[實用新型]一種改進型單晶爐熱屏導流筒

有效

• 申請號: 201320823029.0
• 申請日: 2013-12-12
• 公開（公告）號: CN203715784U
• 公開（公告）日: 2014-07-16
• 發明（設計）人: 潘燕萍
• 申請（專利權）人: 常州市天龍光電設備有限公司
• 主分類號: C30B15/00
• 分類號: C30B15/00
• 代理公司: 常州市維益專利事務所 32211
• 代理人: 何學成

技術領域

本實用新型涉及機械設備技術領域，特別涉及一種改進型單晶爐熱屏導流筒。

背景技術

目前為降低單晶生長成本，最有效的辦法就是降低熱場消耗和提高晶體的生長技術。單單使用內外導流筒并不能有效降低熱場的熱量損失。另外，在提拉單晶生長工藝過程中，保護氣從爐頂進入到爐體中，若單晶棒與導流體之間的氣流流動不穩定，將會引起單晶棒的晃動，從而影響單晶的正常生長。

實用新型內容

針對上述問題，本實用新型提供一種改進型單晶爐熱屏導流筒。

實現本實用新型的技術方案如下：

一種改進型單晶爐熱屏導流筒，導流筒本體為倒錐臺形，包括外導流筒和內導流筒，所述的外導流筒和內導流筒之間設有填充保溫隔熱材料的空腔，所述的內導流筒含有真空腔，所述的內導流筒內壁還設有起導流保溫作用的導流保溫層結構，所述導流筒的下端部內外兩側均設有呈環狀均勻分布的若干分流槽。

所述分流槽的徑向界面為拱形或其他形狀。

本實用新型的有益效果是：內導流筒的真空腔、內導流筒與外導流筒之間的空腔填充的保溫材料、內導流筒設置的倒流保溫層結構，這些都有有效地減少了熱場熱量損失，起到保溫隔熱的作用；分流槽的設置改變保護氣的流動形態，穩定了保護氣的流動，降低氣體的流動對單晶生長的影響。以上都有效提高了單晶生長的穩定性，提高了生產效率。

附圖說明

圖1為本實用新型的結構示意圖；

圖2為本實用新型分流槽結構示意圖；

附圖中，1為導流保溫層結構，2為真空腔，3為內導流筒，4為空腔，5為外導流筒，6為分流槽，7為導流筒本體。

具體實施方式

下面結合附圖對本實用新型進行進一步說明；

參見圖1、圖2所示，一種改進型單晶爐熱屏導流筒，導流筒本體7為倒錐臺形，包括外導流筒5和內導流筒3，所述的外導流筒5和內導流筒3之間設有填充保溫隔熱材料的空腔4，所述的內導流筒3含有真空腔2，所述的內導流筒3內壁還設有起導流保溫作用的導流保溫層結構1，所述導流筒7的下端部內外兩側均設有呈環狀均勻分布的若干分流槽6。

所述分流槽6的徑向界面為拱形或其他形狀。

在本實用新型中，分流槽6為12個均勻分布，徑向界面為拱形。

內導流筒3的真空腔2、內導流筒3與外導流筒5之間的空腔4填充的保溫材料、內導流筒3設置的導流保溫層結構1，這些都有有效地減少了熱場熱量損失，起到保溫隔熱的作用；導流筒7內外兩側分流槽6的設置改變保護氣的流動形態，穩定了保護氣的流動，降低氣體的流動對單晶生長的影響。以上都有效提高了單晶生長的穩定性，提高了生產效率。

本實用新型并不局限于所述的實施例，本領域的技術人員在不脫離本實用新型的精神即公開范圍內，仍可作一些修正或改變，故本實用新型的權利保護范圍以權利要求書限定的范圍為準。