[實用新型]一種靜電卡盤基本性能檢測裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201320800730.0
• 申請日: 2013-12-06
• 公開（公告）號: CN203657947U
• 公開（公告）日: 2014-06-18
• 發(fā)明（設計）人: 程嘉;王珂晟;王興闊;季林紅;朱曉瑩
• 申請（專利權）人: 清華大學
• 主分類號: G01L5/00
• 分類號: G01L5/00;H01L21/66
• 代理公司: 北京眾合誠成知識產(chǎn)權代理有限公司 11246
• 代理人: 陳波

1.一種靜電卡盤基本性能檢測裝置，其特征在于，所述裝置包括驅動裝置、傳動裝置、拉力傳感器、靜電卡盤、真空腔室、真空獲得裝置、溫度測量裝置和數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)；所述驅動裝置包括氣泵、氣缸和氣動控制轉置；所述氣動控制裝置包括壓力控制閥、流量控制閥和方向控制閥；

其中，所述氣泵置于真空腔室外，固定在實驗臺面上，氣泵的兩根氣管從真空腔室的側壁穿過，與氣缸上的對應接口相連；所述氣缸固定在真空腔室內(nèi)部的底座上；所述氣缸的活塞桿與拉力傳感器相聯(lián)；所述壓力控制閥、流量控制閥和方向控制閥安裝在氣泵和氣缸之間的管路上；

所述傳動裝置、拉力傳感器和靜電卡盤安裝于真空腔室內(nèi)；所述傳動裝置分別與所述拉力傳感器與晶圓相連接；所述靜電卡盤安裝在真空腔室底部；

所述真空獲得裝置位于真空腔室下方，通過法蘭盤與真空腔室底部的真空抽氣孔連接；所述真空獲得裝置包括機械泵和分子泵；

所述溫度測量裝置位于真空腔室外；所述溫度測量裝置包括紅外測溫儀及紅外測溫儀支架，紅外測溫儀固定在紅外測溫儀支架上，紅外測溫儀支架安裝于實驗臺上；

所述數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)通過通用快速接口分別與拉力傳感器和溫度測量裝置的電纜線連接。

2.根據(jù)權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述驅動裝置還包括密封塊和氣缸支架；所述氣泵的兩根氣管與真空腔室側壁之間通過密封塊實現(xiàn)靜密封；所述氣缸通過氣缸支架固定在真空腔室內(nèi)部的底座上。

3.根據(jù)權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述傳動裝置包括連接塊和粘結環(huán)；所述連接塊的外伸軸與拉力傳感器相聯(lián)，連接塊通過螺栓與粘結環(huán)連接固定；所述粘結環(huán)包括上粘結環(huán)和下粘結環(huán)兩部分，通過均勻涂膠的方式，分別與晶圓的上表面邊緣一段、側面一段和下表面邊緣一段粘結。

4.根據(jù)權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述真空腔室包括上蓋板、真空計、遠程等離子體輸入口、觀察窗、溫度采集窗口和線纜管路傳輸端口；其中，所述上蓋板與真空腔室體之間通過卡箍控制上蓋板開啟和關閉，上蓋板與真空腔室體之間通過密封圈實現(xiàn)靜密封；所述真空計安裝在真空腔室外部側壁；所述遠程等離子體輸入口位于上蓋板的中央；所述觀察窗位于真空腔室側壁；所述溫度采集窗口安裝于真空腔室側壁；所述線纜管路傳輸端口位于真空腔室底部。

5.根據(jù)權利要求4所述的裝置，其特征在于，所述密封圈采用O型密封圈。

6.根據(jù)權利要求4所述的裝置，其特征在于，所述拉力傳感器的數(shù)據(jù)傳輸線、靜電卡盤的電源線纜和靜電卡盤的背吹氣體管路從線纜管路傳輸端口引出。