[實用新型]一種改進型單晶爐熱屏導流筒有效
| 申請號: | 201320823029.0 | 申請日: | 2013-12-12 |
| 公開(公告)號: | CN203715784U | 公開(公告)日: | 2014-07-16 |
| 發明(設計)人: | 潘燕萍 | 申請(專利權)人: | 常州市天龍光電設備有限公司 |
| 主分類號: | C30B15/00 | 分類號: | C30B15/00 |
| 代理公司: | 常州市維益專利事務所 32211 | 代理人: | 何學成 |
| 地址: | 213000 江蘇省常*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 改進型 單晶爐熱屏 導流 | ||
技術領域
本實用新型涉及機械設備技術領域,特別涉及一種改進型單晶爐熱屏導流筒。
背景技術
目前為降低單晶生長成本,最有效的辦法就是降低熱場消耗和提高晶體的生長技術。單單使用內外導流筒并不能有效降低熱場的熱量損失。另外,在提拉單晶生長工藝過程中,保護氣從爐頂進入到爐體中,若單晶棒與導流體之間的氣流流動不穩定,將會引起單晶棒的晃動,從而影響單晶的正常生長。
實用新型內容
針對上述問題,本實用新型提供一種改進型單晶爐熱屏導流筒。
實現本實用新型的技術方案如下:
一種改進型單晶爐熱屏導流筒,導流筒本體為倒錐臺形,包括外導流筒和內導流筒,所述的外導流筒和內導流筒之間設有填充保溫隔熱材料的空腔,所述的內導流筒含有真空腔,所述的內導流筒內壁還設有起導流保溫作用的導流保溫層結構,所述導流筒的下端部內外兩側均設有呈環狀均勻分布的若干分流槽。
所述分流槽的徑向界面為拱形或其他形狀。
本實用新型的有益效果是:內導流筒的真空腔、內導流筒與外導流筒之間的空腔填充的保溫材料、內導流筒設置的倒流保溫層結構,這些都有有效地減少了熱場熱量損失,起到保溫隔熱的作用;分流槽的設置改變保護氣的流動形態,穩定了保護氣的流動,降低氣體的流動對單晶生長的影響。以上都有效提高了單晶生長的穩定性,提高了生產效率。
附圖說明
圖1為本實用新型的結構示意圖;
圖2為本實用新型分流槽結構示意圖;
附圖中,1為導流保溫層結構,2為真空腔,3為內導流筒,4為空腔,5為外導流筒,6為分流槽,7為導流筒本體。
具體實施方式
下面結合附圖對本實用新型進行進一步說明;
參見圖1、圖2所示,一種改進型單晶爐熱屏導流筒,導流筒本體7為倒錐臺形,包括外導流筒5和內導流筒3,所述的外導流筒5和內導流筒3之間設有填充保溫隔熱材料的空腔4,所述的內導流筒3含有真空腔2,所述的內導流筒3內壁還設有起導流保溫作用的導流保溫層結構1,所述導流筒7的下端部內外兩側均設有呈環狀均勻分布的若干分流槽6。
所述分流槽6的徑向界面為拱形或其他形狀。
在本實用新型中,分流槽6為12個均勻分布,徑向界面為拱形。
內導流筒3的真空腔2、內導流筒3與外導流筒5之間的空腔4填充的保溫材料、內導流筒3設置的導流保溫層結構1,這些都有有效地減少了熱場熱量損失,起到保溫隔熱的作用;導流筒7內外兩側分流槽6的設置改變保護氣的流動形態,穩定了保護氣的流動,降低氣體的流動對單晶生長的影響。以上都有效提高了單晶生長的穩定性,提高了生產效率。
本實用新型并不局限于所述的實施例,本領域的技術人員在不脫離本實用新型的精神即公開范圍內,仍可作一些修正或改變,故本實用新型的權利保護范圍以權利要求書限定的范圍為準。
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