[實(shí)用新型]一種三爪卡托單晶爐坩堝取出裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201320824244.2 | 申請日: | 2013-12-12 |
| 公開(公告)號: | CN203728959U | 公開(公告)日: | 2014-07-23 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 潘燕萍 | 申請(專利權(quán))人: | 常州市天龍光電設(shè)備有限公司 |
| 主分類號: | C30B15/10 | 分類號: | C30B15/10 |
| 代理公司: | 常州市維益專利事務(wù)所 32211 | 代理人: | 何學(xué)成 |
| 地址: | 213000 江蘇省常*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 三爪卡托單晶爐 坩堝 取出 裝置 | ||
技術(shù)領(lǐng)域
本實(shí)用新型涉及單晶硅生產(chǎn)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域,特別涉及一種三爪卡托單晶爐坩堝取出裝置。
背景技術(shù)
單晶硅作為現(xiàn)代信息社會的關(guān)鍵支撐材料,是目前世界上最重要的單晶材料之一,它不僅是發(fā)展計算機(jī)與集成電路的主要功能材料,也是光伏發(fā)電利用太陽能的主要功能材料,在硅單晶拉制前,需要利用坩堝取出機(jī)構(gòu)取出坩堝,一般的單晶爐坩堝取出機(jī)構(gòu),都是采用人工拆裝式來實(shí)現(xiàn),如此勞動強(qiáng)度大且不安全,生產(chǎn)效率第,而且現(xiàn)有的單晶爐坩堝取出機(jī)構(gòu)會致使坩堝受力不均、局部受力過大,導(dǎo)致坩堝損壞。
實(shí)用新型內(nèi)容
本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題是針對上述缺陷,提供一種三爪卡托單晶爐坩堝取出裝置,該裝置可以安全快速且省力的取出單晶爐坩堝,在取出過程中保護(hù)坩堝不被損壞。
本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是:一種三爪卡托單晶爐坩堝取出裝置,包括提升桿、提升滑套、托板、支臂和連接桿,所述提升滑套設(shè)在提升桿外部,提升桿與提升滑套可相對滑動,所述托板、支臂和連接桿組成卡托機(jī)構(gòu),所述組成卡托機(jī)構(gòu)的托板頂部兩邊設(shè)有拉桿,拉桿頂端設(shè)有拉桿橫桿,連接桿與拉桿橫桿上面中間設(shè)置的凸起活動鉸接,托板頂端中間設(shè)有與支臂活動鉸接的凸起,所述提升桿上部外壁周向設(shè)有三個均布的第一鉸接凸起,提升滑套外壁周向設(shè)有三個均布的與提升桿第一鉸接凸起方向?qū)?yīng)的第二鉸接凸起,進(jìn)一步的組成卡托機(jī)構(gòu)的連接桿與提升桿上部的第一鉸接凸起鉸接,組成卡托機(jī)構(gòu)的支臂與提升滑套的第二鉸接凸起鉸接,更進(jìn)一步的所述托板、支臂和連接桿組成的卡托機(jī)構(gòu)數(shù)量為三個,每個組成卡機(jī)構(gòu)的連接桿和支臂均與對應(yīng)的第一交接凸起、第二鉸接凸起鉸接。
所述三個第一交接凸起和三個第二鉸接凸起各自之間的夾角均為120°,進(jìn)一步的三個卡托機(jī)構(gòu)的中心線之間的夾角均為120°。
所述組成卡托機(jī)構(gòu)的托板為三分之一段圓弧形拱板,三個卡托機(jī)構(gòu)合攏后三個托板可組成底部中間空心的托盤。
所述組成卡托機(jī)構(gòu)的支臂為豎直臂和水平臂組成的直角型,支臂水平臂前端與托板鉸接,支臂豎直臂低端與第二鉸接凸起鉸接。
所述組成卡托機(jī)構(gòu)的支臂豎直臂設(shè)有護(hù)板,所述護(hù)板為三分之一段弧形板,三個卡托機(jī)構(gòu)合攏后三個護(hù)板組成圓形護(hù)板。
所述三個卡托機(jī)構(gòu)合攏后托板底部到支臂水平臂的距離大于單晶爐坩堝的高度。
本實(shí)用新型的有益效果是:采用上述方案,托板、支臂和連接桿組成卡托機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)簡單巧妙,連接桿與提升桿的第一鉸接凸起鉸接,直角型的支臂與提升滑套的第二鉸接凸起鉸接,連接桿鉸接拉桿橫桿,拉桿橫桿與拉桿、托板一體,三個卡托機(jī)構(gòu)設(shè)置在提升桿和提升滑套的周向形成三爪卡托,直角型的支臂、連接桿與提升滑套和提升桿的活動鉸接有效地實(shí)現(xiàn)聯(lián)動,控制三爪卡托的打開與閉合,三爪卡托閉合,底部三個托班組成坩堝底部配合的托盤托住坩堝的底部,結(jié)合支臂上三塊護(hù)板組成的圓形護(hù)板保護(hù)坩堝的側(cè)壁,使坩堝受力均勻,更好的保護(hù)坩堝,且整個過程機(jī)器聯(lián)動不需要人工拆裝,快捷省力。
附圖說明
圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
其中:1為提升桿,2為提升滑套,3為托板,4為支臂,5為連接桿,6為護(hù)板,7為拉桿,8為拉桿橫桿,9為第一鉸接凸起,10為第二鉸接凸起。
具體實(shí)施方式
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