[實用新型]一種激光束微調(diào)系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201320772230.0
• 申請日: 2013-11-28
• 公開（公告）號: CN203592233U
• 公開（公告）日: 2014-05-14
• 發(fā)明（設計）人: 種洪濤;李朋;謝劍斌
• 申請（專利權(quán)）人: 中科中涵激光設備（福建）股份有限公司
• 主分類號: B23K26/064
• 分類號: B23K26/064
• 代理公司: 廈門市首創(chuàng)君合專利事務所有限公司 35204
• 代理人: 楊依展;陳德陽

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及一種激光束微調(diào)系統(tǒng)。

背景技術(shù)

在激光微孔加工中，相對于加工基面，對激光束的入射方向和入射位置有很高的精度要求，且需要不斷變化。現(xiàn)有的激光束調(diào)節(jié)方法一般有兩種：一種是采用反射鏡的偏擺和移動實現(xiàn)；另一種是采用兩對光楔實現(xiàn)，一對光楔用于調(diào)整光束的指向，剩下的一對用于調(diào)節(jié)光束的入射位置。

用反射鏡的偏擺實現(xiàn)激光束入射方向的變化，其精度受限于使它運動的驅(qū)動模塊的精度，調(diào)整精度較低。

用兩對光楔實現(xiàn)光束的偏擺和位置調(diào)節(jié)，雖然提高了光束指向的精度，但是因調(diào)整位置的一對光楔對光束指向精度也有影響，且受制于其工作原理，重復精度不高（相對于調(diào)節(jié)精度）。

實用新型內(nèi)容

本實用新型提供了一種激光束微調(diào)系統(tǒng)，其克服了背景技術(shù)所存在的不足。本實用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是：

一種激光束微調(diào)系統(tǒng)，空間立體三維坐標包括Z軸、X軸和Y軸，Z軸、X軸、Y軸三者之間兩兩相互垂直設置；其特征在于；所述激光束微調(diào)系統(tǒng)包括

第一光楔、第二光楔及兩個平移塊，

該平移塊包括平行設置的前側(cè)端面和后側(cè)端面，

該第一光楔和該第二光楔可繞Z軸轉(zhuǎn)動，所述兩個平移塊之一可繞X軸轉(zhuǎn)動，所述兩個平移塊之另一可繞Y軸轉(zhuǎn)動，

該第一光楔、該第二光楔、所述兩個平移塊四者之沿Z軸間隔設置，激光束可順序穿過該第一光楔、該第二光楔、一個平移塊的前側(cè)端面和后側(cè)端面、另一個平移塊的前側(cè)端面和后側(cè)端面。

一較佳實施例之中：該第一光楔的楔角和該第二光楔的楔角相等。

一較佳實施例之中：該第一光楔的垂直面與該第二光楔的垂直面相向設置，或者該第一光楔的傾斜面與該第二光楔的傾斜面相向設置。

一較佳實施例之中：所述平移塊呈圓柱結(jié)構(gòu)。

一較佳實施例之中：所述第一光楔、第二光楔、平移塊采用熔石英材料制造。

本技術(shù)方案與背景技術(shù)相比，它具有如下優(yōu)點：

1.該第一光楔和該第二光楔可繞Z軸轉(zhuǎn)動，可精確調(diào)整激光束的入射方向；所述兩個平移塊之一可繞X軸轉(zhuǎn)動，可精確調(diào)整激光束沿Y軸的入射位置；所述兩個平移塊之另一可繞Y軸轉(zhuǎn)動，可精確調(diào)整激光束沿X軸的入射位置，從而實現(xiàn)激光束高精度指向和位置調(diào)節(jié)。

2.采用光楔調(diào)節(jié)指向，提高了激光束指向精度的分辨率，同時降低了因震動、運動控制誤差等對指向精度的影響。平移塊的運動不會影響激光束方向。

3.該第一光楔的楔角和該第二光楔的楔角相等，方便對激光束的入射方向的調(diào)整。

4.該第一光楔的垂直面與該第二光楔的垂直面相向設置，或者該第一光楔的傾斜面與該第二光楔的傾斜面相向設置，同樣便對激光束的入射方向的調(diào)整

5.所述平移塊呈圓柱結(jié)構(gòu)，加工方便。

6.所述第一光楔、第二光楔、平移塊采用熔石英材料制造，可以適應高功率激光，且對激光脈沖展寬基本沒有影響，整個系統(tǒng)的抗干擾能力強、調(diào)節(jié)精度高、操作方便，有利于模塊化結(jié)構(gòu)設計。

附圖說明

下面結(jié)合附圖和實施例對本實用新型作進一步說明。

圖1繪示了本實用新型一種激光束微調(diào)系統(tǒng)的示意圖。

圖2繪示了本實用新型一種激光束微調(diào)系統(tǒng)的另一示意圖。

具體實施方式

請參照圖1，空間立體三維坐標包括Z軸、X軸和Y軸，Z軸、X軸、Y軸三者之間兩兩相互垂直設置。本實用新型的一種激光束微調(diào)系統(tǒng)，包括一第一光楔10、一第二光楔30及兩個平移塊50。所述第一光楔10、第二光楔30、平移塊50優(yōu)選采用熔石英材料制造。

該第一光楔10與該第二光楔30用于調(diào)整激光束的入射角度。該第一光楔10的楔角和該第二光楔30的楔角優(yōu)選相等。若單個光楔楔角為1°，則可使激光束指向在α-0.9°的立體角內(nèi)任意變動，α為為兩個光楔的楔角一致性誤差。

該平移塊50用于調(diào)整激光束的入射位置。該平移塊50包括平行設置的前側(cè)端面52和后側(cè)端面54。所述平移塊50優(yōu)選呈圓柱結(jié)構(gòu)。

該第一光楔10、該第二光楔30、所述兩個平移塊50四者之沿Z軸間隔設置。該第一光楔10和該第二光楔30可繞Z軸轉(zhuǎn)動。所述兩個平移塊50之一可繞X軸轉(zhuǎn)動。所述兩個平移塊50之另一可繞Y軸轉(zhuǎn)動。圖中，靠近該第二光楔30的平移塊50可繞X軸轉(zhuǎn)動。

優(yōu)選地，該第一光楔10的垂直面與該第二光楔30的垂直面相向設置，或者該第一光楔10的傾斜面與該第二光楔30的傾斜面相向設置。圖中，該第一光楔10的垂直面與該第二光楔30的垂直面相向設置。