[實用新型]一種可調式裝片裝置

有效

• 申請號: 201320828989.6
• 申請日: 2013-12-16
• 公開（公告）號: CN203700499U
• 公開（公告）日: 2014-07-09
• 發明（設計）人: 黃國興;孫桂紅;祝海生;黃樂;梁紅;吳永光
• 申請（專利權）人: 湘潭宏大真空技術股份有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35;C23C14/50
• 代理公司: 上海精晟知識產權代理有限公司 31253
• 代理人: 馮子玲

技術領域

本實用新型涉及裝片裝置技術領域，具體說，是涉及一種真空鍍膜生產線的可調式裝片裝置。?

背景技術

鍍膜生產線中磁控濺射是為了再低氣壓下進行高速濺射，必須有效地提高氣體的離化率。通過在粑陰極表面引入磁場，利用磁場對帶電粒子的約束來提高等離子體密度以提高濺射率的方法，而在鍍膜中就需要特殊的裝片裝置固定基片。?

基片的大小不定，通常需要依據基片的大小建立基片架。目前市場上使用的裝片裝置為一種基片架，基片預設安裝在基片架上，如專利號為201320051676.4的一種可調基片架，包括第一外橫桿、第二外橫桿、第一豎桿、第二豎桿、第一調節橫桿、第二調節橫桿、彈性壓條和彈性壓片；所述第一外橫桿、第一豎桿、第二外橫桿和第二豎桿兩兩聯組成一個長方形的框架，框架四個角用螺釘連接，第一、二豎桿上設有凹槽和通孔，第一、二調節橫桿通過通孔安裝在豎桿上。但是該可調節基片架中，孔的位置固定，只能將第一、二調節橫桿依據孔的位置調節。然而，基片的大小是不固定的，并且每個基片的大小會有偏差，有可能第一、二調節橫桿依據孔的位置調節位置時，不滿足基片的大小。并且該彈性元件的位置固定，不能移動，也不能依據需要固定基片的數量，設置彈性元件。?

為了解決上述固定，市場上又出現了一種基片架，該基片架在調節橫桿后再增加了一輔助桿，輔助桿輔助基片在基片架上固定，但這種基片架使基片架架體的橫截面積增大，這樣導致真空鍍膜室的基片架進出口都必須加寬，這樣造成真空鍍膜室加工工藝復雜。?

發明內容

針對現有技術存在的上述問題，本發明的目的是提供一種可調式裝片裝置，將基片穩固安裝，以方便鍍膜生產，其橫截面積小，結構簡單，適合安裝各種不同規格的基片。?

為實現上述發明目的，本實用新型采用的技術方案如下：?

一種可調式裝片裝置，包括：一固定組件和一調節組件，調節組件安裝在固定組件上，?通過調節調節組件的位置安裝不同規格的基片；?

固定組件包括第一支撐桿、第二支撐桿、第一擋板和第二擋板，第一支撐桿、第一擋板、第二支撐桿和第二擋板兩兩連接形成一方形框架，第一支撐桿和第二支撐桿上分別設有至少兩個導槽區域；調節組件安裝在固定組件上，調節組件包括至少兩個調節梁和至少一組定位件，定位件可拆卸的安裝在調節梁上，調節梁安裝在第一支撐桿和第二支撐桿的導槽區域上；?

導槽區域進一步包括一導槽和一安置區，導槽設置在安置區內，導槽呈豎直方向；?

固定組件的第一支撐桿和第二支撐桿上進一步分別設有中心安置區域，中心導位區域設置在第一支撐桿和第二支撐桿中心；?

調節梁安裝在第一支撐桿和第二支撐桿的導槽區域和/或中心安置區域，調節梁包括一第一端部、一第二端部和一橫梁，橫梁的兩端連接第一端部和第二端部，第一端部和第二端部的厚度小于橫梁的厚度，第一端部和第二端部的厚度一致；?

定位件包括一第一定位元件和一第二定位元件，第一定位元件拆卸安裝在一調節梁上，第二定位元件可拆卸安裝在另一調節梁上，第一定位元件的安裝位置高于第二定位元件的位置。?

優選地，第一支撐桿、第一擋板、第二支撐桿和第二擋板兩兩連接形成一長方形框架，以增大安裝面積。?

更優選地，安置區的長度不小于導槽的長度，安置區的寬度不小于導槽的寬度。?

優選地，導槽區域包括第一導槽區域和第二導槽區域，第一導槽區域的面積大于第二導槽區域。?

更優選地，第一導槽區域設置在第一支撐桿和第二支撐桿的兩端部，第二導槽區域設置在第一支撐桿和第二支撐桿中間部位，第一導槽區域進一步包括一第一導槽和第一安置區，第一導槽呈豎直方向設置在所述第一安置區內，第一安置區的長度不小于所述第一導槽的長度，第一安置區的寬度不小于第一導槽的寬度；第二導槽區域進一步包括一第二導槽和一第二安置區，第二導槽呈豎直方向設置在第二安置區內，第二安置區的長度不小于第二導槽的長度，第二安置區的寬度不小于第二導槽的寬度，第一安置區的面積大于第二安置區，第一導槽的長度長于第二導槽。?

優選地，中心導位區域進一步包括一中心安置孔和一中心安置區，中心安置孔設置在中心安置區的中心，中心安置區自第一支撐桿和第二支撐桿上去除材料形成，中心安置區的深度與安置區一致。?

優選地，調節梁安裝在第一支撐桿和第二支撐桿的導槽區域和/或中心安置區域，調節梁包括一第一端部、一第二端部和一橫梁，橫梁的兩端連接第一端部和第二端部，第一端部和第二端部的厚度小于橫梁的厚度，第一端部和第二端部的厚度一致。?