[實用新型]用于制備黃銅礦型薄膜太陽電池吸收層的退火設備

有效

• 申請號: 201320772152.4
• 申請日: 2013-11-28
• 公開（公告）號: CN203659901U
• 公開（公告）日: 2014-06-18
• 發明（設計）人: 黃富強;朱小龍;王耀明;李愛民;秦明升;張雷;劉戰強;謝宜桉
• 申請（專利權）人: 中國科學院上海硅酸鹽研究所
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18
• 代理公司: 上海瀚橋專利代理事務所(普通合伙) 31261
• 代理人: 曹芳玲;鄭優麗

1.一種用于制備黃銅礦型薄膜太陽電池吸收層的退火設備，其特征在于，包括：?

用于連續供給蒸發態的硫族介質的連續補料單元，所述連續補料單元包括硫族介質發生裝置以及與所述硫族介質發生裝置連通的載氣供給通路，所述硫族介質發生裝置包括硫族介質源、以及用于加熱所述硫族介質源以產生蒸發態的硫族介質的加熱單元，所述硫族介質包括硫和/或硒，所述載氣供給通路利用其中的載氣使所述蒸發態的硫族介質沿著載氣流動的方向行進；

與所述載氣供給通路連通的等離子體產生活化單元，所述等離子體產生活化單元能夠產生高能電子，所述高能電子與進入所述等離子體產生活化單元的硫族介質碰撞通過電感耦合輝光放電產生硫族元素等離子體；以及

與所述等離子體產生活化單元連通的硒化/硫化退火單元，所述等離子體產生活化單元產生的硫族元素等離子體進入所述硒化/硫化退火單元并與位于其中的預制膜反應進行硒化/硫化退火以制備黃銅礦型薄膜。

2.根據權利要求1所述的退火設備，其特征在于，所述硫族介質發生裝置為階梯螺桿式裝置。

3.根據權利要求1或2所述的退火設備，其特征在于，所述退火設備還包括控制所述載氣供給通路中載氣的流速和壓力的氣體調節單元。

4.根據權利要求1或2所述的退火設備，其特征在于，所述退火設備還包括用于監測連續補料單元和等離子體產生活化單元之間的載氣/硫族介質混合物中載氣和硫族介質的配比以及混合物的總壓力的原料監測單元。

5.根據權利要求1或2所述的退火設備，其特征在于，所述退火設備還包括用于診斷由等離子體產生活化單元輸出的硫族元素等離子體的等離子體診斷單元。

6.根據權利要求1或2所述的退火設備，其特征在于，所述退火設備還包括用于檢測生成的黃銅礦型薄膜的質量的薄膜質量檢測單元。