[實用新型]一種藍寶石晶體定向檢測旋轉平臺有效
申請號: | 201320811036.9 | 申請日: | 2013-12-10 |
公開(公告)號: | CN203659815U | 公開(公告)日: | 2014-06-18 |
發明(設計)人: | 柳祝平;周琪;劉廣月;許蔚 | 申請(專利權)人: | 福建鑫晶精密剛玉科技有限公司 |
主分類號: | H01L21/66 | 分類號: | H01L21/66 |
代理公司: | 廈門市首創君合專利事務所有限公司 35204 | 代理人: | 楊依展 |
地址: | 364000 福建省龍巖市*** | 國省代碼: | 福建;35 |
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摘要: | |||
搜索關鍵詞: | 一種 藍寶石 晶體 定向 檢測 旋轉 平臺 | ||
【權利要求書】:
1.一種藍寶石晶體定向檢測旋轉平臺,其特征在于,包括平臺上金屬板、平臺下金屬板、轉動部件及機構主體;轉動部件固定于兩塊平臺金屬板之間,平臺下金屬板固定于機構主體上;所述轉動部件由上金屬盤與下金屬盤組成,所述上金屬盤與下金屬盤在同一位置分別設有一半徑相同的圓形軌道,所述軌道上安放有一圈大小相同的滾珠。
2.根據權利要求1所述的藍寶石晶體定向檢測旋轉平臺,其特征在于,所述金屬盤四角設有螺絲孔分別用于與平臺上金屬板和平臺下金屬板的固定。
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H01 基本電氣元件
H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造
H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造