[實用新型]一種立式爐保溫桶旋轉(zhuǎn)定位裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201320800784.7
• 申請日: 2013-12-06
• 公開（公告）號: CN203672114U
• 公開（公告）日: 2014-06-25
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 宋辰龍;林偉華
• 申請（專利權(quán)）人: 北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司
• 主分類號: F27B1/10
• 分類號: F27B1/10
• 代理公司: 北京路浩知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11002
• 代理人: 孟憲功

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及熱處理設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種立式爐保溫桶旋轉(zhuǎn)定位裝置。

背景技術(shù)

硅片是一種重要的半導體材料，它的加工處理是一種非常精密的工藝，目前國際上普遍采用立式爐來為硅片進行熱處理工藝，為了提高保溫效果，在立式爐中需要用到保溫桶，在目前現(xiàn)有技術(shù)中所用的保溫桶與轉(zhuǎn)軸之間的連接方式為在轉(zhuǎn)軸上固定定位栓的結(jié)構(gòu)，由于在安裝過程中看不到定位點，非常不容易安裝，浪費大量的時間，且因為轉(zhuǎn)軸為金屬材質(zhì)，保溫桶為石英材質(zhì)，在安裝時轉(zhuǎn)軸容易對保溫桶造成損傷，保溫桶在經(jīng)過多次安裝以后，定位位置容易出現(xiàn)明顯的破損現(xiàn)象，從而造成定位不準確的問題，存在潛在的安全隱患。

實用新型內(nèi)容

（一）要解決的技術(shù)問題

本實用新型要解決的技術(shù)問題是提供了一種立式爐保溫桶旋轉(zhuǎn)定位裝置，使立式爐保溫桶能更加方便快捷的安裝在轉(zhuǎn)軸上，定位準確，操作簡單，有效減少安裝過程中的嘗試次數(shù)，使保溫桶不容易受到損傷，且易于更換。

（二）技術(shù)方案

為了解決上述技術(shù)問題，本實用新型提供了一種立式爐保溫桶旋轉(zhuǎn)定位裝置，包括保溫桶和轉(zhuǎn)軸，還包括插銷，所述保溫桶安裝在所述轉(zhuǎn)軸的外側(cè)，所述保溫桶上設(shè)有第一插孔，所述轉(zhuǎn)軸上設(shè)有第二插孔，所述第一插孔與所述第二插孔對應(yīng)設(shè)置，所述第一插孔通過所述插銷與所述第二插孔連接。

優(yōu)選地，所述插銷的截面為正方形。

優(yōu)選地，所述插銷為石英材料。

（三）有益效果

本實用新型的上述技術(shù)方案具有以下有益效果：本實用新型提供的立式爐保溫桶旋轉(zhuǎn)定位裝置，包括保溫桶、轉(zhuǎn)軸和插銷，所述保溫桶安裝在所述轉(zhuǎn)軸的外側(cè)，所述保溫桶上設(shè)有第一插孔，所述轉(zhuǎn)軸上設(shè)有第二插孔，所述第一插孔與所述第二插孔對應(yīng)設(shè)置，所述第一插孔通過所述插銷與所述第二插孔連接。可以通過轉(zhuǎn)動保溫桶，使第一插孔與第二插孔對應(yīng)，方便插銷能依次插入第一插孔和第二插孔，從而為保溫桶和轉(zhuǎn)軸定位。本實用新型的立式爐保溫桶旋轉(zhuǎn)定位裝置安裝方便快捷，定位準確，操作簡單，能有效減少安裝過程中的嘗試次數(shù)，使保溫桶不容易受到損傷，且插銷結(jié)構(gòu)簡單，易于更換。

附圖說明

圖1為本實用新型實施例的立式爐保溫桶旋轉(zhuǎn)定位裝置裝配截面的軸測視圖；

圖2為本實用新型實施例的立式爐保溫桶旋轉(zhuǎn)定位裝置裝配截面的俯視局部剖視圖。

其中，1：保溫桶；2：轉(zhuǎn)軸；3：插銷；41：第一插孔；42：第二插孔。

具體實施方式

下面結(jié)合附圖和實施例對本實用新型的實施方式作進一步詳細描述。以下實施例用于說明本實用新型，但不能用來限制本實用新型的范圍。

在本實用新型的描述中，除非另有說明，“多個”的含義是兩個或兩個以上；除非另有說明，“缺口狀”的含義為除截面平齊外的形狀。術(shù)語“上”、“下”、“左”、“右”、“內(nèi)”、“外”、“前端”、“后端”、“頭部”、“尾部”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，僅是為了便于描述本實用新型和簡化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對本實用新型的限制。此外，術(shù)語“第一”、“第二”、“第三”等僅用于描述目的，而不能理解為指示或暗示相對重要性。

在本實用新型的描述中，需要說明的是，除非另有明確的規(guī)定和限定，術(shù)語“相連”、“連接”應(yīng)做廣義理解，例如，可以是固定連接，也可以是可拆卸連接，或一體地連接；可以是機械連接，也可以是電連接；可以是直接相連，也可以通過中間媒介間接相連。對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以具體情況理解上述術(shù)語在本實用新型中的具體含義。

如圖1所示，本實施例所述的立式爐保溫桶旋轉(zhuǎn)定位裝置，包括保溫桶1、轉(zhuǎn)軸2和插銷3，轉(zhuǎn)軸2固定不動，保溫桶1安裝在轉(zhuǎn)軸2的外側(cè)，可以以轉(zhuǎn)軸2為中心旋轉(zhuǎn)，保溫桶1上設(shè)有第一插孔41，轉(zhuǎn)軸2上設(shè)有第二插孔42，第一插孔41與第二插孔42對應(yīng)設(shè)置，以保證插銷3可以依次插入第一插孔41和第二插孔42，第一插孔41通過插銷3與第二插孔42連接，可以通過轉(zhuǎn)動保溫桶1，使第一插孔41與第二插孔42對應(yīng)，方便插銷3能依次插入第一插孔41和第二插孔42，從而為保溫桶1和轉(zhuǎn)軸2定位，插銷3可以很好的阻止保溫桶1和轉(zhuǎn)軸2之間的相對運動。