[實(shí)用新型]一種石墨框

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201320758895.6
• 申請(qǐng)日: 2013-11-26
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN203593784U
• 公開(kāi)（公告）日: 2014-05-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張春華;李棟;高文麗;孟祥熙
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 蘇州阿特斯陽(yáng)光電力科技有限公司
• 主分類號(hào): C23C16/458
• 分類號(hào): C23C16/458;H01L31/18
• 代理公司: 蘇州創(chuàng)元專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 32103
• 代理人: 陶海鋒;陸金星

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種石墨框，可以應(yīng)用于太陽(yáng)能電池生產(chǎn)過(guò)程中的PECVD設(shè)備，屬于太陽(yáng)能領(lǐng)域。

背景技術(shù)

常規(guī)的化石燃料日益消耗殆盡，在所有的可持續(xù)能源中，太陽(yáng)能無(wú)疑是一種最清潔、最普遍和最有潛力的替代能源。因此，太陽(yáng)能電池組件得到了世界各國(guó)的廣泛關(guān)注和開(kāi)發(fā)。

現(xiàn)有技術(shù)中，在太陽(yáng)能電池的制備過(guò)程中，一般需要對(duì)硅片發(fā)射結(jié)面進(jìn)行鍍減反射膜的步驟。目前，氮化硅薄膜作為晶體硅太陽(yáng)能電池的光學(xué)減反射膜，同時(shí)也起到表面鈍化和體內(nèi)鈍化的作用，以提高太陽(yáng)能電池的轉(zhuǎn)換效率。

目前，制備氮化硅薄膜一般采用的是等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD)方法，如可以采用德國(guó)ROTH&RAU公司的PECVD設(shè)備。在采用PECVD設(shè)備制備氮化硅薄膜的過(guò)程中，需要使用一種承載硅片的石墨框。

現(xiàn)有的石墨框參見(jiàn)附圖1~4所示，包括石墨框本體，石墨框本體內(nèi)設(shè)有復(fù)數(shù)條橫豎交錯(cuò)的承載板2，構(gòu)成復(fù)數(shù)個(gè)石墨框網(wǎng)格1；考慮到硅片裝載時(shí)的方便，其網(wǎng)格的尺寸要比要承載的硅片尺寸略大一些；例如，以目前通用的156型（156×156mm）硅片而言，網(wǎng)格通常為158×158mm的直孔，同時(shí)在網(wǎng)格的四邊上均勻分布有多個(gè)掛鉤3，用來(lái)承載硅片，以防止硅片掉下去。工作時(shí)，硅片水平放置在石墨框網(wǎng)格中，對(duì)硅片的下表面進(jìn)行鍍膜。為了進(jìn)一步增加產(chǎn)量，降低太陽(yáng)能電池的成本，將原有的每個(gè)石墨框的承載量由25片改為30片（如圖1、2所示）。然而，上述結(jié)構(gòu)的石墨框的上下兩側(cè)邊緣就很窄，也較軟，在使用過(guò)程中容易發(fā)生變形。

針對(duì)上述問(wèn)題，現(xiàn)有的方法是在石墨框的上下兩側(cè)邊緣處設(shè)置石墨固定板4，如采用石墨纖維板，一般長(zhǎng)度900?mm，寬度15~20?mm之間，如圖3、4所示，石墨框的上下兩側(cè)邊緣處具有凸塊7，石墨固定板上設(shè)有與凸塊配合的卡槽8，兩者卡固連接。

然而，實(shí)際應(yīng)用發(fā)現(xiàn)，上述石墨固定板（石墨纖維板）存在如下問(wèn)題：(1)?石墨固定板在使用過(guò)程中不能提高鍍膜速度，如果鍍膜速度變快，卡槽下面的石墨纖維板對(duì)氣流的均勻性影響很大，會(huì)使該石墨纖維板邊緣的電池片發(fā)紅，硅片色差嚴(yán)重；(2)?由于石墨框經(jīng)常需要進(jìn)行清洗操作，而和石墨框配合連接的石墨固定板在清洗過(guò)程中極易損壞，需要更換，增加了成本。又由于石墨框本身成本很貴，如果更換其它設(shè)計(jì)的新石墨框，成本費(fèi)用更高。因此，開(kāi)發(fā)一種低成本、且適合工業(yè)化應(yīng)用的承載硅片鍍膜的石墨框，具有積極的現(xiàn)實(shí)意義。

發(fā)明內(nèi)容

本實(shí)用新型目的是提供一種石墨框。

為達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是：一種石墨框，包括石墨框本體，石墨框本體內(nèi)設(shè)有復(fù)數(shù)條橫豎交錯(cuò)的承載板，構(gòu)成復(fù)數(shù)個(gè)石墨框網(wǎng)格；所述石墨框的上下兩側(cè)邊緣處設(shè)有碳纖維加強(qiáng)板；所述碳纖維加強(qiáng)板的厚度和石墨框本體的厚度相同；碳纖維加強(qiáng)板通過(guò)連接件與所述石墨框本體固定連接。

上述技術(shù)方案中，所述石墨框的上下兩側(cè)邊緣處具有凸塊，所述碳纖維加強(qiáng)板上設(shè)有與凸塊配合的卡口。

上述技術(shù)方案中，所述碳纖維加強(qiáng)板的兩端設(shè)有螺孔，石墨框本體上距離所述螺孔相鄰的地方也設(shè)有第二螺孔，相鄰的螺孔和第二螺孔通過(guò)上、下夾片和螺栓實(shí)現(xiàn)固定連接。

上、下夾片的大小優(yōu)選相同。

優(yōu)選的，所述下夾片為碳纖維片。

優(yōu)選的，所述上夾片為碳纖維片或不銹鋼片。

由于上述技術(shù)方案運(yùn)用，本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比具有的優(yōu)點(diǎn)是：

1、本實(shí)用新型設(shè)計(jì)得到了一種新的石墨框結(jié)構(gòu)，將現(xiàn)有的石墨固定板更換成碳纖維加強(qiáng)板，由于碳纖維加強(qiáng)板的厚度與石墨框本體的厚度相同，因而在安裝之后，碳纖維加強(qiáng)板與石墨框本體位于同一平面，既起到了支撐的作用，同時(shí)也避免了現(xiàn)有技術(shù)中的石墨固定板對(duì)鍍膜氣流均勻性的影響而導(dǎo)致的發(fā)紅發(fā)白現(xiàn)象，保證了電池片鍍膜的品質(zhì)。

2、本實(shí)用新型將碳纖維加強(qiáng)板與石墨框本體固定在一起，兩者之間的結(jié)合度較好，在清洗過(guò)程中可以避免碳纖維加強(qiáng)板的損壞，節(jié)約了成本。

3、本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，便于制備，且具有良好的可操作性、實(shí)用性，適于推廣應(yīng)用。

附圖說(shuō)明

圖1是背景技術(shù)中的石墨框的俯視圖；

圖2是背景技術(shù)中的石墨框的主視圖；

圖3是背景技術(shù)中石墨固定板的主視圖；

圖4是背景技術(shù)中石墨固定板和石墨框的組裝示意圖；

圖5是本實(shí)用新型實(shí)施例一中碳纖維加強(qiáng)板的主視圖；

圖6是本實(shí)用新型實(shí)施例一中上夾片的結(jié)構(gòu)示意圖；