[實(shí)用新型]一種直拉單晶硅的摻雜裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201320796585.3
• 申請(qǐng)日: 2013-12-02
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN203583005U
• 公開(kāi)（公告）日: 2014-05-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 孫新利
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 浙江長(zhǎng)興眾成電子有限公司
• 主分類號(hào): C30B15/04
• 分類號(hào): C30B15/04;C30B29/06
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

1.一種直拉單晶硅的摻雜裝置，包括：支撐架(2)、與支撐架滑竿相嵌套的滑動(dòng)裝置(1)、與支撐架和滑動(dòng)裝置相連的摻雜容器(3)、用于連接的連接繩或連接桿(4)；其特征在于：所述支撐架設(shè)有支撐面板(2-1)，支撐面板(3-1)邊緣下方設(shè)有3根與支撐面板(2-1)固定相連支撐桿(2-3)，支撐面板(2-1)中部下方設(shè)有2根有下限位的垂直滑竿(2-2)，垂直滑竿(2-2)與支撐面板(2-1)以螺紋連接方式固定，支撐面板(2-1)中部設(shè)有第一通孔(2—4)；所述滑動(dòng)裝置(1)設(shè)有懸掛桿(1-1)，懸掛桿(1-1)通過(guò)支撐架通孔(2-4)貫穿支撐面板(2-1)，懸掛桿(1-1)上部設(shè)有鍥型槽，用于與單晶爐籽晶夾持裝置固定相連用，懸掛桿下部設(shè)有與懸掛桿固定相連的滑塊(1—2)，滑塊設(shè)有第二和第三通孔(1—3)，用于與支撐架滑竿垂直(2-2)滑動(dòng)時(shí)使用，使得滑動(dòng)裝置(1)能沿著垂直滑竿(2-2)方向滑動(dòng)，滑塊(1-2)接觸到垂直滑竿(2-2)末端下限位時(shí)，滑塊停止下滑；所述摻雜容器(3)包括可分離的容器上蓋(3—1)、容器中部(3-2)、容器底部(3—3)，容器上蓋設(shè)有第四通孔(3-4)，容器上蓋(3-1)置于容器中部(3-2)上口，容器中部(3-2)通過(guò)連接繩或連接桿(4)與支撐架垂直滑竿(2-2)固定垂直相連，容器底部(3-3)通過(guò)連接繩或連接桿(4)穿過(guò)容器上蓋(3—1)第四通孔(3-4)與滑動(dòng)裝置(1)底部固定垂直相連。?

2.如權(quán)利要求1所述的直拉單晶硅的摻雜裝置，其特征在于：支撐架(2)及其部件，與垂直滑竿(2-2)相嵌套的滑動(dòng)裝置(1)及其部件為不銹鋼材質(zhì)。?

3.如權(quán)利要求1所述的直拉單晶硅的摻雜裝置，其特征在于：所述摻雜容器(3)及其部件采用高純石英材質(zhì)。?

4.如權(quán)利要求1所述的直拉單晶硅的摻雜裝置，其特征在于：用于連接的連?接繩或連接桿(4)采用高純金屬鉬繩或鉬桿、不銹鋼繩或不銹鋼桿。?