[實用新型]一種真空旋涂設備

有效

• 申請號: 201320807187.7
• 申請日: 2013-12-11
• 公開（公告）號: CN203700199U
• 公開（公告）日: 2014-07-09
• 發明（設計）人: 郭衛軍
• 申請（專利權）人: 湖北優泰顯示技術有限公司
• 主分類號: C03C17/23
• 分類號: C03C17/23
• 代理公司: 北京鼎佳達知識產權代理事務所(普通合伙) 11348
• 代理人: 王偉鋒;劉鐵生

技術領域

本實用新型涉及ITO鍍膜技術領域，尤其涉及一種真空旋涂設備。

背景技術

氧化銦錫（ITO）是一種N型半導體，常溫下具有良好的導電性能，對可見光有很好的透過率，是生產液晶屏及觸摸屏的關鍵材料之一。液晶顯示器之所以能顯示特定的圖形，就是利用導電玻璃上的透明導電膜，經蝕刻制成特定外形的電極，上下導電玻璃制成液晶盒后，在這些電極上加適當電壓信號，使具有偶極矩的液晶分子在電場作用下特定的方面排列，僅而顯示出與電極波長相對應的圖形。隨著液晶屏及觸摸屏技術的高速發展，如何使得ITO膜的膜厚更均勻，產品穿透率和阻抗特性更理想，成為函待解決的問題。

發明內容

本實用新型的目的在于針對現有技術的不足而提供一種真空旋涂設備，使得ITO膜的膜厚更均勻，產品穿透率和阻抗特性更理想。

為實現上述目的，本實用新型采用以下技術方案來實現。

一種真空旋涂設備，它包括真空室，真空室內設置有旋轉臺，旋轉臺上設置有玻璃夾具；所述真空室的右側依次設置有一級干燥室和二級干燥室。

進一步的，它還包括穿透率檢驗室，透率檢驗室設置于二級干燥室的右側。

進一步的，它還包括阻抗特性檢驗室，阻抗特性檢驗室設置于透率檢驗室的右側。

本實用新型的有益效果為：本實用新型所述一種真空旋涂設備，使得ITO膜的膜厚更均勻，產品穿透率和阻抗特性更理想。

附圖說明

圖1為本實用新型的原理框圖。

具體實施方式

下面結合附圖和實施例對本實用新型作進一步的說明。

如圖1所示，本實用新型所述一種真空旋涂設備，它包括真空室1，真空室1內設置有旋轉臺10，旋轉臺10上設置有玻璃夾具11；所述真空室1的右側依次設置有一級干燥室2和二級干燥室3。進一步的，它還包括穿透率檢驗室4，透率檢驗室設置于二級干燥室3的右側。進一步的，它還包括阻抗特性檢驗室5，阻抗特性檢驗室5設置于透率檢驗室的右側。工作時，將玻璃基片固定放置于真空旋涂設備的旋轉臺10上進行旋轉，旋轉臺10位于真空旋涂設備的真空室1內，旋轉臺10轉速為200rpm/min，旋轉時間為80s，在玻璃基片的表面形成一層均勻的ITO凝膠；然后將玻璃基片放置于真空旋涂設備的一級干燥室2中，在85°C溫度下干燥10~15分鐘；然后再將玻璃基片放置于真空旋涂設備的二級干燥室3中，在150°C溫度下熱處理10~15分鐘，使得多層ITO凝膠形成ITO膜；最后檢查并記錄產品的穿透率和阻抗特性，并判斷產品是否為良品。該真空旋涂設備可自動完成旋涂、干燥、穿透率檢驗和阻抗特性檢驗，大大提高了生產效率，同時采用真空環境下進行旋涂，在沒有風阻和壓力差的影響下，能在玻璃基片的表面形成更為均勻的ITO凝膠，使得ITO膜的膜厚更均勻，有利于提高ITO膜導電玻璃的性能，產品穿透率和阻抗特性更理想。

所述一種真空旋涂設備，其應用于ITO膜導電玻璃生產方法時，包括如下步驟：

第一步，將大片玻璃切割成玻璃基片；

第二步，對玻璃基片進行磨邊和倒角，并清除所產生的微粒；

第三步，對玻璃基片的表面進行研磨拋光處理；

第四步，以高精密洗凈法完全洗凈玻璃基片；

第五步，配置ITO膜凝膠：將一定量的銦溶解在濃酸鹽中得到InCl₃溶液，取出一定量的InCl₃溶液，與乙酰丙酮按1:2—1:3的摩爾比混合攪拌得到透明溶液；再按透明溶液與乙二醇甲醚的質量比為80:5的比例加入乙二醇甲醚，在室溫下攪拌，得到In溶膠；按In：Sn質量比為25:2的比例加入SnCl₄·5H₂O，攪拌20min得到In-Sn溶膠，然后按In-Sn溶膠與聚乙二醇的質量比為80:20的比例加入聚乙二醇，靜置40min得到ITO膜膠液；

第六步，將ITO膜膠液涂于玻璃基片的中心處；

第七步，將玻璃基片固定放置于真空旋涂設備的旋轉臺10上進行旋轉，旋轉臺10位于真空旋涂設備的真空室1內，旋轉臺10轉速為200rpm/min，旋轉時間為80s，在玻璃基片的表面形成一層均勻的ITO凝膠；

第八步，根據ITO膜的厚度要求，重復第六步和第七步，形成多層ITO凝膠，以滿足ITO膜的厚度要求；

第九步，將玻璃基片放置于真空旋涂設備的一級干燥室2中，在85°C溫度下干燥10~15分鐘；