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[實用新型]一種用于太陽能電池硅片的真空吸筆有效

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 201320767970.5 申請日: 2013-11-29
公開(公告)號: CN203690272U 公開(公告)日: 2014-07-02
發(fā)明(設(shè)計)人: 張剛;郭愛軍;鄭淑剛 申請(專利權(quán))人: 晶澳太陽能有限公司
主分類號: H01L21/683 分類號: H01L21/683;H01L31/18
代理公司: 廣州知友專利商標代理有限公司 44104 代理人: 李海波
地址: 055550 河北*** 國省代碼: 河北;13
權(quán)利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 一種 用于 太陽能電池 硅片 真空
【權(quán)利要求書】:

1.一種用于太陽能電池硅片的真空吸筆,包括具有管腔(7)的握持部(1)和連接握持部(1)的吸盤(3),吸盤(3)設(shè)有吸孔(31),吸孔(31)與所述管腔(7)連通,握持部(1)一端設(shè)有連通所述管腔(7)的泄壓孔(11),其特征在于,所述握持部(1)的泄壓孔(11)處套設(shè)有能自由轉(zhuǎn)動的旋轉(zhuǎn)套筒(4),旋轉(zhuǎn)套筒(4)內(nèi)腔與握持部(1)一端外徑之間形成密閉的環(huán)形腔(8),所述旋轉(zhuǎn)套筒(4)筒壁上設(shè)有能與所述環(huán)形腔(8)連通的通氣孔(41)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于太陽能電池硅片的真空吸筆,其特征在于,所述握持部(1)在泄壓孔(11)兩邊的管壁上分別設(shè)置有環(huán)形凹槽(12),所述環(huán)形凹槽(12)上套設(shè)有密封圈(2)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于太陽能電池硅片的真空吸筆,其特征在于,所述握持部(1)在套有旋轉(zhuǎn)套筒(4)的一端其外徑小于握持部(1)的另一端外徑,且旋轉(zhuǎn)套筒(4)的外徑等于握持部(1)的另一端外徑。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于太陽能電池硅片的真空吸筆,其特征在于,所述握持部(1)一端還設(shè)置有外螺紋(13),外螺紋(13)上固定有緊固螺帽(6)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于太陽能電池硅片的真空吸筆,其特征在于,所述握持部(1)和吸盤(3)之間連接有筆桿部(5),筆桿部(5)為不銹鋼管,吸盤(3)的吸孔(31)經(jīng)筆桿部(5)與握持部(1)的管腔(7)連通。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的用于太陽能電池硅片的真空吸筆,其特征在于,所述握持部(1)頂端設(shè)有與真空負壓管道連接的負壓口,負壓口連通所述管腔(7)。

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