[實用新型]一種用于晶體生長爐冷卻水量調節的控制裝置

有效

• 申請號: 201320811769.2
• 申請日: 2013-12-10
• 公開（公告）號: CN203653758U
• 公開（公告）日: 2014-06-18
• 發明（設計）人: 楊敏;黃小衛;趙慧彬
• 申請（專利權）人: 福建鑫晶精密剛玉科技有限公司
• 主分類號: C30B29/20
• 分類號: C30B29/20;C30B35/00;F27D9/00;F27D19/00
• 代理公司: 廈門市首創君合專利事務所有限公司 35204
• 代理人: 楊依展

1.一種用于晶體生長爐冷卻水量調節的控制裝置，其特征在于，包括一個儲水體、流量監測設備與流量調節設備；所述儲水體內設儲水腔體，所述儲水體設一接通儲水腔體的總進水口和多個都接通儲水腔體的出水口，所述每一出水口都裝設有流量監測設備和流量調節設備；通過對晶體生長爐中的氧化鋁熔夜表面流速的觀測，控制流量監測設備和流量調節設備，以達到對各個出水口的冷卻水流量的精確調節。

2.根據權利要求1所述的一種用于晶體生長爐冷卻水量調節的控制裝置，其特征在于，所述儲水體為圓形盤體，總進水口位于圓盤上表面中心，各出水口設在圓盤的周向上，且各出水口到中心進水口的距離相同。

3.根據權利要求1所述的一種用于晶體生長爐冷卻水量調節的控制裝置，其特征在于，所述流量監測設備為電子流量器。

4.根據權利要求1所述的一種用于晶體生長爐冷卻水量調節的控制裝置，其特征在于，所述流量調節設備為水流量調節閥。