[實用新型]刻蝕機運行檢測保護機構

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201320768727.5
• 申請日: 2013-11-29
• 公開（公告）號: CN203746803U
• 公開（公告）日: 2014-07-30
• 發(fā)明（設計）人: 黃金;張明明;張偉巍;宋超;丁澤昆
• 申請（專利權）人: 合肥海潤光伏科技有限公司
• 主分類號: H01L21/66
• 分類號: H01L21/66;H01L31/18
• 代理公司: 南京蘇高專利商標事務所(普通合伙) 32204
• 代理人: 劉燕嬌

技術領域

本實用新型涉及晶體硅太陽能電池硅片制造業(yè)，特別涉及一種刻蝕機運行檢測保護機構。?

背景技術

目前，刻蝕機在正常的生產(chǎn)工藝過程中都沒有有效檢測和保護刻蝕機轉盤不轉的機構，一旦刻蝕機轉盤不轉，機臺無法做出判斷，也不會發(fā)出任何警告，電機轉動而轉盤不轉會導致機臺腔體內(nèi)會一直輝光刻蝕，導致硅片邊緣刻蝕出現(xiàn)刻蝕不凈，產(chǎn)品在無法保證工藝效果的情況下而被流轉至下道工序，這樣會導致批量的產(chǎn)品不良，給公司和客戶造成嚴重的經(jīng)濟損失。?

故，需要一種新的技術方案以解決上述問題。?

實用新型內(nèi)容

針對上述現(xiàn)有技術存在的問題和不足，本實用新型的目的是提供一種刻蝕機運行檢測保護機構，對刻蝕機進行預警和保護。?

為實現(xiàn)上述實用新型目的，本實用新型采用的技術方案為一種刻蝕機運行檢測保護機構，包括檢測電路，所述檢測電路由定時器檢測轉盤不轉時間構成，所述定時器電路包括定時器電源電路、定時器啟動和復位電路和報警輸出電路；所述定時器電源電路包括交流繼電器，電機三相線路中的兩相引出與所述交流繼電器相適配的交流電壓，與該交流繼電器的線圈相連，定時器相適配的直流電源、繼電器的常開觸點和定時器的第二引腳、第十引腳依次串聯(lián)，構成定時器的供電線路；所述定時器啟動和復位電路由定時器的第三引腳和第七引腳間連接一接近開關構成；所述報警輸出電路由定時器的第九引腳、第十一引腳、聲光報警器和機臺自帶的電源依此串聯(lián)，構成報警輸出電路。?

作為優(yōu)選的，定時器第九引腳、第十一引腳為常開觸點。?

本實用新型相比現(xiàn)有技術，其優(yōu)點為本實用新型電路結構簡單，其改造成本低，性能可靠，提高刻蝕產(chǎn)品質量，有效避免刻蝕機因刻蝕不凈而產(chǎn)生工藝失敗片和報廢片的數(shù)量，降低企業(yè)經(jīng)濟損失。?

附圖說明

圖1為本實用新型的定時器引腳功能示意圖；?

圖2為本實用新型的定時器的36V交流繼電器電源電路；?

圖3為本實用新型的定時器的24V直流電源電路；?

圖4為本實用新型的定時器啟動和復位電路；?

圖5為本實用新型的定時器警報輸出電路。?

具體實施方式

本實施例采用市售的omron?H3CA-A型的定時器，需要24V直流電源供電。本實用新型包括檢測電路，該檢測電路由定時器檢測轉盤不轉的時間構成，該定時器電路包括：定時器電源電路、定時器啟動與復位電路和報警輸出電路。本實用新型將刻蝕機工作時檢測的轉盤轉動狀況通過檢測電路進行檢測并轉換數(shù)據(jù)信號，將檢測的信號與設定的信號進行比對和判斷，當判斷異常時發(fā)出警報信號給機臺，機臺收到報警信號后發(fā)出聲光報警，產(chǎn)線人員發(fā)現(xiàn)報警后可終止工藝，從而最大限度的減少損失。?

如圖1、圖2和圖3所示，定時器電源電路包括36V交流繼電器，將電機三相線路中的兩相引出36V的交流電，與交流繼電器的線圈相連，24V直流電源、繼電器的常開觸點和定時器的第二引腳、第十引腳依次串聯(lián)，構成定時器的供電線路，實現(xiàn)電機啟動電源和定時器電源同步。?

如圖4所示，定時器的第三引腳和第六引腳短接，在第三引腳和第七引腳間連接一接近開關，當轉盤不轉的時間小于定時器設定的時間時，接近開關閉合產(chǎn)生一個復位信號使定時器復位一次，當轉盤不轉的時間大于設定時間時接近開關保持斷開狀態(tài)，即接近開關不產(chǎn)生復位信號，定時器就會有報警輸出信號。?

如圖5所示，定時器的第九引腳、第十一引腳為常開觸點，并依次與聲光報警器、機臺自帶的24V電源依此串聯(lián)，構成報警輸出電路，當定時器達到設定時間時，第九引腳、第十一引腳閉合導通，聲光報警器發(fā)出警報，使得現(xiàn)場工作人員及時發(fā)現(xiàn)轉盤不轉，減少損失。?