[實用新型]一種用于生長SiC晶體的坩堝有效
| 申請號: | 201320764032.X | 申請日: | 2013-11-27 |
| 公開(公告)號: | CN203546203U | 公開(公告)日: | 2014-04-16 |
| 發明(設計)人: | 鄧樹軍;高宇;陶瑩;趙梅玉;段聰 | 申請(專利權)人: | 河北同光晶體有限公司 |
| 主分類號: | C30B23/00 | 分類號: | C30B23/00;C30B29/36 |
| 代理公司: | 北京輕創知識產權代理有限公司 11212 | 代理人: | 楊立 |
| 地址: | 071000 河北省保定市北二*** | 國省代碼: | 河北;13 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 用于 生長 sic 晶體 坩堝 | ||
1.一種用于生長SiC晶體的坩堝,包括:坩堝筒體、坩堝頂蓋和坩堝底蓋,坩堝筒體分別與坩堝頂蓋和坩堝底蓋可拆卸的固定連接;其特征在于:
所述坩堝筒體包括圓筒狀的外筒,所述外筒底部設有一圈向內延伸的環形底板,所述外筒內部設置有與所述外筒平行的圓筒狀的內筒,所述內筒與所述外筒通過所述環形底板進行連接,所述內筒的內部為上下貫通的空槽;
所述坩堝頂蓋和所述坩堝底蓋均設有一帶開口的空腔;
所述外筒的頂部與所述坩堝頂蓋的空腔開口端可拆卸固定連接;
所述外筒的底部與所述坩堝底蓋的空腔開口端可拆卸固定連接。
2.根據權利要求1所述一種用于生長SiC晶體的坩堝,其特征在于:
所述外筒的頂部與所述坩堝頂蓋的空腔開口端螺紋連接;
所述外筒的底部與所述坩堝底蓋的空腔開口端螺紋連接。
3.根據權利要求1或2所述一種用于生長SiC晶體的坩堝,其特征在于,所述坩堝頂蓋、所述坩堝底蓋和所述坩堝筒體的材料均為石墨。
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