[實用新型]一種高性能濺射靶材組件的結構有效
| 申請號： | 201320805376.0 | 申請日： | 2013-12-09 |
| 公開（公告）號： | CN203700498U | 公開（公告）日： | 2014-07-09 |
| 發明（設計）人： | 何金江;劉書芹;周辰;萬小勇;陳明;熊曉東;王興權 | 申請（專利權）人： | 有研億金新材料股份有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/35 | 分類號： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京眾合誠成知識產權代理有限公司 11246 | 代理人： | 薄觀玖 |
| 地址： | 102200*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 性能 濺射 組件 結構 | ||
【權利要求書】：
1.一種高性能濺射靶材組件的結構，其特征在于：背板（4）其中1個表面上設置有環形凹槽（41），環形凹槽（41）的圓心部分是設置在背板（4）上的中心凸臺（42），在靶坯（3）的對應表面設置相應的環形凸臺（31）和心部凹槽（32），靶坯（3）與背板（4）通過焊接復合成組件。
2.根據權利要求1所述的高性能濺射靶材組件的結構，其特征在于：所述靶坯（3）背面和背板（4）表面的凸臺和凹槽分別相互配合，對于組件的焊接結合部位，環形凸臺（31）嵌入環形凹槽（41）中的厚度H1和凸臺（42）嵌入心部凹槽（32）中的厚度H2值均在0.5mm～10mm之間。
3.根據權利要求書1所述的高性能濺射靶材組件的結構，其特征在于：所述背板（4）中心加工出的中心凸臺（42）的高度大于靶坯（3）中心加工出的心部凹槽（32）深度，差值為0.1mm～1mm。
4.根據權利要求書1所述的高性能濺射靶材組件的結構，其特征在于：所述靶坯（3）的濺射面為平面或具有凹槽結構。
5.根據權利要求書4所述的高性能濺射靶材組件的結構，其特征在于：所述靶坯（3）濺射面具有凹槽結構時，其凹槽深度為0.5mm～5mm。
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