[實用新型]一種合金爐推舟動力傳動機構

有效

• 申請號: 201320811661.3
• 申請日: 2013-12-11
• 公開（公告）號: CN203728964U
• 公開（公告）日: 2014-07-23
• 發明（設計）人: 陳文兵
• 申請（專利權）人: 深圳市捷佳偉創新能源裝備股份有限公司
• 主分類號: C30B33/00
• 分類號: C30B33/00;F27D3/04
• 代理公司: 深圳市康弘知識產權代理有限公司 44247
• 代理人: 胡朝陽;孫潔敏

技術領域

本實用新型涉及半導體工藝設備，尤其是涉及一種合金爐推舟動力傳動機構。

背景技術

隨著科技的發展，半導體電子元件如發光二極管（即LED）等，被越來越多的運用到電器中，其中，LED合金爐是LED生產制造中最重要的設備，其主要作用是在高溫環境下對藍寶石基底的氮化鎵進行合金，氧化和退火處理等工藝。現有技術中的LED合金爐通常包括依次設置的氣源系統、爐體、凈化工作臺、推舟傳動機構和控制系統等。由于各設備廠家選擇的工藝路線不同，設計出不同的推舟傳動機構，不同的合金爐的設備有不同的推舟傳動機構。目前，國產合金爐設備涉及的推舟傳動機構存在以下不足和缺陷：1、設備在退舟時慢，工藝時間長。2、設備在斷電的情況下，舟是不能從反應爐體中退出來。

因此，如何設計一種在斷電情況下能快速退舟的合金爐推舟動力傳動機構是業界亟待解決的技術問題。

實用新型內容

本實用新型針對上述問題提供了一種合金爐推舟動力傳動機構，包括：推舟底板、設于所述推舟底板一側的從動帶輪與主動帶輪、套于所述帶輪上的皮帶、穿過所述推舟底板與所述從動帶輪連接的傳動軸、控制主動帶輪轉速的電機以及與所述電機連接的減速機，所述傳動軸活套于所述從動帶輪上，所述從動帶輪還與一離合器連接，所述離合器包括：一端面與從動帶輪固定連接且活套于所述傳動軸上的離合器彈片、設于所述離合器彈片另一端面且固定套于傳動軸上的離合器本體，所述離合器通電時，離合器本體吸合離合器彈片固定連接。

在本實用新型一實施例中，所述從動帶輪與傳動軸之間設有至少一個第一滾動軸承。

所述傳動軸上套接所述帶輪與離合器的兩端分別套有第二滾動軸承，所述第二滾動軸承固定于一軸承座內。

所述傳動軸上設有位于所述離合器本體外端面與一軸承座之間且與向外凸出的階梯形定位圈。

所述離合器本體與傳動軸采用鍵固定連接。

所述離合器彈片采用螺絲固定于所述從動帶輪的端面上。

與現有技術相比，本實用新型在推舟動力傳動機構中設置離合器，通過離合器的通電與斷電控制傳動軸與帶輪之間的連接關系，離合器通電時，離合器本體吸合離合器彈片，此時帶輪可帶動傳動軸轉動，進行電動退、進舟運動；離合器斷電時，離合器本體與離合器彈片分離，此時帶輪與傳動軸無運動傳遞關系，可通過手動拉動進舟平臺進行快速退、進舟運動。本實用新型能解決工藝時電動退舟慢、在斷電的情況下舟不能從爐體柜退出來的問題，使用離合器讓傳動結構能與電機快速的實現分與合，大大減少工藝時間，提高生產效率。

附圖說明

下面結合實施例和附圖對本實用新型進行詳細說明，其中：

圖1為本實用新型連接示意圖

圖2為本實用新型離合器連接剖視圖；

圖3為本實用新型推舟機構連接示意圖。

具體實施方式

如圖1、2所示，本實用新型提出的合金爐推舟動力傳動機構包括：推舟底板1、設于推舟底板1一側的從動帶輪2與主動帶輪3、套于帶輪上的皮帶4、穿過推舟底板1與從動帶輪2連接的傳動軸5、控制主動帶輪3轉速的電機6以及與電機連接的減速機7，傳動軸5活套于從動帶輪2上，從動帶輪2還與一離合器連接，離合器包括：一端面與從動帶輪2固定連接且活套于傳動軸5上的離合器彈片8、設于離合器彈片8另一端面且固定套于傳動軸5上的離合器本體9。離合器彈片8采用螺絲固定于從動帶輪2的端面上。把離合器安裝在靠近負載的位置，以保證操作人員在手動快速退舟時最省力。

如圖3所示，推舟底板1上安裝有導軌21，推舟底板1兩端正面安裝有皮帶輪傳動機構22，動力傳動機構設于推舟底板1一端后側，傳動軸5穿過此端傳動機構22的皮帶輪，轉動傳動軸5即可帶動皮帶輪轉動，從而達到由動力傳動機構控制傳動機構22運行的目的。進舟平臺13后側設有與導軌21配合的滑槽30，由傳動機構22的拉動下沿導軌21進行移動，實現進退舟的過程。

離合器通電時，離合器本體9吸合離合器彈片8固定連接，此時電機6可通過從動帶輪2控制離合器轉動，由離合器帶動傳動軸5轉動，再通過傳動軸5的轉動帶動傳動機構22運動，從而拉動進舟平臺13進行電動退、進舟運動；離合器斷電時，離合器本體9與離合器彈片8分離，此時從動帶輪2與傳動軸5無運動傳遞關系，可通過手動拉動進舟平臺13沿導軌21進行快速退、進舟運動。本實用新型較優適用于快速退舟運動，能解決工藝時電動退舟慢、在斷電的情況下舟不能從爐體柜退出來的問題，使用離合器讓傳動結構能與電機快速的實現分與合，大大減少工藝時間。