[實用新型]一種有蠟拋光的拋光墊專用刷子

有效

• 申請號: 201320803485.9
• 申請日: 2013-12-05
• 公開（公告）號: CN203765483U
• 公開（公告）日: 2014-08-13
• 發明（設計）人: 張宇;王力;石明;曲濤;李翔
• 申請（專利權）人: 天津中環領先材料技術有限公司
• 主分類號: B24D13/14
• 分類號: B24D13/14
• 代理公司: 天津濱海科緯知識產權代理有限公司 12211
• 代理人: 孫春玲

技術領域

本實用新型涉及一種刷子，尤其是涉及一種有蠟拋光的拋光墊專用刷子。

背景技術

硅片進行有蠟拋光后，需用用刷子對拋光墊進行刷洗，以防止拋光液在拋光墊上長時間滯留而形成結晶，而結晶會對硅片產生損傷，降低拋光質量。另外，對拋光墊進行刷洗有助于其表面結構的回復，延長了拋光墊的使用壽命，也保證了硅片拋光效果的一致性?，F有的刷子是設備自帶的一小型刷子，每次拋光完成后會自動對拋光墊進行刷洗，但其不能徹底清除拋光墊表面空隙中殘余的拋光液和細微的結晶，不利于拋光墊表面結構的回復。另外，由于自帶刷子尺寸較小，刷洗過程中使得拋光墊受力不均，這會對拋光墊的表面狀態產生一定影響。

實用新型內容

本實用新型的目的是提供一種結構簡單、提高拋光質量的有蠟拋光的拋光墊專用刷子。

本實用新型的技術方案是：一種有蠟拋光的拋光墊專用刷子，包括圓盤狀的刷體，所述刷體的頂面帶有若干凸起或凹陷，所述刷體的底面分布有刷毛，所述刷毛呈環形分布。

優選地，所述刷體的材質為聚氯乙烯，所述刷毛的材質為尼龍。

優選地，所述刷體的直徑為48cm，厚度為3cm，所述刷毛的長度為1.5cm。

本實用新型具有的優點和積極效果是：

由于采用上述技術方案，保持了拋光墊的潔凈，保持了拋光速率和拋光質量，也提高了拋光墊的使用壽命。由此可見，本方案的使用提高了產品的合格率和生產效率，同時減低了能耗，節約了成本，提高了效益。

附圖說明

圖1是本實用新型的結構示意圖；

圖2是本實用新型的仰視圖；

圖3是本實用新型的俯視圖。

具體實施方式

下面結合附圖及具體實施方式對本實用新型作進一步說明。

如圖1至圖3所示，本實用新型包括圓盤狀的刷體1，所述刷體1的頂面帶有若干凹陷，所述刷體1的底面分布有刷毛2，所述刷毛2呈環形分布。

所述刷體1的材質為聚氯乙烯，所述刷毛2的材質為尼龍。

所述刷體1的直徑為48cm，厚度為3cm，所述刷毛2的長度為1.5cm。

使用時，將本實用新型放置在待清潔的拋光墊上，將機械臂與本實用新型的頂面相連接（可以通過吸附的方式連接），帶動本實用新型以一定的運動軌跡運動，對旋轉的拋光墊進行清洗。本實用新型對拋光墊上的拋光液和結晶清潔得更為徹底，而且有助于拋光墊表面絨孔結構的回復，有助于延長拋光墊的使用壽命和拋光質量的提高。

實驗一：選擇200片相同的6寸硅片進行試驗，晶向<111>，拉晶方式：FZ，摻雜元素：P，厚度：630---632μm。下表為使用本實用新型前后檢測項的數值。

實驗二：選擇200片相同的5寸硅片進行實驗，晶向<100>，拉晶方式：CZ，摻雜元素：B，厚度：525---530μm。下表為使用本實用新型前后檢測項的數值。

由表中數據可以看出，拋光速率的提高增加了效率，降低了單位時間的能耗，而霧值、顆粒值和劃道片數的降低則提高了產品的合格率，這些都有助于成本的降低。

以上實施例對本實用新型進行了詳細說明，但所述內容僅為本實用新型的較佳實施例，不能被認為用于限定本實用新型的實施范圍。凡依本實用新型申請范圍所作的均等變化與改進等，均應仍歸屬于本實用新型的專利涵蓋范圍之內。