[實用新型]一種質譜儀真空系統分子泵與離子腔的裝卸結構有效
| 申請號: | 201320802621.2 | 申請日: | 2013-12-08 |
| 公開(公告)號: | CN203607366U | 公開(公告)日: | 2014-05-21 |
| 發明(設計)人: | 王華;董小魯;許生蛟;王世立;戴嘉佳 | 申請(專利權)人: | 上海舜宇恒平科學儀器有限公司 |
| 主分類號: | H01J49/02 | 分類號: | H01J49/02;H01J49/26 |
| 代理公司: | 上海伯瑞杰知識產權代理有限公司 31227 | 代理人: | 王一琦 |
| 地址: | 201103 上海市*** | 國省代碼: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 質譜儀 真空 系統 分子 離子 裝卸 結構 | ||
1.一種質譜儀真空系統分子泵與離子腔的裝卸結構,包括離子腔(1)、分子泵(6),其特征在于:
還包括抱箍(8),所述抱箍(8)包括一對半圓形的卡箍,一對卡箍的一端轉動連接,另一端通過鎖緊螺母(2)鎖緊/松開;
所述離子腔(1)與分子泵(6)均設有接口端面;
所述抱箍(8)的橫截面呈匚字形,并將離子腔(1)及分子泵(6)的接口端面夾緊。
2.如權利要求1所述的質譜儀真空系統分子泵與離子腔的裝卸結構,其特征在于:所述離子腔(1)與分子泵(6)之間還設有O型密封圈。
3.如權利要求1所述的質譜儀真空系統分子泵與離子腔的裝卸結構,其特征在于:所述接口端面與抱箍(8)的夾緊面之間還設有內襯。
4.如權利要求3所述的質譜儀真空系統分子泵與離子腔的裝卸結構,其特征在于:所述內襯(7)采用橡膠材質。
5.如權利要求1所述的質譜儀真空系統分子泵與離子腔的裝卸結構,其特征在于:所述一對半圓形的卡箍分別與連桿(8a)鉸接。
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