[實(shí)用新型]一種用于碳化硅單晶定位邊定向的夾具有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201320773012.9 | 申請日： | 2013-11-29 |
| 公開（公告）號： | CN203542884U | 公開（公告）日： | 2014-04-16 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 趙梅玉;段聰;鄧樹軍;高宇;陶瑩 | 申請（專利權(quán)）人： | 河北同光晶體有限公司 |
| 主分類號： | B28D7/04 | 分類號： | B28D7/04 |
| 代理公司： | 北京輕創(chuàng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11212 | 代理人： | 楊立 |
| 地址： | 071000 河北省保定市北二*** | 國省代碼： | 河北;13 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 用于 碳化硅 定位 定向 夾具 | ||
1.一種用于碳化硅單晶定位邊定向的夾具，其特征在于，包括定向儀精度樣品臺(tái)（1）、夾具主體（2）、蓋板（3）、緊定螺釘（4）、平行精度鐵（5）、緩沖層（6）、晶體（7）、平行快（8）、定向儀精度立板（9），所述夾具主體（2）放置在定向儀精度樣品臺(tái)（1）上，所述夾具主體（2）大致呈長方體形，其頂部的一角為一個(gè)正方體形的凹陷，在所述正方體形的凹陷中放置有晶體（7），所述晶體（7）的頂部設(shè)有平行精度鐵（5），所述緩沖層（6）覆蓋在平行精度鐵（5）上，所述蓋板（3）完整的覆蓋在夾具主體（2）和緩沖層（6）上，所述緊定螺釘（4）貫穿蓋板（3）并能延伸至緩沖層（6），所述夾具主體（2）靠近正方體形凹陷的一側(cè)設(shè)有緊貼其上的平行塊（8），所述定向儀精度立板（9）緊貼于平行板（8）的外側(cè)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述用于碳化硅單晶定位邊定向的夾具，其特征在于，所述晶體（7）為圓柱形，其直徑大于正方體形的凹陷的邊長。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述用于碳化硅單晶定位邊定向的夾具，其特征在于，所述平行快（8）頂部的水平高度低于晶體（7）底部的水平高度，所述定向儀精度立板（9）頂部的水平高度高于晶體（7）底部的水平高度。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述用于碳化硅單晶定位邊定向的夾具，其特征在于，所述定向儀精度立板（9）頂部的內(nèi)側(cè)與晶體（7）底部的外側(cè)相切。
5.根據(jù)權(quán)利要求1至4任一項(xiàng)所述用于碳化硅單晶定位邊定向的夾具，其特征在于，所述夾具主體（2）底部設(shè)有升降旋轉(zhuǎn)步進(jìn)電機(jī)，所述升降旋轉(zhuǎn)步進(jìn)電機(jī)貫穿夾具主體（2）底部延伸至晶體（7）的底部，并可使晶體（7）軸向旋轉(zhuǎn)。
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