[實用新型]適用于石英玻璃管、石英玻璃棒的臥式真空立裝脫羥爐

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201320801100.5
• 申請日: 2013-12-09
• 公開（公告）號: CN203715486U
• 公開（公告）日: 2014-07-16
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 陳士斌;周明強(qiáng);寧井班;劉明偉;徐同根
• 申請（專利權(quán)）人: 江蘇太平洋石英股份有限公司
• 主分類號: C03B20/00
• 分類號: C03B20/00
• 代理公司: 北京匯澤知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11228
• 代理人: 毛廣杰

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型專利涉及一種真空立裝脫羥爐，具體涉及一種適用于石英玻璃管、石英玻璃棒的臥式真空立裝脫羥爐。一種新型石英玻璃管、棒臥式真空立裝脫羥爐，主要是一種在真空狀態(tài)下采用新設(shè)計的爐型和裝料方式，能夠更好地解決傳統(tǒng)方式對石英管棒質(zhì)量的影響。

背景技術(shù)

目前生產(chǎn)石英玻璃管及石英玻璃棒的立式脫羥爐普遍存在溫差大、溫度不均勻以及裝配進(jìn)出爐操作難度太大等缺點，并且，針對現(xiàn)有的立式脫羥爐只能采用的傳統(tǒng)裝料方式，然而傳統(tǒng)裝料方式普遍存在管棒及工裝的自重產(chǎn)生的重力、應(yīng)力對產(chǎn)品質(zhì)量產(chǎn)生影響等缺點。采用現(xiàn)有的立式脫羥爐生產(chǎn)時，不僅存在生產(chǎn)產(chǎn)量低的問題，最重要的還存在生產(chǎn)成本高，且生產(chǎn)出來的石英玻璃管、石英玻璃棒產(chǎn)品存在缺陷較多的問題，因此設(shè)計開發(fā)一種能夠解決生產(chǎn)成本較高的問題，同時還能使生產(chǎn)產(chǎn)品質(zhì)量較高的立式脫羥爐，已成為生產(chǎn)半導(dǎo)體石英玻璃管、石英玻璃棒領(lǐng)域的技術(shù)難點，亟待技術(shù)人員開發(fā)設(shè)計。

實用新型內(nèi)容

本實用新型要解決的技術(shù)問題是提供一種適用于石英玻璃管、石英玻璃棒的臥式真空立裝脫羥爐，可以最大程度的利用空間，提高空間利用率，同時節(jié)約材料成本，提高產(chǎn)量，并且可以解決管材、棒材相互碰撞、粘黏的問題，提高生產(chǎn)產(chǎn)品的質(zhì)量。

本實用新型提供一種適用于石英玻璃管、石英玻璃棒的臥式真空立裝脫羥爐，包括能夠立式裝料的裝料裝置，且所述臥式真空立裝脫羥爐的爐殼形狀為方形，爐殼內(nèi)部具有方形的隔熱屏。

所述裝料裝置包括底盤，所述底盤的四個角落豎直設(shè)置有四個立柱，相鄰的兩個立柱之間通過橫梁連接，且相對的兩個橫梁之間設(shè)置有卡條。

所述橫梁包括上橫梁和下橫梁，所有上橫梁的設(shè)置高度均相等，所有下橫梁的設(shè)置高度也均相等。

所述卡條也對應(yīng)包括上卡條和下卡條，所述上卡條對應(yīng)設(shè)置于相對的兩個上橫梁之間，所述下卡條對應(yīng)設(shè)置于相對的兩個下橫梁之間。

所述上橫梁和下橫梁上設(shè)置有多個卡槽，所述上卡條和下卡條的兩端容設(shè)于卡槽中，在橫向和縱向方向上，所述裝料裝置通過多個上卡條和多個下卡條形成上下兩層的多個方形孔。

所述上卡條和下卡條在設(shè)置時使上下兩層形成的方形孔相對應(yīng)一致，所述石英玻璃管或石英玻璃棒從上至下設(shè)置于對應(yīng)的兩層方形孔中。

本實用新型具有的優(yōu)點在于：

本實用新型要解決的技術(shù)問題是提供一種適用于石英玻璃管、石英玻璃棒的臥式真空立裝脫羥爐，可以最大程度的利用空間，提高空間利用率，同時節(jié)約材料成本，提高產(chǎn)量，并且可以解決管材、棒材相互碰撞、粘黏的問題，提高生產(chǎn)產(chǎn)品的質(zhì)量。

附圖說明

圖1是現(xiàn)有技術(shù)中臥式脫羥爐的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是本實用新型提供的臥式真空立裝脫羥爐的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3是本實用新型提供的臥式真空立裝脫羥爐的裝料裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4是本實用新型提供的臥式真空立裝脫羥爐的裝料裝置中卡條的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中：1-爐殼；2-底盤；3-隔熱屏；4-卡條；5-橫梁；6-立柱。

具體實施方式

下面結(jié)合附圖和具體實施例對本實用新型作進(jìn)一步說明，以使本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以更好的理解本實用新型并能予以實施，但所舉實施例不作為對本實用新型的限定。

本實用新型提供一種適用于石英玻璃管、石英玻璃棒的臥式真空立裝脫羥爐，所述臥式真空立裝脫羥爐融合了現(xiàn)有技術(shù)中臥式脫羥爐和立式脫羥爐的優(yōu)點，將立式裝管結(jié)構(gòu)完美地在臥式脫羥爐中實現(xiàn)，克服了臥式脫羥爐不能立式裝管的缺陷。本實用新型將臥式脫羥爐的真空室按照工件的要求重新進(jìn)行設(shè)計，如圖1和圖2的對比所示，將現(xiàn)有臥式脫羥爐的爐殼1形狀由圓形設(shè)計為方形。由于裝料裝置一般為方形結(jié)構(gòu)，因此，當(dāng)方形的裝料裝置置于方形的爐殼1內(nèi)部時，可以最大程度的利用空間，減少臥式圓形脫羥室中無法利用到的無效空間，使空間利用率提高至極致，不僅節(jié)約材料成本，并且由于無效空間的減小，在生產(chǎn)過程中的抽氣、加熱、冷卻等環(huán)節(jié)的運行成本也在大幅度下降。同時由于爐殼設(shè)計為方形，而對應(yīng)的處于爐殼1內(nèi)部、裝料裝置外部的隔熱屏3對應(yīng)也設(shè)計為方形。

對應(yīng)圖1的現(xiàn)有臥式脫羥爐來講，其空間大且利用率低，而對應(yīng)本實用新型提供的臥式真空立裝脫羥爐來講，其空間利用率高。對于相同直徑的爐殼1，底盤2處于爐殼1內(nèi)，本實用新型提供的臥式真空立裝脫羥爐較傳統(tǒng)型的真空脫羥爐的空間利用率可提高1倍，幾乎沒有無效空間。