[實用新型]一種石墨舟及其舟鉤有效
| 申請號： | 201320763870.5 | 申請日： | 2013-11-27 |
| 公開（公告）號： | CN203774275U | 公開（公告）日： | 2014-08-13 |
| 發明（設計）人： | 蔡少坤;許明金;鄧清龍 | 申請（專利權）人： | 海南英利新能源有限公司 |
| 主分類號： | H01L21/683 | 分類號： | H01L21/683 |
| 代理公司： | 北京集佳知識產權代理有限公司 11227 | 代理人： | 魏曉波 |
| 地址： | 570000 海南省海口市國*** | 國省代碼： | 海南;66 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 石墨 及其 | ||
【權利要求書】：
1.一種石墨舟的舟鉤，包括鉤體(1)和硅片支撐體(3)，其特征在于，所述硅片支撐體(3)設置在所述鉤體(1)的外側，且由所述鉤體(1)的開口端向下傾斜布置。?
2.根據權利要求1所述的舟鉤，其特征在于，還包括設置在所述鉤體(1)的外側的支臂(2)，且所述硅片支撐體(3)安裝在所述支臂(2)上。?
3.根據權利要求2所述的舟鉤，其特征在于，所述鉤體(1)的截面為圓形、橢圓形或多邊形。?
4.根據權利要求2或3任一項所述的舟鉤，其特征在于，所述硅片支撐體(3)為兩個，且分布在所述鉤體(1)的兩側。?
5.根據權利要求4所述的舟鉤，其特征在于，所述硅片支撐體(3)設置在所述支臂(2)的中部。?
6.根據權利要求4所述的舟鉤，其特征在于，所述硅片支撐體(3)設置在所述支臂(2)的遠離所述鉤體(1)開口端的端部。?
7.根據權利要求4所述的舟鉤，其特征在于，所述鉤體(1)沿中心線方向的長度小于所述支臂(2)的長度，且所述硅片支撐體(3)安裝在所述支臂(2)遠離所述鉤體(1)的一端。?
8.一種石墨舟，包括舟鉤(6)和具有框格(51)的石墨框(5)，其特征在于，所述舟鉤(6)為上述權利要求1-7任一項所述的舟鉤，且所述舟鉤(6)安裝在所述框格(51)內。?
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H01 基本電氣元件
H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
