[實用新型]雙磁場復推型真空電弧蒸發源有效
| 申請號： | 201320808760.6 | 申請日： | 2013-12-11 |
| 公開（公告）號： | CN203613258U | 公開（公告）日： | 2014-05-28 |
| 發明（設計）人： | 陳大民;王洪權;候玉萍 | 申請（專利權）人： | 陳大民 |
| 主分類號： | C23C14/32 | 分類號： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 116600 遼寧省大連*** | 國省代碼： | 遼寧;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 磁場 復推型 真空 電弧 蒸發 | ||
【權利要求書】：
1.?一種雙磁場復推型真空電弧蒸發源，包括安裝基體（5）、陰極靶材（3）、壓板（16）、引弧裝置固定板（8）和壓蓋（9），其特征在于安裝基體（5）上纏有外磁場線圈（1）；在壓蓋（9）的中心裝有鐵芯（12），在鐵芯（12）上纏有內磁場線圈（或永磁體）（4）；在引弧裝置固定板（8）的上部裝有引弧裝置（2）。
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