門。如何使真空鍍膜生產線中各腔室密封門體結構之間具有普適性，滿足鍍膜工藝的需求，降低真空鍍膜工藝的器械成本，仍是一個亟待解決的問題。?

發明內容

針對現有技術存在的上述問題，本實用新型的目的是提供一種普適性強，可以在不同腔室之間互相更換，且密封效果更好的真空鍍膜腔室用互換門。?

為實現上述發明目的，本實用新型采用的技術方案如下：?

一種生產線用門體結構,該門體結構配置于真空鍍膜生產線中的各功能腔室，包括室門和門框，室門的兩側均與門框活動連接，各功能腔室配置的門體機構尺寸及配置各功能腔室的方式均一致；生產線用門體結構進一步包括多組密封組件，室門的兩側與門框通過多組密封組件與門框可拆卸活動連接，優選為螺接；室門兩側的密封組件位置對應；密封組件包括鉸鏈件和緊鎖件，鉸鏈件連接室門與門框，室門經鉸鏈件開合，緊鎖件安裝在門框上；鉸鏈件包括第一鉸鏈件、第二鉸鏈件和輔助鉸鏈件，其中第一鉸鏈件與室門連接，第二鉸鏈件與門框連接，輔助鉸鏈件分別連接第一鉸鏈件和第二鉸鏈件；第一鉸鏈件包括第一鉸鏈座和第一鉸鏈軸，第二鉸鏈件包括第二鉸鏈座和第二鉸鏈軸，第一鉸鏈座和輔助鉸鏈件同第一鉸鏈軸轉動，第二鉸鏈座和輔助鉸鏈件同第二鉸鏈軸轉動，且第二鉸鏈座與?輔助鉸鏈座間設有軸承。?

優選的，所述軸承為平面軸承。?

更優選地，為了使得鉸鏈件結構更為緊湊合理，第一鉸鏈座依輔助鉸鏈件形狀去除材料成第一凹槽，輔助鉸鏈件嵌入第一凹槽內與第一鉸鏈座同軸轉動；相應地，第二鉸鏈座依輔助鉸鏈件形狀去除材料成第二凹槽，輔助鉸鏈件嵌入第二凹槽內與第二鉸鏈座同軸轉動；第一凹槽與第二凹槽開口方向相反。?

更優選地，第一鉸鏈座與第二鉸鏈座等高等長，第二鉸鏈座與第一鉸鏈座不等寬，換言之，第二鉸鏈座厚于第一鉸鏈座；此厚度差可實現在真空鍍膜生產線腔室內成真空狀態時，避免外界大氣壓將室門設有鉸鏈件的一側無法密閉均勻，使得整個室門的關合過程受力更為平均，室門密封性能好。?

更優選地，第一凹槽設置在第一鉸鏈座的中段，同樣地，第二凹槽設置在第二鉸鏈座的中段。?

更優選地，為了，使得整個室門的關合過程受力更為平均，第一鉸鏈座與輔助鉸鏈件間通過一螺栓固定，且該螺栓與室門連接，通過該螺栓調整輔助鉸鏈件，使輔助鉸鏈件在轉動過程中不左右擺動，且在轉動過程中，限制室門隨著輔助鉸鏈件與第一鉸鏈座的間隙擺動，而是使室門隨著輔助鉸鏈件轉動，該螺栓優選為沉頭螺栓。?

優選地，緊鎖件包括固定座、固定元件和壓緊螺釘，固定座通過螺栓固定在鍍膜生產線各功能腔室的門框上，固定元件通過壓緊螺釘活動安裝在固定座上。?

更優選地，壓緊螺釘與固定元件之間活動連接，固定元件經壓緊螺釘安裝在門框上時可旋轉。?

與現有技術相比，本實用新型中真空鍍膜生產線的各腔室門體均采用尺寸一致的門體機構，使得各腔室門體依據鍍膜區域工藝可進行隨時調整，隨時根據兩面膜層的結構設計來更換靶門布局適應鍍膜要求，使生產線能隨時進行升級改進，順應膜層的發展更新換代，節約生產線成本；鍍膜生產線的標準化門體機構也使得生產線更為簡潔、美觀；并且，門體機構均為活動可拆卸，室門與門框間通過可拆卸的密封組件固定，密封組件采用雙軸結構，提高鍍膜腔室的密封效果，滿足鍍膜工藝的真空度要求。因此本實用新型具有廣闊的應用前景。?

附圖說明

圖1為本實用新型提供的一種生產線用門體結構的互換門裝配示意圖；?

圖2為本實用新型提供的一種生產線用門體結構的單個門體示意圖；?

圖3為本實用新型提供的一種生產線用門體結構中鉸鏈件的一種優選實施方式立體圖；?

圖4為本實用新型提供的一種生產線用門體結構中鉸鏈件的一種優選實施方式透視圖；?

圖5為本實用新型提供的一種生產線用門體結構中緊鎖件的一種優選實施方式結構圖。?

具體實施方式