[實用新型]一種氮氣保護四探針測試儀

有效

• 申請號: 201320760619.3
• 申請日: 2013-11-28
• 公開（公告）號: CN203732627U
• 公開（公告）日: 2014-07-23
• 發明（設計）人: 鄧潔;蘇波泳;王強;虞錚棟
• 申請（專利權）人: 南通大學
• 主分類號: G01R27/02
• 分類號: G01R27/02
• 代理公司: 北京瑞思知識產權代理事務所(普通合伙) 11341
• 代理人: 李濤

技術領域

本實用新型實際探測領域，尤其是涉及一種氮氣保護四探針測試儀。

背景技術

四探針法是應用最廣泛的測量半導體電阻率的方法。常規四探針法是將4個剛性探針與樣品表面呈直線均勻接觸，在第1、第4探針上施加恒定精密直流電流I，用高精度的電壓表測量中間第2、第3探針的電壓U。氮氣保護四探針測試儀是運用四探針測量原理的多用途綜合測量設備，專用于測試半導體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的專用儀器。儀器由主機、測試臺、四探針探頭、計算機等部分組成，測量數據既可由主機直接顯示，亦可由計算機控制測試采集測試數據到計算機中加以分析，然后以表格，圖形方式統計分析顯示測試結果。傳統氮氣保護四探針測試儀通過測試頭下降探針接觸被測工件，若測量結果異常，還需人工進行電壓量程切換與輸出電流調節工作。氮氣保護四探針測試儀需要對于溫度、邊緣效應、探針游移等情況進行修正。但是由于外界可能存在的溫度、靜電情況，測試結果無法避免會出現誤差。許多關于邊緣效應的修正都要求精確知道探針與樣品的相對幾何位置，但對傳統儀器對于微小樣品很難作這種測定，因而達不到修正的目的。掃描電鏡輔助觀測所帶來的電子束輻照會對樣品產生破壞或影響測試的精確性。

由于需要手動調節檔位、測量周期長、工作效率低、測量結果誤差不穩定等缺點，傳統氮氣保護四探針測試儀已經無法適應時代發展，需要尋求一種新型的測試設備。

實用新型內容

本實用新型主要解決的技術問題是提供一種氮氣保護四探針測試儀，其形成了樣品的無氧測試環境，具備了碎片自動測試能力，并且為邊界誤差自動修正提供了硬件基礎。

為解決上述技術問題，本實用新型采用的一個技術方案是：提供一種氮氣保護四探針測試儀，包括：主控計算機、殼體、以及安裝于所述殼體內的攝像頭、真空吸片臺、四探針組件、用于驅動所述四探針組件下端的四探針探頭二維移動和下壓的三軸驅動機構，所述四探針組件安裝在所述三軸驅動機構上，所述攝像頭的拍攝方向正對所述真空吸片臺，所述四探針組件位于所述真空吸片臺的上方，所述攝像頭和所述四探針組件的信號輸出端與所述主控計算機的信號輸入端電性連接，所述三軸驅動機構的控制信號輸入端與所述主控計算機的控制信號輸出端電性連接，其中，所述殼體上方開有氮氣通入口。

在本實用新型一較佳實施例中，所述真空吸片臺的下端設有真空抽氣口，所述真空抽氣口與抽真空設備相連接。

在本實用新型一較佳實施例中，所述三軸驅動機構為三軸步進電機。

本實用新型的一種氮氣保護四探針測試儀，進一步的改進在于：

1、所述真空吸片臺具有真空抽氣口，所述真空抽氣口與抽真空設備相連接；

2、所述三軸驅動機構為三軸步進電機；

3、所述殼體上方開有氮氣通入口。

本實用新型的有益效果是：通過采用真空吸片臺，可以固定破碎的硅片樣品來進行檢測，使本實用新型的測試儀具備了對任意形狀的樣品取點測試的處理能力，其探測范圍更廣，固定效果更佳，避免了在測試過程中的樣品移動；攝像頭用于拍攝硅片樣品的位置及形狀，可通過圖像進行定位，實現設備的碎片處理功能；通過對四探針三維驅動機構的控制，可以使得四探針探頭在真空吸片臺上移動定位，并通過Z軸下壓驅動機構實現探針頭的自動下壓，實現自動測量；通過氮氣通入口通入干燥氮氣，可以使得殼體內形成干燥氮氣保護環境，避免空氣中的濕氣和氧氣對測試產生的不良影響。

附圖說明

圖1是本實用新型一中氮氣保護四探針測試儀一較佳實施例的結構示意圖;

附圖中各部件的標記如下：1、真空吸片臺，2、四探針組件,3、四探針探頭，4、三軸驅動機構，6、攝像頭，7、主控計算機，8、抽真空設備，9、殼體，10、氮氣通入口。

具體實施方式

下面結合附圖對本實用新型的較佳實施例進行詳細闡述，以使本實用新型的優點和特征能更易于被本領域技術人員理解，從而對本發明的保護范圍做出更為清楚明確的界定。

請參閱圖1，本實用新型實施例包括：

一種氮氣保護四探針測試儀，包括：