[實用新型]一種大尺寸石英管爐的電氣信號處理系統

有效

• 申請號: 201320822708.6
• 申請日: 2013-12-13
• 公開（公告）號: CN203586849U
• 公開（公告）日: 2014-05-07
• 發明（設計）人: 段聰;趙梅玉;高宇;鄧樹軍;陶瑩
• 申請（專利權）人: 河北同光晶體有限公司
• 主分類號: F27D19/00
• 分類號: F27D19/00
• 代理公司: 北京輕創知識產權代理有限公司 11212
• 代理人: 楊立

技術領域

本實用新型涉及一種大尺寸石英管爐的電氣信號處理系統。

背景技術

感應加熱時感應線圈對外部有很強輻射，一定距離內的電氣信號和人都會受到影響，加熱功率越大影響就越明顯。

電氣信號（特備是弱的電壓信號）在磁場中會受到干擾，大尺寸石英管爐線圈設計裸露在外（一般爐體設計將線圈包在爐體腔內），這樣在加熱時中頻線圈對周圍信號產生很強的干擾，目前小尺寸石英管爐線圈由于尺寸/生長功率都小，所以屏蔽線接好后基本滿足生產需要；

現有技術的缺點可以是成本高，效率底，耗時間等類似問題。

目前大尺寸石英管爐線圈由于尺寸/生長功率都增大，屏蔽線上產生的干擾在增強，對壓力檢測/速度檢測/真空度檢測等等信號都有明顯的影響；信號抖動后影響整體的電氣控制性能，所以干擾的處理是制約大尺寸石英管爐生長高品質的碳化硅晶體的重因素之一。

實用新型內容

本實用新型所要解決的技術問題是，針對現有技術成本高，效率底，耗時間等問題，提供一種大尺寸石英管爐的電氣信號處理系統。

本實用新型解決上述技術問題的技術方案如下：一種大尺寸石英管爐的電氣信號處理系統,包括與外接電源相連接的開關電源、傳感器、控制器、濾波器、濾除干擾模塊和扼流圈；

所述開關電源一端與外接電源相連接，另一端與傳感器相連接；

所述傳感器一端與開關電源相連接，另一端與外部采樣端相連接；

所述濾波器設置在外接電源與開關電源之間；

所述濾波器連接開關電源的一端還并聯有控制器；

所述控制器一端與濾波器相連接，另一端與外部交流信號相連接；

所述控制器與外部交流信號之間設有濾除干擾模塊；

所述傳感器與外部采樣端之間設有扼流圈，所述扼流圈用于減弱共模干擾信號。

本實用新型的有益效果是：采用本實用新型電氣信號所受的干擾明顯減小，控制精度提高；整柜鋁板屏蔽，減小高頻電磁場對操作人員的輻射；應用多種抗干擾和屏蔽技術，使電氣信號所受的干擾減小，控制精度提升；加封閉的鋁板柜殼后減少電磁波對操作人員的輻射影響；并且解決了一般工控柜體只重點處理差模信號，不處理共模信號的問題。

在上述技術方案的基礎上，本實用新型還可以做如下改進。

進一步，所述開關電源與傳感器之間還設有磁柱。

進一步，所述磁柱的數量為1至5環。

采用上述進一步方案的有益效果是，根據現場干擾情況確定需要加幾環磁柱進行處理電源。

進一步，所述扼流圈與外部采用端之間還設有小容量的電解電容。

采用上述進一步方案的有益效果是，所述小容量的電解電容耐壓35V/50V濾除差模信號。

進一步，所述濾波器與控制器之間還設有1至5環的磁柱。

采用上述進一步方案的有益效果是，根據現場干擾情況確定需要加幾環磁柱進行處理電源。

進一步，所述濾波器采用帶接地的濾波器。

進一步，所述濾除干擾模塊采用高壓瓷片電容。

進一步，所述開關電源、傳感器、控制器、濾除干擾模塊、扼流圈、磁柱和小容量的電解電容設于一個密封的柜體內。

進一步，所述柜體采用鋁板制成，縫隙處加銅板或銅皮。

采用上述進一步方案的有益效果是，可以減小漏磁。

進一步，所述鋁板厚度為0.5mm至4mm。

附圖說明

圖1為本實用新型具體實施例1和2所述的一種大尺寸石英管爐的電氣信號處理系統結構示意圖。

附圖中，各標號所代表的部件列表如下：

1、開關電源，2、傳感器，3、控制器，4、濾波器，5、濾除干擾模塊，6、扼流圈，7、磁柱，8、電解電容。

具體實施方式

以下結合附圖對本實用新型的原理和特征進行描述，所舉實例只用于解釋本實用新型，并非用于限定本實用新型的范圍。

如圖1所示，為本實用新型具體實施例1和2所述的一種大尺寸石英管爐的電氣信號處理系統結構示意圖,包括與外接電源相連接的開關電源1、傳感器2、控制器3、濾波器4、濾除干擾模塊5和扼流圈6；

所述開關電源1一端與外接電源相連接，另一端與傳感器2相連接；

所述傳感器2一端與開關電源1相連接，另一端與外部采樣端相連接；

所述濾波器4設置在外接電源與開關電源1之間；

所述濾波器4連接開關電源1的一端還并聯有控制器3；

所述控制器3一端與濾波器4相連接，另一端與外部交流信號相連接；