[實用新型]一種切割超薄多晶硅片的專用鋼線導輪有效
| 申請號: | 201320772087.5 | 申請日: | 2013-11-28 |
| 公開(公告)號: | CN203665732U | 公開(公告)日: | 2014-06-25 |
| 發明(設計)人: | 王德明;楊方;談軍;孟維明;王慶峰 | 申請(專利權)人: | 國電兆晶光電科技江蘇有限公司 |
| 主分類號: | B28D5/04 | 分類號: | B28D5/04;B28D7/00 |
| 代理公司: | 常州市維益專利事務所 32211 | 代理人: | 周祥生 |
| 地址: | 213200 江*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 切割 超薄 多晶 硅片 專用 導輪 | ||
1.一種切割超薄多晶硅片的專用鋼線導輪,包括輪體(1)和導輪槽(2),導輪槽(2)沿軸向均勻地開設在輪體(1)上,其特征是:所述導輪槽(2)的橫截面形狀為等腰梯形或正三角形,在導輪槽(2)與切割鋼線(4)相接觸的兩側面上沿周向設有溢漿槽(3)。
2.根據權利要求1所述切割超薄多晶硅片的專用鋼線導輪,其特征是:所述溢漿槽(3)的橫截面形狀為等腰梯形。
3.根據權利要求1所述切割超薄多晶硅片的專用鋼線導輪,其特征是:所述溢漿槽(3)的橫截面形狀為矩形。
4.根據權利要求1所述切割超薄多晶硅片的專用鋼線導輪,其特征是:所述溢漿槽(3)的橫截面形狀為正三角形。
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