[實(shí)用新型]一種爐口密封裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201320801087.3
• 申請(qǐng)日: 2013-12-06
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN203672137U
• 公開(kāi)（公告）日: 2014-06-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 周厲穎;王麗榮;孫少東
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): F27D1/18
• 分類(lèi)號(hào): F27D1/18
• 代理公司: 北京路浩知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11002
• 代理人: 孟憲功

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種半導(dǎo)體立式熱處理設(shè)備，特別是涉及一種爐口區(qū)域密封裝置。

背景技術(shù)

在半導(dǎo)體立式熱處理設(shè)備中，主機(jī)箱的主要作用是在工藝前后進(jìn)行硅片的取放和存儲(chǔ)，這個(gè)過(guò)程要求在惰性氣體（如氮?dú)饣驓鍤猓┉h(huán)境中完成，因此保證微環(huán)境內(nèi)部環(huán)境的潔凈度及控制特定氣體濃度上限（如氧含量）至關(guān)重要。另外，在爐口區(qū)域處包含多路工藝氣體進(jìn)出管路，一旦有工藝氣體泄露，將直接進(jìn)入微環(huán)境中，破壞微環(huán)境的潔凈度，從而影響產(chǎn)品質(zhì)量。此外，在工藝過(guò)程結(jié)束、爐口打開(kāi)時(shí)，會(huì)有大量熱量向外溢出到微環(huán)境中，引起微環(huán)境內(nèi)部溫度上升，而微環(huán)境內(nèi)部分元器件材料有一定的耐溫溫度，一旦超出材料的耐溫溫度，將會(huì)導(dǎo)致材料變性、揮發(fā)或產(chǎn)生顆粒，從而影響產(chǎn)品質(zhì)量。因此，爐口密封裝置需要有很好的密封性才能有效控制微環(huán)境內(nèi)部特定氣體濃度（如氧含量），并實(shí)現(xiàn)爐口區(qū)域熱量及泄露氣體的排放。

由于爐口密封裝置所處的位置會(huì)影響工藝管的拆裝，在做設(shè)備維護(hù)時(shí)需經(jīng)常進(jìn)行拆卸，因此需要爐口密封裝置便于安裝和拆卸。常規(guī)的爐體密封裝置為了滿(mǎn)足密封性能的要求，往往安裝固定結(jié)構(gòu)做得較復(fù)雜，不便于安裝和拆卸，同時(shí)加工制作難度也較大，加工成本高，可維護(hù)性差。

實(shí)用新型內(nèi)容

（一）要解決的技術(shù)問(wèn)題

本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種便于安裝和拆卸的爐口密封裝置，可以滿(mǎn)足密封性能要求，避免在工藝過(guò)程中有外界氣體進(jìn)入微環(huán)境中，從而控制微環(huán)境中的潔凈度及特定氣體濃度上限（如氧含量），并實(shí)現(xiàn)爐口區(qū)域熱量及泄露氣體的排放。

（二）技術(shù)方案

為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型提供了一種爐口密封裝置，包括底板和依次連接的第一側(cè)板、第二側(cè)板和第三側(cè)板，所述第一側(cè)板、第二側(cè)板和第三側(cè)板的一邊與所述底板密封連接，另一邊與爐體的爐口密封連接，所述第一側(cè)板包括第一側(cè)邊，所述第三側(cè)板包括第二側(cè)邊，所述第一側(cè)邊和第二側(cè)邊分別通過(guò)連接塊與主機(jī)箱密封連接，所述底板與所述主機(jī)箱密封連接，在所述第一側(cè)板、第二側(cè)板和第三側(cè)板中的至少一個(gè)上設(shè)有通孔，所述底板上設(shè)有圓孔。

其中，所述第一側(cè)邊和第二側(cè)邊的一側(cè)均連接有第一密封墊擋條，另一側(cè)均連接有第二密封墊擋條，所述第一密封墊擋條與所述連接塊連接，所述第二密封墊擋條與所述主機(jī)箱密封連接。

其中，所述連接塊為幾字形，所述連接塊的兩翼分別設(shè)置有安裝孔，所述連接塊通過(guò)所述安裝孔分別與所述主機(jī)箱和第一密封墊擋條連接。

其中，所述底板為四邊形，其中的三個(gè)邊分別與所述第一側(cè)板、第二側(cè)板和第三側(cè)板密封連接，另一條邊與所述主機(jī)箱密封連接。

其中，所述第一側(cè)板、第二側(cè)板和第三側(cè)板通過(guò)第三密封墊擋條與所述底板密封連接。

其中，所述第三密封墊擋條上設(shè)有第二密封墊，所述第一側(cè)板、第二側(cè)板和第三側(cè)板的一邊向一側(cè)彎折，另一邊設(shè)有刀邊壓條，所述刀邊壓條通過(guò)所述第二密封墊與所述底板密封連接。

其中，所述圓孔連接有密封壓圈。

其中，所述圓孔的周?chē)O(shè)有螺柱，通過(guò)螺母和所述螺柱的配合將所述底板與所述密封壓圈連接，所述圓孔通過(guò)所述密封壓圈與工藝管的基底連接。

其中，所述通孔連接有排氣管道。

其中，所述排氣管道的一側(cè)連接第一法蘭，另一側(cè)連接第二法蘭，所述第一法蘭與所述通孔連接，所述第二法蘭與所述主機(jī)箱連接。

（三）有益效果

本實(shí)用新型的上述技術(shù)方案具有以下有益效果：本實(shí)用新型的爐口密封裝置包括底板和依次連接的第一側(cè)板、第二側(cè)板和第三側(cè)板，第一側(cè)板、第二側(cè)板和第三側(cè)板的一邊與底板密封連接，另一邊與爐體的爐口密封連接，第一側(cè)板包括第一側(cè)邊，第三側(cè)板包括第二側(cè)邊，第一側(cè)邊和第二側(cè)邊分別通過(guò)連接塊與主機(jī)箱密封連接，底板與主機(jī)箱密封連接，在第一側(cè)板、第二側(cè)板和第三側(cè)板中的至少一個(gè)上設(shè)有通孔，與排氣管道連接時(shí)，可以將出舟過(guò)程中的大量熱量通過(guò)排氣管道排出，底板上設(shè)有圓孔，與工藝管的基底可以密封連接，以確保該爐口密封裝置將微環(huán)境與外界環(huán)境直接密封隔離。本實(shí)用新型的爐口密封裝置可以滿(mǎn)足密封要求，有效避免在工藝過(guò)程中有外界氣體進(jìn)入微環(huán)境中，從而控制微環(huán)境中的潔凈度及特定氣體濃度上限（如氧含量），并實(shí)現(xiàn)爐口區(qū)域熱量及泄露氣體的排放，同時(shí)極大地簡(jiǎn)化了安裝固定結(jié)構(gòu)，便于進(jìn)行頻繁的安裝和拆卸，降低了加工制作難度及加工成本，具有較好的可維護(hù)性。

附圖說(shuō)明

圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例的爐口密封裝置的軸測(cè)視圖；

圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例的爐口密封裝置A處的局部放大視圖；