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[實用新型]一種質譜儀真空系統分子泵與離子腔的裝卸結構有效

專利信息
申請號: 201320802621.2 申請日: 2013-12-08
公開(公告)號: CN203607366U 公開(公告)日: 2014-05-21
發明(設計)人: 王華;董小魯;許生蛟;王世立;戴嘉佳 申請(專利權)人: 上海舜宇恒平科學儀器有限公司
主分類號: H01J49/02 分類號: H01J49/02;H01J49/26
代理公司: 上海伯瑞杰知識產權代理有限公司 31227 代理人: 王一琦
地址: 201103 上海市*** 國省代碼: 上海;31
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摘要:
搜索關鍵詞: 一種 質譜儀 真空 系統 分子 離子 裝卸 結構
【權利要求書】:

1.一種質譜儀真空系統分子泵與離子腔的裝卸結構,包括離子腔(1)、分子泵(6),其特征在于:

還包括抱箍(8),所述抱箍(8)包括一對半圓形的卡箍,一對卡箍的一端轉動連接,另一端通過鎖緊螺母(2)鎖緊/松開;

所述離子腔(1)與分子泵(6)均設有接口端面;

所述抱箍(8)的橫截面呈匚字形,并將離子腔(1)及分子泵(6)的接口端面夾緊。

2.如權利要求1所述的質譜儀真空系統分子泵與離子腔的裝卸結構,其特征在于:所述離子腔(1)與分子泵(6)之間還設有O型密封圈。

3.如權利要求1所述的質譜儀真空系統分子泵與離子腔的裝卸結構,其特征在于:所述接口端面與抱箍(8)的夾緊面之間還設有內襯。

4.如權利要求3所述的質譜儀真空系統分子泵與離子腔的裝卸結構,其特征在于:所述內襯(7)采用橡膠材質。

5.如權利要求1所述的質譜儀真空系統分子泵與離子腔的裝卸結構,其特征在于:所述一對半圓形的卡箍分別與連桿(8a)鉸接。

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