[實(shí)用新型]一種硅片自動(dòng)插片機(jī)有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201320815268.1 | 申請(qǐng)日: | 2013-12-13 |
| 公開(公告)號(hào): | CN203774357U | 公開(公告)日: | 2014-08-13 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 王燕清;周昕 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 無(wú)錫先導(dǎo)自動(dòng)化設(shè)備股份有限公司 |
| 主分類號(hào): | H01L31/18 | 分類號(hào): | H01L31/18;H01L21/677 |
| 代理公司: | 暫無(wú)信息 | 代理人: | 暫無(wú)信息 |
| 地址: | 214028 江蘇省無(wú)錫*** | 國(guó)省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 硅片 自動(dòng) 插片機(jī) | ||
1.一種硅片自動(dòng)插片機(jī),包括料盒擺放臺(tái)(1)、升降平臺(tái)(2)、輸送機(jī)(3)、旋轉(zhuǎn)搬運(yùn)裝置(4)、機(jī)架(5)、頂塊裝置(6),其中,所述機(jī)架(7)上固設(shè)有料盒擺放臺(tái)(1),在料盒擺放臺(tái)(1)下方設(shè)置有將料盒擺放臺(tái)(1)上的硅片頂起的頂塊裝置(6),在機(jī)架(7)上固設(shè)有旋轉(zhuǎn)搬運(yùn)裝置(4),其特征在于:?
所述旋轉(zhuǎn)搬運(yùn)裝置(4)包括第一吸盤(4.2)、轉(zhuǎn)盤(4.5)、L支座(4.6)、第二連接塊(4.9)、第一旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)、第一移動(dòng)機(jī)構(gòu),其中,所述轉(zhuǎn)盤(4.5)上均布連接有四個(gè)第二連接塊(4.9),所述第二連接塊(4.9)上滑動(dòng)連接有L支座(4.6),所述L支座(4.6)下端面固定安裝有第一吸盤(4.2),所述第一旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)能驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)盤(4.5)旋轉(zhuǎn)分度90°,所述第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)能實(shí)現(xiàn)所述第一吸盤(4.2)的升降運(yùn)動(dòng);?
所述旋轉(zhuǎn)搬運(yùn)裝置(4)的內(nèi)側(cè)和外側(cè)分別設(shè)置有輸送機(jī)(3);?
所述輸送機(jī)(3)的左側(cè)與右側(cè)分別設(shè)置有所述升降平臺(tái)(2),所述輸送機(jī)(3)包括第一移動(dòng)板(3.3)、第二移動(dòng)板(3.7)、第一移動(dòng)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、第二移動(dòng)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu),其中,所述第一移動(dòng)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)用于將第一移動(dòng)板(3.3)上的硅片傳送至左側(cè)的升降平臺(tái)(2)上,所述第二移動(dòng)機(jī)構(gòu)用于將第二移動(dòng)板(3.7)上的硅片傳送至右側(cè)的升降平臺(tái)(2)上。?
2.如權(quán)利要求1所述的一種硅片自動(dòng)插片機(jī),其特征在于:所述第一旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)包括第二電機(jī)(4.1)、安裝座(4.7)、減速機(jī)(4.8),?其中,所述安裝座(4.7)固定于機(jī)架(7)上,在所述安裝座(4.7)內(nèi)部固設(shè)有第二電機(jī)(4.1),所述第二電機(jī)(4.1)的輸出端固定連接有減速機(jī)(4.8),在所述減速機(jī)(4.8)輸出端固定連接有轉(zhuǎn)盤(4.5)。?
3.如權(quán)利要求1所述的一種硅片自動(dòng)插片機(jī),其特征在于:所述第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)包括第一滑塊(4.3)、第一氣缸(4.4)、L支座(4.6),其中,所述第二連接塊(4.9)上表面固定連接有第一氣缸(4.4),在所述第二連接塊(4.9)側(cè)面固定連接有第一滑塊(4.3),所述L支座(4.6)的側(cè)面固定有線軌,且所述線軌滑動(dòng)連接于第一滑塊(4.3),所述第一氣缸(4.4)的活塞桿固定連接于L支座(4.6)上端的連接板。?
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L31-00 對(duì)紅外輻射、光、較短波長(zhǎng)的電磁輻射,或微粒輻射敏感的,并且專門適用于把這樣的輻射能轉(zhuǎn)換為電能的,或者專門適用于通過這樣的輻射進(jìn)行電能控制的半導(dǎo)體器件;專門適用于制造或處理這些半導(dǎo)體器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半導(dǎo)體本體為特征的
H01L31-04 .用作轉(zhuǎn)換器件的
H01L31-08 .其中的輻射控制通過該器件的電流的,例如光敏電阻器
H01L31-12 .與如在一個(gè)共用襯底內(nèi)或其上形成的,一個(gè)或多個(gè)電光源,如場(chǎng)致發(fā)光光源在結(jié)構(gòu)上相連的,并與其電光源在電氣上或光學(xué)上相耦合的





