[實用新型]一種磁鋼裝置

有效

• 申請號: 201320793161.1
• 申請日: 2013-12-06
• 公開（公告）號: CN203602706U
• 公開（公告）日: 2014-05-21
• 發明（設計）人: 朱世元;閆乃明
• 申請（專利權）人: 深圳市金耀玻璃機械有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35
• 代理公司: 深圳力拓知識產權代理有限公司 44313
• 代理人: 龔健

技術領域

????本實用新型涉及一種磁鋼裝置，適用在LOW-E鍍膜線、ITO鍍膜線、太陽能鍍膜線、玩具五金、卷繞等磁控濺射鍍膜設備，且在醫療、食品等行業也有廣闊的應用。

背景技術

傳統的磁控濺射鍍膜線所配陰極的磁鋼陣列結構分為兩種，一種是在大氣狀態下通過銅板間接冷卻，另一種是直接浸泡在陰極冷卻水里。前者因磁鋼陣列冷卻不好，時間久后因溫度蠕變而失去磁性；后者因磁鋼直接浸泡在水里極易腐蝕而失去磁性，兩者均為固定安裝，前者通過在外部短路調整磁場均勻性，后者只能整體微調，調整范圍及其有限，沒有工藝調整價值；磁鋼的防腐決定磁鋼使用的壽命，磁鋼一旦腐化，補救起來十分困難。

傳統的兩種磁鋼陣列的防腐性皆不好，前者用鍍保護層，此保護層在有水狀況下基本上有半年的保護效果，后者是在磁鐵表面涂抹樹脂和其他材料隔離冷卻水，兩者均不能持久的防腐，使用半年后，磁鋼陣列會有不同程度的腐蝕，其磁場強度也在不斷的變化，無法滿足磁控濺射對磁場均勻性的要求，所以隔一段時間就要更換磁鐵，維護費用較高?。

發明內容

本實用新型的目的是為了利用可調均勻性和防腐磁剛陣列來保證真空鍍膜產品的膜厚均勻性，通過設計磁鋼的可調節結構以及改變防腐措施來實現真空鍍膜產品的膜厚均勻性。

本實用新型采用的技術方案是，一種磁鋼裝置，包括具有一個N極和兩個S極的細長條磁鐵本體，關鍵是：在細長條磁鐵本體的下方增設一個固定管體，并在固定管體和細長條磁鐵本體之間設置至少兩個調節螺栓，調節螺栓穿過固定管體與細長條磁鐵本體的下端面連接。

在固定管體與細長條磁鐵本體之間的調節螺栓上還設置有鎖緊螺母。

所述的調節螺栓設置5~8個，且等間距設置。

所述的細長條磁鐵本體的N極和S極的外部分別包裹有不銹鋼方鋼體。

本實用新型的有益效果是，本產品既解決了磁鋼腐蝕的問題，同時也解決了磁鋼強度因工作環境溫度而引起的變化問題，滿足了膜厚均勻性的較高要求。

附圖說明

圖1是本實用新型的結構示意圖。

圖2是圖1的左視圖。

1代表細長條磁鐵本體，2代表固定管體，3代表調節螺栓，4代表鎖緊螺母，5代表不銹鋼方鋼體。

具體實施方式

一種磁鋼裝置，包括具有一個N極和兩個S極的細長條磁鐵本體1，關鍵是：在細長條磁鐵本體1的下方增設一個固定管體2，并在固定管體2和細長條磁鐵本體1之間設置至少兩個調節螺栓3，調節螺栓3穿過固定管體2與細長條磁鐵本體1的下端面連接。

在固定管體2與細長條磁鐵本體1之間的調節螺栓3上還設置有鎖緊螺母4。

所述的調節螺栓3設置5~8個，且等間距設置。

所述的細長條磁鐵本體1的N極和S極的外部分別包裹有不銹鋼方鋼體5。

本實用新型在具體實施時，磁場調節就是通過調整磁鋼整體向靶面靠近或遠離來改變靶面磁場強度，從而調節整體膜厚至產品的要求，依靠磁軛的變形來調整局部位置的磁場強度，我們采用把一條磁鋼分段調整的方式，是需要調整的局部能迅速的改變強度大小，對于不需要調整的地方維持不動。

具體制作時，細長條磁鐵本體1按照一定的順序在不銹鋼方鋼體5內進行排列，完成后把不銹鋼方鋼體5封堵，從而達到細長條磁鐵本體1與不銹鋼方鋼體5外的任何介質隔離的作用，無論腐蝕介質是水或其他物質，對于能腐蝕不銹鋼的特殊介質，可以采用相應的材料加以防護。本實用新型能很快地調整磁鋼性能，達到真空磁控濺射膜厚均勻性的要求。防腐磁鐵方法的應用，保證了磁鐵性能的恒定，有效實現工業化的產品生產需求。