[實用新型]單晶爐翻板箱冷卻結構

有效

• 申請號: 201320823428.7
• 申請日: 2013-12-12
• 公開（公告）號: CN203715789U
• 公開（公告）日: 2014-07-16
• 發明（設計）人: 潘燕萍
• 申請（專利權）人: 常州市天龍光電設備有限公司
• 主分類號: C30B29/06
• 分類號: C30B29/06;C30B15/00
• 代理公司: 常州市維益專利事務所 32211
• 代理人: 何學成

技術領域

本實用新型涉及一種單晶爐翻板箱冷卻結構。

背景技術

單晶硅是具有基本完整的點陣結構的晶體，是一種良好的半導材料，用于制造半導體器件、太陽能電池等。單晶硅是用高純度的多晶硅在單晶爐內拉制而成，對單晶硅控制裝置及控制工藝的改進將對半導體工業產生深遠的影響。現有的單晶硅拉制裝置為單晶爐，它是有爐底、下爐室、上爐室、爐蓋、翻板箱、副室六大部分組成。現有的單晶爐翻板箱的冷卻結構還不夠完善，在拉制單晶過程中不能更好的降低翻板箱溫度。

實用新型內容

本實用新型的目的是提供一種熱量能更充分吸收的單晶爐翻板箱冷卻結構。

實現本實用新型的技術方案如下：一種單晶爐翻板箱冷卻結構，包括箱體、用來與副工作室連接的上接口、用來與主工作室的爐蓋連接的下接口和翻板閥門，所述箱體分為內層和外層，內層和外層間設有冷卻夾層，箱體外設有與冷卻夾層相通的進出水孔座；所述的冷卻夾層內從上到下交錯布置有若干柵板，相鄰的兩塊柵板中，一塊柵板的一端固定在內層上，另一端與外層之間留有間隙，而另一塊柵板一端固定在外層上，另一端與內層之間留有間隙。

所述箱體外層設有真空口。

本實用新型的有益效果是：本實用新型在冷卻夾層內設有交錯的柵板，增加了水與內壁和外壁的接觸面，提高了冷卻降溫的效果，從而有效吸收熱量，能更好的保護翻板箱。

附圖說明

通過下面結合附圖的詳細描述，本實用新型前述的和其他的目的、特征和優點將變得顯而易見。其中：

圖1為本實用新型的結構示意圖；

附圖中，1為箱體，11為內層，12為外層，13為冷卻夾層，2為上接口，3為下接口，4為翻板閥門，5為進水孔座，6為出水孔座，7為柵板，8為真空口。

具體實施方式

下面結合附圖對本實用新型進行進一步說明；

參見圖1所示，一種單晶爐翻板箱冷卻結構，包括箱體1、用來與副工作室連接的上接口2、用來與主工作室的爐蓋連接的下接口3和翻板閥門4，所述箱體分為內層11和外層12，內層11和外層12間設有冷卻夾層13，箱體1外設有與冷卻夾層13相通的進5出6水孔座；所述的冷卻夾層13內從上到下交錯布置有若干柵板7，相鄰的兩塊柵板7中，一塊柵板7的一端固定在內層11上，另一端與外層12之間留有間隙，而另一塊柵板7一端固定在外層12上，另一端與內層11之間留有間隙。所述箱體外層12設有真空口8。

本實用新型并不局限于所述的實施例，本領域的技術人員在不脫離本實用新型的精神即公開范圍內，仍可作一些修正或改變，故本實用新型的權利保護范圍以權利要求書限定的范圍為準。