[實(shí)用新型]一種小角度真空門閥裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201320754037.4
• 申請日: 2013-11-26
• 公開（公告）號(hào): CN203668506U
• 公開（公告）日: 2014-06-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 不公告發(fā)明人
• 申請（專利權(quán)）人: 山東希格斯新能源有限責(zé)任公司
• 主分類號(hào): C23C14/56
• 分類號(hào): C23C14/56
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及鍍膜設(shè)備中的真空隔離技術(shù)，具體是一種鍍膜真空設(shè)備的小角度真空門閥裝置。

背景技術(shù)

目前真空行業(yè)在不斷的發(fā)展，真空鍍膜得到廣大用戶認(rèn)可和應(yīng)用與各個(gè)領(lǐng)域，由于磁控濺射的應(yīng)用廣泛，采用不同的靶材能夠得到不同的薄膜，用于裝飾、防腐、顯示、觸摸或者新能源行業(yè)，特別是對于生產(chǎn)線上，要求能在一條生產(chǎn)線上能夠?yàn)R鍍出各種薄膜，就需要能夠?qū)崿F(xiàn)各種不同的真空壓力以及需求更高的本底真空。對于目前臥式連續(xù)濺射鍍膜設(shè)備，真空腔室之間采用獨(dú)立門閥隔開，必需能夠?qū)⒏鱾€(gè)真空室有效隔斷，起到穩(wěn)定的氣壓和純凈的工藝氣體，不會(huì)有串氣現(xiàn)象和保持很好的本底真空度。隨著鍍膜行業(yè)的發(fā)展，要求濺射鍍膜的基板面積越來越大，要求工藝氣氣壓越來越穩(wěn)定，并能實(shí)現(xiàn)多種不同氣體的濺射，以及在高溫加熱的情況，這對門閥的隔離密封和耐熱程度都是一種挑戰(zhàn)。由于目前國內(nèi)翻板閥的傳動(dòng)復(fù)雜連接為硬鏈接，旋轉(zhuǎn)角度大誤差大，密封效果較差更換維護(hù)保養(yǎng)復(fù)雜，并且會(huì)可能帶來油污染真空的現(xiàn)象。針對這樣的挑戰(zhàn)，本實(shí)用新型的一種角度真空門閥解決維護(hù)更換復(fù)雜問題，并達(dá)到高的密封隔離效果。

實(shí)用新型內(nèi)容

鑒于上述問題，本實(shí)用新型提供一種成本低，并有很好的真空腔體的密封、易拆卸維修的小角度真空閥門。

本實(shí)用新能方案如下：一種小角度真空門閥裝置，其特征在于：一種小角度門閥裝置用于立式或者臥式真空鍍膜設(shè)備中，主要是用于真空與大氣和不同真空壓力之間的隔離作用。小角度真空門閥裝置包含動(dòng)力氣缸裝置、波紋管密封裝置、拉桿裝置、門板、轉(zhuǎn)軸裝置、安全位置監(jiān)測裝置，本裝置特征在于：在真空腔體隔離同氣壓，并且門閥向上開啟角度為70°，避免出現(xiàn)濺射薄膜污染物污染門閥導(dǎo)致門閥漏氣。其中：所述動(dòng)力氣缸裝置，其特征在于：氣缸裝置用于提供給門閥開關(guān)閉合的動(dòng)力；所述密封裝置，其特征在于：密封裝置采用波紋管密封，用于真空與大氣的之間隔離密封，避免氣缸動(dòng)作時(shí)漏真空；所述拉桿裝置，其特征在于：拉桿裝置安裝在在真空腔體內(nèi)部，一端與波紋管聯(lián)動(dòng)軸連接，一端與門板連接，用于氣缸動(dòng)作的時(shí)候提推拉門板開關(guān)動(dòng)作。此設(shè)計(jì)的門閥可以在臥式連續(xù)鍍膜設(shè)備中應(yīng)用時(shí)，不會(huì)出現(xiàn)濺射薄膜脫離的污染物沾到門閥的密封部位導(dǎo)致密封效果變差，并向上開啟的角度為70°，正好能給將基板通過，門閥的背面與上面的加熱器的距離相對開啟90°的遠(yuǎn)，不會(huì)因?yàn)榧訜崞鞯母邷囟鴮?dǎo)致門板變形或者損壞密封圈。并且達(dá)到了良好的真空壓力隔離和密封。

所述一種小角度真空門閥裝置，其特征在于：所述一種小角度真空門閥裝置應(yīng)用于臥式連續(xù)鍍膜設(shè)備和立式連續(xù)鍍膜設(shè)備。其安裝在真空腔體與真空腔體之間或者安裝在進(jìn)出樣腔室的大氣側(cè)，起到不同真空之間的隔離和大氣與真空之間的隔離。

所述一種小角度真空門閥裝置，其特征在于：所述一種小角度真空門閥裝置的工作原理是：氣缸往復(fù)運(yùn)動(dòng)，濕氣氣缸桿前后推動(dòng)，氣缸桿帶動(dòng)密封的波紋管收縮與伸張，由波紋管帶動(dòng)拉桿提拉門板開關(guān)，門板沿著轉(zhuǎn)動(dòng)軸轉(zhuǎn)動(dòng)，由光電傳感器檢測開關(guān)位置。

所述氣缸裝置，其特征在于：所述氣缸裝置是二個(gè)，安裝與腔體外面，氣缸為雙作用氣缸并有一個(gè)氣缸桿，氣缸是與波紋管連接密封，氣缸桿在波紋管內(nèi)部。兩個(gè)氣缸分別對應(yīng)兩個(gè)波紋管，分別距離門板端頭為門板長度的1/4處安裝。

所述波紋管密封裝置，其特征在于：波紋管密封提供氣缸與真空腔體之間的真空密封和用于動(dòng)力傳動(dòng)，由氣缸桿前后運(yùn)動(dòng)帶動(dòng)波紋管壓縮伸張而帶動(dòng)連軸器運(yùn)動(dòng)，波紋管腔體之間采用ISO法蘭密封，波紋管在腔體內(nèi)部的是封死。

所述拉桿裝置，其特征在于：拉桿裝置是由一個(gè)連軸器、拉桿和彈簧組成，連軸器一端與波紋管連接，另一端是與拉桿連接；拉桿是采用不銹鋼材質(zhì)，連接門板，推拉門板的作用；彈簧是用于門板開關(guān)起到緩沖的作用彈簧安裝在慢板與轉(zhuǎn)軸之間連接。

所述門板，其特征在于：所述門板采用不銹鋼、邊緣是用O圈進(jìn)行密封，與其對應(yīng)的門框形成一個(gè)封閉的真空墻，門板需要承受一定的真空壓力，所以門板需要在橫向和縱向增加不同程度加強(qiáng)筋，保證門板的強(qiáng)度。

所述轉(zhuǎn)軸裝置，其特征在于：所述轉(zhuǎn)軸裝置是一個(gè)旋轉(zhuǎn)的主軸，上面等間距分布了壓板，主軸是用軸承座固定；軸承固定座固定的旋轉(zhuǎn)主軸是安裝在臥式設(shè)備的門框上面，門板打開的時(shí)候，門板的密封板是背對著腔體的上加熱器。壓板連接門板與主軸，隨著主軸一起帶著門板轉(zhuǎn)動(dòng)。

所述安全裝置，其特征在于：所述安全裝置是用于檢測門閥是否關(guān)到位或者是開到位作用，采用光電感應(yīng)器或者是紅外傳感器測試，檢測門框下邊緣位置和70°角門板的位置。