[實用新型]一種適用于常壓環境材料表面等離子體處理裝置有效
| 申請號： | 201320758446.1 | 申請日： | 2013-11-27 |
| 公開（公告）號： | CN203588970U | 公開（公告）日： | 2014-05-07 |
| 發明（設計）人： | 沈文凱;王紅衛 | 申請（專利權）人： | 蘇州市奧普斯等離子體科技有限公司 |
| 主分類號： | H01J37/32 | 分類號： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 蘇州華博知識產權代理有限公司 32232 | 代理人： | 孟宏偉 |
| 地址： | 215011 江蘇省蘇州市蘇州*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 適用于 常壓 環境 材料 表面 等離子體 處理 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.?一種適用于常壓環境材料表面等離子體處理裝置，其特征在于，包括外殼、電極組件和電源，所述外殼內設置有反應腔室，所述外殼一側壁體上開設有氣體入口，所述外殼與設有氣體入口相對的壁體上設置有溢氣口，所述電極組件設置于所述反應腔室內，所述電極組件為一對相互平行設置的平板電極，兩個平板電極相對應的電極面上設置有絕緣板。
2.?根據權利要求1所述的適用于常壓環境材料表面等離子體處理裝置，其特征在于，所述電源為高頻發生器。
3.?根據權利要求1或2所述的適用于常壓環境材料表面等離子體處理裝置，其特征在于，還包括用于送入反應氣體的氣源，所述氣源與所述氣體入口連接。
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