[實用新型]用于單晶爐的外部裝料機構

有效

• 申請號: 201320789220.8
• 申請日: 2013-12-03
• 公開（公告）號: CN203639598U
• 公開（公告）日: 2014-06-11
• 發明（設計）人: 朱亮;曹建偉;王巍;孫明;沈興潮
• 申請（專利權）人: 杭州慧翔電液技術開發有限公司;浙江晶盛機電股份有限公司
• 主分類號: C30B15/00
• 分類號: C30B15/00;C30B29/06
• 代理公司: 杭州中成專利事務所有限公司 33212
• 代理人: 周世駿

1.用于單晶爐的外部裝料機構，包括用于裝多晶硅原料的石英坩堝，其特征在于，還包括真空吸盤、手動真空閥、真空表、密封圈和真空泵，真空吸盤上設有至少兩個氣咀，一個氣咀連接有手動真空閥，另外一個氣咀連接有真空表，手動真空閥上設有氣咀，手動真空閥上的氣咀通過波紋管與真空泵連接，且波紋管與手動真空閥上的氣咀采用快卸連接方式；真空吸盤上設置有密封圈，并通過密封圈和石英坩堝密封連接，真空泵用于將石英坩堝和真空吸盤形成的密封腔體抽成真空，真空表用于測量石英坩堝和真空吸盤形成的密封腔體內的大氣壓力。

2.根據權利要求1所述的用于單晶爐的外部裝料機構，其特征在于，所述真空吸盤上的密封圈采用L形密封圈。

3.根據權利要求1所述的用于單晶爐的外部裝料機構，其特征在于，所述，波紋管與手動真空閥上的氣咀采用快卸法蘭連接。

4.根據權利要求1所述的用于單晶爐的外部裝料機構，其特征在于，所述真空吸盤是金屬材質的真空吸盤。

5.根據權利要求1所述的用于單晶爐的外部裝料機構，其特征在于，所述真空吸盤上的氣咀設有三個，用于變換手動真空閥的連接位置。

6.根據權利要求1所述的用于單晶爐的外部裝料機構，其特征在于，所述外部裝料機構還包括運輸裝置，用于移動石英坩堝；運輸裝置采用裝料小車，裝料小車上設有擋塊和減震裝置，減震裝置采用減震彈簧。

7.根據權利要求1所述的用于單晶爐的外部裝料機構，其特征在于，所述外部裝料機構還包括用于將石英坩堝和真空吸盤整體吊裝放入單晶爐熱場內的起吊裝置，真空表上設有一個吊環，起吊裝置通過吊環對石英坩堝和真空吸盤整體進行起吊和移動操作，起吊裝置與吊環之間設有提升緩沖彈簧。

8.根據權利要求7所述的用于單晶爐的外部裝料機構，其特征在于，所述起吊裝置采用全自動液壓吊車。