[實用新型]基于氧化鋅納米結構的乙醇傳感器有效
| 申請號: | 201320796946.4 | 申請日: | 2013-12-06 |
| 公開(公告)號: | CN203772790U | 公開(公告)日: | 2014-08-13 |
| 發明(設計)人: | 葉柏盈 | 申請(專利權)人: | 納米新能源生命科技(唐山)有限責任公司 |
| 主分類號: | G01N27/12 | 分類號: | G01N27/12 |
| 代理公司: | 北京市浩天知識產權代理事務所 11276 | 代理人: | 劉云貴;李郁 |
| 地址: | 063000 河北省唐山市高*** | 國省代碼: | 河北;13 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 基于 氧化鋅 納米 結構 乙醇 傳感器 | ||
1.一種基于氧化鋅納米結構的乙醇傳感器,其特征在于,包括形成叉指電極的兩組電極,以及設置在叉指電極至少一側表面的氧化鋅納米膜;?
所述氧化鋅納米膜由六邊纖鋅礦晶相的氧化鋅納米線構成;?
所述叉指電極的兩組電極不導通,形成所述乙醇傳感器的信號輸出端。?
2.根據權利要求1所述的基于氧化鋅納米結構的乙醇傳感器,其特征在于,所述氧化鋅納米膜是由六邊纖鋅礦晶相的氧化鋅納米線平行構成的氧化鋅納米膜。?
3.根據權利要求1所述的基于氧化鋅納米結構的乙醇傳感器,其特征在于,所述氧化鋅納米線的直徑為200-300nm。?
4.根據權利要求3所述的基于氧化鋅納米結構的乙醇傳感器,其特征在于,所述氧化鋅納米膜的厚度為500nm-1μm。?
5.根據權利要求4所述的基于氧化鋅納米結構的乙醇傳感器,其特征在于,以每根構成氧化鋅納米膜的氧化鋅納米線為軸進一步生長有氧化鋅納米柱,構成氧化鋅納米柱陣列,形成帶有氧化鋅納米柱的氧化鋅納米膜,所述氧化鋅納米柱是(002)面優勢取向的六角柱。?
6.根據權利要求5所述的基于氧化鋅納米結構的乙醇傳感器,其特征在于,所述六角柱橫截面最大長度為200-300nm,六角柱高度為2-3μm。?
7.根據權利要求5所述的基于氧化鋅納米結構的乙醇傳感器,其特征在于,所述帶有氧化鋅納米柱的氧化鋅納米膜的厚度為5-8μm。?
8.根據權利要求6或7所述的基于氧化鋅納米結構的乙醇傳感器,其特征在于,每立方微米氧化鋅納米膜平均由2-3根氧化鋅納米線構成,氧化鋅納米柱彼此交纏。?
9.根據權利要求1所述的基于氧化鋅納米結構的乙醇傳感器,其特征在于,所述叉指電極是由在基板上沉積或涂布金、銦錫金屬氧化物、銀、銅或鋁形成的叉指電極。?
10.根據權利要求9所述的基于氧化鋅納米結構的乙醇傳感器,其特征在于,所述基板是硅、玻璃或有機玻璃。?
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