[實用新型]藍寶石單晶爐的水冷電極

有效

• 申請號: 201320806165.9
• 申請日: 2013-12-10
• 公開（公告）號: CN203904504U
• 公開（公告）日: 2014-10-29
• 發明（設計）人: 李輝;姜宏偉;張洪濤;張小潞;吳春生
• 申請（專利權）人: 南京晶升能源設備有限公司
• 主分類號: C30B29/20
• 分類號: C30B29/20
• 代理公司: 江蘇圣典律師事務所 32237
• 代理人: 孫忠浩

技術領域

本實用新型涉及一種工業爐用的水冷電極，尤其是一種用于藍寶石單晶爐的水冷電極。

背景技術

隨著全球新能源市場的迅速發展，LED產業逐漸成為能源工業新的增長點，已經具備了趕超其他節能產業的能力，在世界范圍內呈現迅猛發展之勢。

藍寶石單晶爐是LED產業鏈中重要的晶體生長設備。由于藍寶石單晶體必須在高溫（約2050℃）與高真空的條件下（10E-5Pa）緩慢生長而成，因此與加熱器相連接的水冷電極,其真空密封性、導電性和耐熱性等極為重要。目前，藍寶石爐所使用的水冷電極大多結構復雜，尺寸較大，會破壞爐內熱場的均勻性。同時，水冷電極密封性能不好，常在接觸面出現真空泄漏。

目前，在藍寶石單晶爐中，將水冷電極設計成尺寸較小的分段裝配式結構；采用金屬鉬作為電極鎖緊塊，以增強導電性和耐熱性；采用聚四氟乙烯墊片實現絕緣，并以聚四氟乙烯墊片的端面作為O型密封圈的定位槽，用以實現真空密封和絕緣的設計思路未見諸報道。

發明內容

本實用新型的目的在于：針對現有藍寶石長晶爐的水冷電極尺寸大、結構復雜、影響爐內熱場的均勻性、密封性能不好等問題，提供一種新型可靠的用于藍寶石單晶爐的水冷電極。

????本實用新型的目的是這樣實現的：一種用于藍寶石單晶爐的水冷電極，包括電極主體，其特征在于：電極主體一端設有水冷沉孔，水冷沉孔的孔口設有內螺紋，電極主體上還設有匹配的循環水接頭，所述的循環水接頭包括本體、內水管和外水道以及分別與內水管和外水道溝通的兩個水管接口，其中，外水道位于內水管外壁與本體內壁之間，內水管插入電極主體的水冷沉孔，本體通過外螺紋與水冷沉孔密封連接；電極主體的另一端設有V型鎖緊槽，V型鎖緊槽配有電極鎖緊塊，電極鎖緊塊的斜壁緊貼V型鎖緊槽一側壁，電極鎖緊塊上設有螺栓槽，螺栓置于螺栓槽中后，在螺栓和螺母驅動下，電極鎖緊塊由V型鎖緊槽的沿口向槽底滑行；

電極主體通過四個均勻分布的固定螺栓與藍寶石單晶爐體連接，電極主體與藍寶石單晶爐體結合面上配有絕緣墊片和O型密封圈，該絕緣墊片端面外緣作為O型密封圈的支撐點，固定螺栓與電極主體之間也配有絕緣墊片；電極主體水冷沉孔的孔口與循環水接頭本體對接的結合部配有密封圈；

電極主體的V型鎖緊槽用于裝配加熱器的電極爪，加熱器的電極爪通過電極鎖緊塊鎖緊。

????在本實用新型中，所述的絕緣墊片為聚四氟乙烯墊片，電極主體采用T2紫銅制作，循環水接頭采用H62黃銅制作，電極鎖緊塊以及驅動電極鎖緊塊的螺栓和螺母均采用金屬鉬制作；水冷沉孔的孔口設有Rc?1/2內螺紋，兩個水管接口中均設有Rc3/8內螺紋。

在本實用新型中，電極主體的端面外緣還設有4個均布的與外部水冷電纜對接的螺紋孔。

本實用新型的優點在于：由于水冷電極設計成尺寸較小，且與循環水接頭采用分段裝配結構，有助于提高熱場的保溫性能；由于采用金屬鉬作為電極鎖緊塊，增強了水冷電極的導電性和耐熱性；電極主體通過四個均勻分布的固定螺栓與藍寶石單晶爐體連接，同時采用聚四氟乙烯墊片實現絕緣，并以聚四氟乙烯墊片的端面作為O型密封圈的定位槽，同時解決了電極主體與藍寶石單晶爐體連接的密封與絕緣，結構簡單、可靠。

附圖說明

圖1是本實用新型涉及的水冷電極的一種實施例結構示意圖；

圖2是水冷電極槽部位的裝配示意圖；

圖3是圖1中的A向試圖。

圖中：1、藍寶石單晶爐體，2、電極主體，3、內水管，4、循環水接頭，5、電極鎖緊塊，6、絕緣墊片，7、絕緣墊片，8、絕緣墊片，9、O型密封圈，10、螺母，11、螺栓，12、水冷沉孔，13、外水道，14、水管接口，15、V型鎖緊槽，16、電極鎖緊塊，17、固定螺栓，18、密封圈，19、螺紋孔。

具體實施方式

附圖非限制性地公開了本實用新型涉及的一種具體實施例的結構，下面結合附圖對本實用新型的作進一步地描述。