[實用新型]一種電子束低溫發熱測量系統有效
| 申請號： | 201320811554.0 | 申請日： | 2013-12-10 |
| 公開（公告）號： | CN203720119U | 公開（公告）日： | 2014-07-16 |
| 發明（設計）人： | 崔劍;許皆平;張正臣;李明;徐俊杰;郁靜芳;樊勇;季現凱;江勇 | 申請（專利權）人： | 中國科學院上海應用物理研究所 |
| 主分類號： | G01N25/20 | 分類號： | G01N25/20;G01K17/00;G01K7/22 |
| 代理公司： | 上海智信專利代理有限公司 31002 | 代理人： | 鄧琪 |
| 地址： | 201800 上*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 電子束 低溫 發熱 測量 系統 | ||
1.一種電子束低溫發熱測量系統，用于測量電子束在真空、低溫環境下的發熱量，其特征在于，該系統包括：
真空室；
位于所述真空室內以供所述電子束穿過的冷屏；
位于所述冷屏內并用于接收所述電子束的發熱量的金屬板；
若干設置在所述金屬板上的低溫傳感器；
位于所述真空室外并與所述低溫傳感器連接的溫度檢測儀；
用于保持所述真空室內的真空環境的真空泵；以及
用于保持所述真空室內的低溫環境的制冷機。
2.根據權利要求1所述的電子束低溫發熱測量系統，其特征在于，所述制冷機包括連接至所述冷屏的一級冷頭以及連接至所述金屬板的二級冷頭。
3.根據權利要求2所述的電子束低溫發熱測量系統，其特征在于，所述一級冷頭法蘭連接至所述冷屏。
4.根據權利要求1所述的電子束低溫發熱測量系統，其特征在于，所述冷屏固定安裝在所述真空室的內壁上。
5.根據權利要求1所述的電子束低溫發熱測量系統，其特征在于，該系統包括至少兩個所述金屬板，且所述至少兩個金屬板沿所述電子束平行設置。
6.根據權利要求1-5中任何一項所述的電子束低溫發熱測量系統，其特征在于，所述金屬板為銅板。
7.根據權利要求1-5中任何一項所述的電子束低溫發熱測量系統，其特征在于，所述真空泵法蘭連接至所述真空室。
8.根據權利要求1-5中任何一項所述的電子束低溫發熱測量系統，其特征在于，所述制冷機法蘭連接至所述真空室。
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