[實用新型]一種用于太陽能電池硅片的真空吸筆有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201320767970.5 | 申請日: | 2013-11-29 |
| 公開(公告)號: | CN203690272U | 公開(公告)日: | 2014-07-02 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 張剛;郭愛軍;鄭淑剛 | 申請(專利權(quán))人: | 晶澳太陽能有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/683 | 分類號: | H01L21/683;H01L31/18 |
| 代理公司: | 廣州知友專利商標代理有限公司 44104 | 代理人: | 李海波 |
| 地址: | 055550 河北*** | 國省代碼: | 河北;13 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 用于 太陽能電池 硅片 真空 | ||
1.一種用于太陽能電池硅片的真空吸筆,包括具有管腔(7)的握持部(1)和連接握持部(1)的吸盤(3),吸盤(3)設(shè)有吸孔(31),吸孔(31)與所述管腔(7)連通,握持部(1)一端設(shè)有連通所述管腔(7)的泄壓孔(11),其特征在于,所述握持部(1)的泄壓孔(11)處套設(shè)有能自由轉(zhuǎn)動的旋轉(zhuǎn)套筒(4),旋轉(zhuǎn)套筒(4)內(nèi)腔與握持部(1)一端外徑之間形成密閉的環(huán)形腔(8),所述旋轉(zhuǎn)套筒(4)筒壁上設(shè)有能與所述環(huán)形腔(8)連通的通氣孔(41)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于太陽能電池硅片的真空吸筆,其特征在于,所述握持部(1)在泄壓孔(11)兩邊的管壁上分別設(shè)置有環(huán)形凹槽(12),所述環(huán)形凹槽(12)上套設(shè)有密封圈(2)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于太陽能電池硅片的真空吸筆,其特征在于,所述握持部(1)在套有旋轉(zhuǎn)套筒(4)的一端其外徑小于握持部(1)的另一端外徑,且旋轉(zhuǎn)套筒(4)的外徑等于握持部(1)的另一端外徑。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于太陽能電池硅片的真空吸筆,其特征在于,所述握持部(1)一端還設(shè)置有外螺紋(13),外螺紋(13)上固定有緊固螺帽(6)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于太陽能電池硅片的真空吸筆,其特征在于,所述握持部(1)和吸盤(3)之間連接有筆桿部(5),筆桿部(5)為不銹鋼管,吸盤(3)的吸孔(31)經(jīng)筆桿部(5)與握持部(1)的管腔(7)連通。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的用于太陽能電池硅片的真空吸筆,其特征在于,所述握持部(1)頂端設(shè)有與真空負壓管道連接的負壓口,負壓口連通所述管腔(7)。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





