[實用新型]一種電解銅箔設備精密配液裝置

有效

• 申請號: 201320824513.5
• 申請日: 2013-12-13
• 公開（公告）號: CN203602747U
• 公開（公告）日: 2014-05-21
• 發明（設計）人: 趙寧昌;阮躍進;寇博泰
• 申請（專利權）人: 華納國際（銅陵）電子材料有限公司
• 主分類號: C25D21/12
• 分類號: C25D21/12;C25D7/06
• 代理公司: 銅陵市天成專利事務所 34105
• 代理人: 莫祚平

技術領域

本實用新型涉及一種電解銅箔設備精密配液裝置。

背景技術

在銅箔生產加工過程中，配液裝置是整個生箔機供液系統中的關鍵設備，其好壞直接影響到銅箔生產質量。現有的配液裝置的結構設計在生產中普遍存在流量調節難、造成銅箔在寬度方向上厚度不一致的問題，無法滿足客戶對銅箔質量要求。為了保證銅箔電解沉積過程中流量可調，滿足克重均勻度要求，一般都通過增大流量方式來彌補，這樣勢必造成能耗隨之增大。另外，陽極板涂銥層長期受到大流量液體沖刷，使用壽命也大大降低。現有技術中，為了解決銅箔厚度均勻性問題，采用方式是給FIP陽極板張貼屏蔽，使箔厚的地方電流降低來控制銅箔均勻度要求。這種方法操作起來非常煩瑣，對操作者的技能要求非常高。這種方法一般先將陰極輥裝槽上液開機，然后送樣做基重測試，再根據基重測試報告，觀察銅箔克重超標的部位，并屏蔽與銅箔對應陽極板的地方，這樣往往需要反復測試多次，不僅耗費人力物力，而且還浪費時間。另外，即便采用這種方法，長時間使用后，屏蔽有被電解液沖走的可能。

實用新型內容

本實用新型的目的是解決現有的配液裝置的結構設計在生產中普遍存在流量調節難、造成銅箔在寬度方向上厚度不一致的問題。

本實用新型采用的技術方案是：一種電解銅箔設備精密配液裝置，包括配液箱、連接支管和分液缸，所述的連接支管至少有2根，每根連接支管的兩端分別與配液箱和分液缸管連通，每根連接支管上均設有流量計和流量調節閥。

作為本實用新型的進一步改進，所述的配液箱包括蓋板、導流板、內隔板、中隔板和底板，所述導流板固連于蓋板上，所述蓋板上設有若干個小孔，所述中隔板與導流板固連，所述底板與配液箱的箱體固連，所述內隔板有若干個，內隔板與底板固連使得配液箱被內隔板分割成若干個相互獨立的腔體，所述分液缸包括外筒體、內筒體和端蓋，所述的內筒體位于外筒體的內壁內，所述端蓋有2個，分別固連于外筒體和內筒體的兩端，所述的內筒體沿軸向鉆有兩排均布且對稱的圓孔，所述的連接支管至少有8根，每根連接支管的兩端分別與底板和外筒體相連通使得每根連接支管的兩端分別與配液箱和分液缸管連通，使得配液箱和分液缸之間形成至少個獨立的且能夠調節流量的供液支路。

作為本實用新型的進一步改進，所述連接支管有8至15根，所述的導流板呈“V”字形。

作為本實用新型的進一步改進，所述連接支管沿配液箱和分液缸的長度方向均布排列。

本實用新型的有益效果是：采用了這種結構后，本實用新型中的配液裝置具有結構緊湊合理、液體流量可精密均勻調節、能耗低，在銅箔電沉積過程中通過調節電解液流量能夠精密均勻控制銅箔在寬度方向上的厚度，能保證8-70微米銅箔生產對克重均勻度不超過3克的要求。

附圖說明

圖1為本實用新型示意圖。

圖2為圖1中A-A向剖視圖。

圖中所示：1配液箱，2連接支管，3流量計，4流量調節閥，5分液缸，11，12導流板，13內隔板，14中隔板，15底板，51外筒體，52內筒體。

具體實施方式

下面結合圖1、2，對本實用新型做進一步的說明。

如圖1、2所示，一種電解銅箔設備精密配液裝置，包括配液箱1、連接支管2和分液缸5，所述的連接支管2至少有2根，每根連接支管的兩端分別與配液箱1和分液缸5管連通，每根連接支管2上均設有流量計3和流量調節閥4，所述的配液箱1包括蓋板11、導流板12、內隔板13、中隔板14和底板15，所述導流板12固連于蓋板11上，所述蓋板上設有若干個小孔，所述中隔板14與導流板12固連，所述底板15與配液箱1的箱體固連，所述內隔板13有若干個，內隔板13與底板15固連使得配液箱被內隔板分割成若干個相互獨立的腔體，所述分液缸5包括外筒體51、內筒體52和端蓋，所述的內筒體52位于外筒體51的內壁內，所述端蓋有2個，分別固連于外筒體51和內筒體52的兩端，所述的內筒體沿軸向鉆有兩排均布且對稱的圓孔，所述的連接支管2至少有8根，每根連接支管2的兩端分別與底板15和外筒體51相連通使得每根連接支管的兩端分別與配液箱1和分液缸5管連通，使得配液箱1和分液缸5之間形成至少8個獨立的且能夠調節流量的供液支路，所述連接支管2有8至15根，所述的導流板12呈“V”字形，所述連接支管2沿配液箱1和分液缸5的長度方向均布排列。