[實用新型]晶圓研磨液投入式超音波震勻設備有效
| 申請號： | 201320783076.7 | 申請日： | 2013-12-02 |
| 公開（公告）號： | CN203694977U | 公開（公告）日： | 2014-07-09 |
| 發明（設計）人： | 吳濬宇;曾義能 | 申請（專利權）人： | 宸沅國際股份有限公司 |
| 主分類號： | B01F11/02 | 分類號： | B01F11/02 |
| 代理公司： | 天津三元專利商標代理有限責任公司 12203 | 代理人： | 胡畹華 |
| 地址： | 中國臺灣新竹*** | 國省代碼： | 中國臺灣;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 研磨 投入 超音波 設備 | ||
1.一種晶圓研磨液投入式超音波震勻設備，不同于現有葉片攪勻晶圓研磨液設備以驅動葉片進行攪拌的結構，其主體為由至少一槽體層層豎設包圍的封閉筒件，而封閉筒件內部中央的槽體為下端橫伸出供液管，頂端形成透空槽口的震勻槽，使出液管由下端通入震勻槽內空間，而由透空槽口將研磨原液加水投入震勻槽內空間，其特征在于：震勻槽底隔設置入至少一只超音波震蕩頭的超音波音源室，且使各超音波震蕩頭發震端緊貼超音波音源室隔開震勻槽內空間的分隔壁，讓各超音波震蕩頭發出的超音波穿透分隔壁傳入震勻槽內空間。
2.根據權利要求1所述的晶圓研磨液投入式超音波震勻設備，其特征在于，所述出液管上附設有過濾器。
3.根據權利要求1所述的晶圓研磨液投入式超音波震勻設備，其特征在于，所述震勻槽截面形狀為能供超音波震蕩頭發出的振動波傳繞，又不會受超音波波動產生共振噪音的多直邊形。
4.根據權利要求1所述的晶圓研磨液投入式超音波震勻設備，其特征在于，所述震勻槽截面形狀為能供超音波震蕩頭發出的振動波傳繞，又不會受超音波波動產生共振噪音的多圓弧邊形。
5.根據權利要求1所述的晶圓研磨液投入式超音波震勻設備，其特征在于，所述震勻槽截面形狀為能供超音波震蕩頭發出的振動波傳繞，又不會受超音波波動產生共振噪音的類圓形。
6.根據權利要求1所述的晶圓研磨液投入式超音波震勻設備，其特征在于，所述封閉筒件豎設的槽體，除中央的震勻槽外，復于震勻槽四周及底部包豎一包密外槽，于包密外槽朝向震勻槽的槽內面各處槽間縫隙，鋪設塞滿泡綿。
7.根據權利要求1所述的晶圓研磨液投入式超音波震勻設備，其特征在于，所述超音波震蕩頭為傳出單一周波的型式。
8.根據權利要求1所述的晶圓研磨液投入式超音波震勻設備，其特征在于，所述超音波震蕩頭為傳出四周波型式。
9.根據權利要求1所述的晶圓研磨液投入式超音波震勻設備，其特征在于，所述超音波震蕩頭為頻率調變周波型式。
10.根據權利要求1所述的晶圓研磨液投入式超音波震勻設備，其特征在于，所述震勻槽的槽殼壁，為耐酸金屬胎料的殼本體，內面涂上一鐵氟龍層，且外面涂一層PP層的復合層壁。
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